位置決めの長期安定性を備えたPiezoMikeアクチュエータ

PiezoMikeリニアアクチュエータはピエゾダイレクトドライブによる高分解能と大きな保持力を備え、絶対的に安定した位置決めを実現します。このため、レーザーアプリケーションでの光学エレメントの位置決めのように、高い精度が求められ、設定後の操作は行わない用途に理想的です。

N-480 High-Precision Kinematic Mirror Mount

With N-470 PiezoMike Linear Actuators
  • Rotation range θX/θY: 8 µrad to 16 µrad

N-470.V PiezoMike Linear Actuator

Minimum Dimensions, High Forces, Stable Positioning, Vacuum to 10
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N-470 PiezoMike Linear Actuator

Minimum Dimensions, High Forces, Stable Positioning
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N-472 PiezoMike Linear Actuator

With Position Sensor for Closed-Loop Operation
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