N-470.V PiezoMike Linear Actuator

最小サイズで大きな力による安定したポジショニング 10^-6hPaまでの真空対応

N-470マウンティングスレッド寸法(mm)

N-470 with clamping shank, 寸法(mm)

高分解能で安定した位置決めのためのピエゾ慣性駆動を備えたリニアスクリュー型アクチュエータ。フルステップモードでのオープンループ動作

コストパフォーマンスのよい慣性ドライブの原理（スティックスリップ）静止状態ではセルフロックが働くため、電流は不要であり熱が生じることはありません。位置の保持は最大限の力で行います。

光路の安定調整長期位置決め：目標位置での高い安定性、より長い停止時間後でさえ確実に駆動。ピエゾアクチュエータと機械的なねじの並進を組み合わせることによる高い保持力と分解能。真空対応 10^-9hPa

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	N-470.x1V N-470.x1VY	N-470.x1U N-470.x1UY	N-470.x2V N-470.x2VY	N-470.x2U N-470.x2UY
機械接続	M10×1 マウンティングスレッド	M10×1 マウンティングスレッド	9.5mmclamping shank	9.5mmclamping shank
圧力スイッチ	10^-6hPa	10^-9hPa	10^-6hPa	10^-9hPa

動作および位置決め	N-470.11x; N-470.11xx N-470.12x; N-470.12xx	N-470.21x; N-470.21xx N-470.22x; N-470.22xx	N-470.41x; N-470.41xx N-470.42x; N-470.42xx	単位
能動軸	X	X	X
移動範囲	7.5	13	26	mm
ステップモード時のさ最大ステップ幅	50	50	50	nm
標準ステップサイズ	20	20	20	nm
最大ステップ周波数	2000	2000	2000	Hz
フルステップ時の最高速度	3.6	3.6	3.6	mm/最小
フルステップ時の標準速度	2.4	2.4	2.4	mm/最小

機械特性	N-470.11x; N-470.11xx N-470.12x; N-470.12xx	N-470.21x; N-470.21xx N-470.22x; N-470.22xx	N-470.41x; N-470.41xx N-470.42x; N-470.42xx	単位
動作方向の剛性	15	15	15	N/µm
フィードフォース（active）	22	22	22	N
保持力（passive)	>100	>100	>100	N
許容されるラテラルフォース	1	1	1	N

駆動特性	N-470.11x; N-470.11xx N-470.12x; N-470.12xx	N-470.21x; N-470.21xx N-470.22x; N-470.22xx	N-470.41x; N-470.41xx N-470.42x; N-470.42xx	単位
駆動タイプ	ピエゾモーター	ピエゾモーター	ピエゾモーター
最大動作電圧	80	80	80	V
最大電力消費	5	5	5	W

その他	N-470.11x; N-470.11xx N-470.12x; N-470.12xx	N-470.21x; N-470.21xx N-470.22x; N-470.22xx	N-470.41x; N-470.41xx N-470.42x; N-470.42xx	単位
動作温度範囲	10～40	10～40	10～40	°C
材料	ねじ：ステンレススチールハウジング：ステンレススチール	ねじ：ステンレススチールハウジング：ステンレススチール	ねじ：ステンレススチールハウジング：ステンレススチール
寸法	14 × 28 × 48	14 × 28 × 53.5	14 × 28 × 68.5	mm
質量	80	85	95	g
ケーブル長/コネクタ	真空中1 m、より線真空の外側 2 m、LEMO 3ピンへのより線	真空中1 m、より線真空の外側 2 m、LEMO 3ピンへのより線	真空中1 m、より線真空の外側 2 m、LEMO 3ピンへのより線
推奨コントローラ	E-872.401	E-872.401	E-872.401