L-306 コンパクトな高精度Zステージ

2相ステッパーモーター内蔵のZステージ

2相ステッパーモーター内蔵のZステージ、A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー

DCモーター内蔵のZステージ、A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー

動作および位置決め

移動範囲

13

13

13

mm

内蔵センサー

–

インクリメンタルエンコーダー

インクリメンタルエンコーダー

センサー分解能

–

5

50

nm

設計分解能

2.5

0.005

0.05

µm

最小インクリメンタルモーション

2.5

0.1

0.1

µm

標準

一方向繰り返し性

0.5

0.1

0.1

µm

標準

双方向繰り返し性

±2

±0.5

±0.5

µm

標準

ピッチング

±175

±175

±175

µrad

標準

ヨーイング

±150

±150

±150

µrad

標準

直線性/平面性

±3

±3

±3

µm

標準

速度

5

5

5

mm/s

最大

基準点スイッチとリミットスイッチ

光学

光学

光学

機械特性

ガイドの種類

保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド

保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド

保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド

駆動ネジタイプ

ボールネジ

ボールネジ

ボールネジ

スピンドルピッチ

0.5

0.5

0.5

mm

圧縮/引張力

20

20

20

N

最大

保持力、無通電

20

20

20

N

標準

許容されるラテラルフォース

10

10

10

N

最大

負荷容量

20

20

20

N

最大

許容トルク(θ_X、θ_Y方向)

1

1

1

N m

最大

許容トルク(θ_Z方向)

2

2

2

N m

最大

駆動特性

モータータイプ

2相ステッパーモーター

2相ステッパーモーター

DCモーター

その他

動作温度範囲

5～40

5～40

5～40

°C

湿度

20ｋ～80 %相対、非結露

20ｋ～80 %相対、非結露

20ｋ～80 %相対、非結露

材料

アルマイト加工アルミニウム、鋼鉄

アルマイト加工アルミニウム、鋼鉄

アルマイト加工アルミニウム、鋼鉄

質量

0.6

0.6

0.6

kg

±5 %

移動質量

0.18

0.18

0.18

kg

±5 %

接続

HD Sub-D 26 (m) (モーター)

HD Sub-D 26 (m) (モーターおよびエンコーダ)

HD Sub-D 26 (m) (モーターおよびエンコーダ)

ケーブル長さ

0.5

0.5

0.5

m

推奨コントローラー

C-663.12 (単一軸)

SMC Hydra (二重軸)

C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで)

ACSモジュラーコントローラー

C-663.12 (単一軸)

SMC Hydra (二重軸)

C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで)

ACSモジュラーコントローラー

C-863 (単一軸)

C-884 (最大6軸まで)

C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで)

ACSモジュラーコントローラー