L-306 コンパクトな高精度Zステージ
コンパクト設計、多軸の組み合わせ
- コンパクト設計:表面サイズ63 mm × 63 mm
- ステッパーモーターとクローズドループDCモーター
- Optional: Linear encoder for direct position measuring
- クロスローラーガイド
- 非接触基準点スイッチとリミットスイッチ
多用途のコンパクトなZステージ
折り重なったベルト駆動によるコンパクトサイズのZステージです。接続間隔M6 50 mm × 50 mmのリニアステージ(L-406など)に適合します。
駆動
- 2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCモーター
- バックラッシュ補正のボールネジ
位置計測
- インクリメンタルリニアエンコーダー(ステッパーモーターのオプションあり)
- 非接触光学基準点スイッチとリミットスイッチ
インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定
非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。
クロスローラーガイド
クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく強化ローラーが線で接触するようになっています。これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、摩擦が低減しスムーズな動作が可能となっています。クロスローラーガイドには、ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特徴もあります。また、回転素子の保持器を強制的にガイドすることで、保持器のずれを抑えています。
応用分野
研究, 半導体テクノロジー, フォトニクス, オートメーション
仕様
仕様
L-306.011100 | L-306.011112 | L-306.013112 | 単位 | 誤差 | |
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2相ステッパーモーター内蔵のZステージ | 2相ステッパーモーター内蔵のZステージ、A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー | DCモーター内蔵のZステージ、A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー | |||
動作および位置決め | |||||
移動範囲 | 13 | 13 | 13 | mm | |
内蔵センサー | – | インクリメンタルエンコーダー | インクリメンタルエンコーダー | ||
センサー分解能 | – | 5 | 50 | nm | |
設計分解能 | 2.5 | 0.005 | 0.05 | µm | |
最小インクリメンタルモーション | 2.5 | 0.1 | 0.1 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | 0.5 | 0.1 | 0.1 | µm | 標準 |
双方向繰り返し性 | ±2 | ±0.5 | ±0.5 | µm | 標準 |
ピッチング | ±175 | ±175 | ±175 | µrad | 標準 |
ヨーイング | ±150 | ±150 | ±150 | µrad | 標準 |
直線性/平面性 | ±3 | ±3 | ±3 | µm | 標準 |
速度 | 5 | 5 | 5 | mm/s | 最大 |
基準点スイッチとリミットスイッチ | 光学 | 光学 | 光学 | ||
機械特性 | |||||
ガイドの種類 | 保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド | 保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド | 保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド | ||
駆動ネジタイプ | ボールネジ | ボールネジ | ボールネジ | ||
スピンドルピッチ | 0.5 | 0.5 | 0.5 | mm | |
圧縮/引張力 | 20 | 20 | 20 | N | 最大 |
保持力、無通電 | 20 | 20 | 20 | N | 標準 |
許容されるラテラルフォース | 10 | 10 | 10 | N | 最大 |
負荷容量 | 20 | 20 | 20 | N | 最大 |
許容トルク(θX、θY方向) | 1 | 1 | 1 | N m | 最大 |
許容トルク(θZ方向) | 2 | 2 | 2 | N m | 最大 |
駆動特性 | |||||
モータータイプ | 2相ステッパーモーター | 2相ステッパーモーター | DCモーター | ||
その他 | |||||
動作温度範囲 | 5~40 | 5~40 | 5~40 | °C | |
湿度 | 20k~80 %相対、非結露 | 20k~80 %相対、非結露 | 20k~80 %相対、非結露 | ||
材料 | アルマイト加工アルミニウム、鋼鉄 | アルマイト加工アルミニウム、鋼鉄 | アルマイト加工アルミニウム、鋼鉄 | ||
質量 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | kg | ±5 % |
移動質量 | 0.18 | 0.18 | 0.18 | kg | ±5 % |
接続 | HD Sub-D 26 (m) (モーター) | HD Sub-D 26 (m) (モーターおよびエンコーダ) | HD Sub-D 26 (m) (モーターおよびエンコーダ) | ||
ケーブル長さ | 0.5 | 0.5 | 0.5 | m | |
推奨コントローラー | C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual L306T0002
Compact Z positioner L-306.011100 / 011112 / 013112
3D モデル
L-306 3-D model
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