N-310 NEXACT® OEM Miniature Linear Motor / Actuator

N-310 NEXACT® OEM Miniature Linear Motor / Actuator

Compact, Fast, with Long Travel Range, PiezoWalk® Principle

  • Travel range 20 mm
  • Compact in size, inexpensive design
  • Resolution to 0.03 nm
  • Drive force up to 10 N
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N-310.11, dimensions in mm
N-310 NEXACT® OEM Miniature Linear Motor / Actuator
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Nanometer precision and high feed force with PiezoWalk® walking drives

In the PiezoWalk® walking drive, several piezo actuators do a walking motion that leads to a forward feed of a runner. Control of the actuators allows the smallest step and forward feed motion at a resolution of well under one nanometer.

Highly accurate position measuring with incremental linear encoder

Noncontact optical linear encoders measure the position directly at the platform with the greatest accuracy. Nonlinearity, mechanical play or elastic deformation have no influence on the measurement.

Application fields

  • Industrial precision positioning
  • Semiconductor technology
  • Semiconductor tests
  • Wafer inspection
  • Lithography
  • Nanoimprinting
  • Nanometrology
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Specifications

データシート

Datasheet N-310

日付 / バージョン
2025-01-23
pdf - 492 KB
日付 / バージョン
2025-01-23
pdf - 510 KB
日付 / バージョン
2017-11-16
pdf - 748 KB
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製品についての注意事項

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Product Change Notification N-310.XX-N-47X.XX

日付 / バージョン
2023-01-23
pdf - 86 KB
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データシート

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Datasheet N-310

日付 / バージョン
2025-01-23
pdf - 492 KB
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2025-01-23
pdf - 510 KB
日付 / バージョン
2017-11-16
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ドキュメント

ドキュメント

User Manual N310T0012

N-310 NEXACT® OEM Miniature Linear Drive

日付 / バージョン
2024-12-20
pdf - 986 KB
英語

３D モデル

３D モデル

N-310.11 3D Model

日付 / バージョン
2025-01-02
zip - 119 KB
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N-310.11

NEXACT® OEM miniature linear motor / actuator; NEXACT® piezo walking drive; 20 mm travel range; 10 N drive force; 10 mm/s maximum velocity; 1.5 m cable length

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