- 剛性、負荷容量、発生力
第一近似では、ピエゾアクチュエータはバネ-質量系となります。アクチュエータの剛性は、セラミックの弾性係数(鋼の弾性係数の約25 %)、活物質の断面積と長さ、およびその他の非線形パラメーターで決まります。一般的なアクチュエータの剛性は1~2,000 N/μmであり、圧縮限界は10~100,000 Nです。引張応力に対しては、プリロードを内蔵したケースまたは外付けのプリロードバネが必要になります。適切な手段を講じて、剪断力および曲げ力とトルクからピエゾセラミックを保護してください。
- 真空およびクリーンルームに対応
ピエゾアクチュエータは摩耗を起こさず、潤滑剤も不要です。オールセラミックの絶縁アクチュエータであるPICMAはポリマーコーティングが施されていないため、超高真空用途に最適です。
- 動作電圧
2種類のピエゾアクチュエータが確立されています。
モノリシック焼結多層アクチュエータPICMA(低電圧アクチュエータ)の最大動作電圧は約130 Vであり、厚さ20~100 μmのセラミック層で形成されています。
従来の高電圧アクチュエータ(PICA高出力アクチュエータ)は厚さ0.5~1 mmのセラミック層で形成されており、最大動作電圧は1000 Vです。PICAアクチュエータは、小型のモノリシック多層ピエゾアクチュエータよりも大きな荷重に適応させるため、断面積を大きくして製造することができます。
- 高発生力
数トンの荷重を移動させることができる高荷重対応ピエゾアクチュエータをご用意しています。これらのアクチュエータは300 μmまでのトラベルレンジに対応しており、サブナノメートル台の分解能を備えています。