P-733.2 XYピエゾナノポジショナー

開口部を備えた高精度XYスキャナー

X、Y方向最大トラベルレンジ100 µm × 100 µm
静電容量センサーにより、最大分解能0.1 nmを実現
ダイレクトドライブ採用の高速バージョンを展開
真空対応バージョンおよび非磁性バージョンも対応可能
パラレルキネマティックにより、高精度と高ダイナミクスを実現
並列計測により、ガイディングエラーを能動的に補正
ゼロプレイで高精度なフレクシャーガイドシステム
透過光用途に対応する50 mm × 50 mmの開口部

見積 / 発注

P-733.2CD / .2CL、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

P-733.2DD、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

応用分野

走査型顕微鏡
共焦点顕微鏡
マスク/ウエハー位置決め
表面測定技術
ナノインプリンティング
マイクロマニピュレーション
画像処理/安定化
高い平面度・真直度が求められるナノポジショニング

PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMA^®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA^®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

静電容量センサーによるサブナノメートル分解能

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。

ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度

フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。幅広い温度範囲で動作します。

自動構成とコンポーネントの高速交換

メカニクスとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、短時間で交換可能です。すべてのサーボパラメーターおよび線形化パラメーターは、メカニクスのD-subコネクター内にあるIDチップに保存されます。デジタルコントローラーの自動キャリブレーション機能は、コントローラーの電源投入時に毎回このデータを使用します。

直接位置測定による高精度

動作は、駆動機構やガイド機構の影響を受けることなくモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、卓越した安定性、堅牢で応答性の高い制御が可能になります。

パラレルキネマティックによる高ダイナミクス多軸動作

パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエーターが共通のプラットフォーム上で動作します。最小限の慣性質量と全軸共通の設計により、高速・高応答かつ高精度な動作を実現。

データシートのダウンロード画面へ仕様へ見積 / 発注

データシート

日付 / バージョン

2025-11-26

pdf - 785 KB

日付 / バージョン

2025-11-26

pdf - 822 KB

日付 / バージョン

2026-07-15

pdf - 1 MB

日付 / バージョン

2018-07-11

pdf - 809 KB

ダウンロード

Select a travel range:

Motion	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Tolerance
Active axes	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y
Travel range in X	100 µm	100 µm	30 µm
Travel range in Y	100 µm	100 µm	30 µm
Travel range in X, open loop, at -20 to 120 V	115 µm	115 µm	33 µm	+20 % / -0 %
Travel range in Y, open loop, at -20 to +120 V	115 µm	115 µm	33 µm	+20 % / -0 %
Linearity error in X	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Linearity error in Y	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Angular error E_AY (pitch)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	typ.
Angular error E_BX (pitch)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	typ.
Angular error E_CX (yaw)	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Angular error E_CY (yaw)	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Positioning	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Tolerance
Unidirectional repeatability in X	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirectional repeatability in Y	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Resolution in X, open loop	0.2 nm	0.2 nm	0.1 nm	typ.
Resolution in Y, open loop	0.2 nm	0.2 nm	0.1 nm	typ.
Integrated sensor	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring
System resolution in X	0.3 nm	0.3 nm	0.1 nm	typ.
System resolution in Y	0.3 nm	0.3 nm	0.1 nm	typ.
Drive properties	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Electrical capacitance in X	6 µF	6 µF	6.2 µF	±20 %
Electrical capacitance in Y	6 µF	6 µF	6.2 µF	±20 %
Mechanical properties	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Tolerance
Stiffness in X	1.5 N/µm	1.5 N/µm	20 N/µm	±20 %
Stiffness in Y	1.5 N/µm	1.5 N/µm	20 N/µm	±20 %
Resonant frequency in X, unloaded	500 Hz	500 Hz	2230 Hz	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 120 g	370 Hz	370 Hz	—	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 200 g	340 Hz	340 Hz	1550 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, unloaded	500 Hz	500 Hz	2230 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, under load with 120 g	370 Hz	370 Hz	—	±20 %
Resonant frequency in Y, under load with 200 g	340 Hz	340 Hz	1550 Hz	±20 %
Permissible push force in X	50 N	50 N	50 N	max.
Permissible push force in Y	50 N	50 N	50 N	max.
Permissible push force in Z	50 N	50 N	50 N	max.
Permissible pull force in X	20 N	20 N	20 N	max.
Permissible pull force in Y	20 N	20 N	20 N	max.
Permissible pull force in Z	20 N	20 N	20 N	max.
Overall mass	580 g	580 g	580 g	±5 %
Material	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
Miscellaneous	P-733.2CD	P-733.2CL	P-733.2DD	Tolerance
Operating temperature range	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	D-sub 25W3 (m)	LEMO FFS.00.250.CTCE24	D-sub 25W3 (m)
Cable length	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10 mm
Recommended controllers/drivers	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727
Sensor connector	—	LEMO FFA.00.250.CTLC31	—

P-733.2DD：デジタルコントローラー使用時の直線性誤差。アナログコントローラーを使用した場合、ダイレクトドライブポジショナーの標準的な直線性誤差は最大0.1％になることがあります。

PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

データシートのダウンロード画面へダウンロード画面へ見積 / 発注

製品についての注意事項

日付 / バージョン

2021-04-19

pdf - 377 KB

英語

ダウンロード

データシート

日付 / バージョン

2025-11-26

pdf - 785 KB

日付 / バージョン