M-110 • M-111 • M-112 コンパクトなリニアステージ
さまざまな駆動とトラベルレンジのXY(Z)の組み合わせ
- 駆動が折り重なっていて非常にコンパクト
- ステッパーモーターとクローズドループDCモーター
- リードネジとボールネジ
- 非接触基準点スイッチとリミットスイッチ
- XYセットアップを直接マウント可能
- 大量生産が即時可能
コンパクトなリニアステージ、多用途
ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです。開口部は10 mm Øです。XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます。
駆動
- 2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター
- バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ
位置計測
- DCギヤモーター搭載の別タイプ:モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載。
- 非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ。
応用分野
Precision microassembly, Research, Laser marking, オートメーション, 光学アライメント
仕様
仕様
M-110.1DG1 M-111.1DG1 M-112.1DG1 | M-110.12S1 M-111.12S1 M-112.12S1 | M-110.2DG1 M-111.2DG1 M-112.2DG1 | M-110.22S1 M-111.22S1 M-112.22S1 | 単位 | 公差 | |
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動作および位置決め | ||||||
移動範囲 | 5 / 15 / 25 | 5 / 15 / 25 | 5 / 15 / 25 | 5 / 15 / 25 | mm | |
内蔵センサー | ロータリーエンコーダ | – | ロータリーエンコーダ | – | ||
センサー分解能 | 2048 | 2048 | Cts./rev. | |||
設計分解能(1) | 0.0069 | 0.00029 | 0.0086 | 0.00036 | µm | |
最小インクリメンタルモーション(1) | 0.05 | 0.02 | 0.2 | 0.2 | µm | 標準 |
バックラッシュ | 3 | 3 | 3 | 3 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | 0.25 | 0.25 | 0.15 | 0.15 | µm | 標準 |
速度 | 1 / 1.5 / 1.5 | 1 / 1 / 1 | 1.5 / 2 / 2 | 1 / 1 / 1 | mm/s | 最大 |
機械特性 | ||||||
駆動ネジタイプ | リードネジ | リードネジ | ボールネジ | ボールネジ | ||
スピンドルピッチ | 0.4 | 0.4 | 0.5 | 0.5 | mm | |
ギヤ比率 | 256:9 | 256:9 | 256:9 | 256:9 | ||
ステップ分解能 | – | 24 | – | 24 | Full steps/rev | |
負荷容量 | 30 / 30 / 20 | 30 / 30 / 20 | 30 / 30 / 20 | 30 / 30 / 20 | N | 最大 |
圧縮/引張力 | 10 | 10 | 10 | 10 | N | 最大 |
保持力 | 10 | 10 | 10 | 10 | N | 最大 |
許容されるラテラルフォース | 15 / 10 / 10 | 15 / 10 / 10 | 15 / 10 / 10 | 15 / 10 / 10 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||||
モータータイプ | DCギヤモーター | 2相ステッパーモーター | DCギヤモーター | 2相ステッパーモーター | ||
動作電圧 | 0~±12 | – | 0~±12 | – | V | |
モーター電力 | 0.52 / 1.75 / 1.75 | 1.5 | 0.52 / 1.75 / 1.75 | 1.5 | W | |
公称電流(相単位) | 160 / 320 / 320 | 250 | 160 / 320 / 320 | 250 | mA | |
基準点スイッチとリミットスイッチ | ホール効果 | ホール効果 | ホール効果 | ホール効果 | ||
その他 | ||||||
動作温度範囲 | -20~65 | -20~65 | -20~65 | -20~65 | °C | |
材料 | アルミニウム (黒アルマイト加工) | アルミニウム (黒アルマイト加工) | アルミニウム (黒アルマイト加工) | アルミニウム (黒アルマイト加工) | ||
質量 | 0.25 / 0.27 / 0.3 | 0.25 / 0.27 / 0.3 | 0.25 / 0.27 / 0.3 | 0.25 / 0.27 / 0.3 | kg | |
ケーブル長さ | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | m | |
接続 | HD D-Sub 26 (m) | HD D-Sub 26 (m) | HD D-Sub 26 (m) | HD D-Sub 26 (m) | ||
推奨コントローラー | C-863 C-884 | C-663.12 | C-863 C-884 | C-663.12 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification M-110.xxx, M-111.xxx, M-112.xxx
データシート
ドキュメント
User Manual M110T0032
M-110.xxx1 / M-111.xxx1 / M-112.xxx1 Microtranslation Stage
3D モデル
M-11x.xxx1 3-D model
アニメーション化された3D モデル
Animated 3-D Model M-112.xxx1
Animated 3-D Model M-110.xxx1
Animated 3-D Model M-111.xxx1
見積 / 発注
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