M-126 Precision Translation Stage
クロスローラーベアリング付きのコンパクトなリニアステージ
- トラベルレンジ:20°mm 25°mm
- 再現性~0.1μm
- 最小インクリメンタルモーション:0.1°μm
- 速度:50mm/sまで
- XYとXYZのコンビネーション
- 方位センシング基準点スイッチ
コンパクトマイクロトランスレーションステージ
M-126精密マイクロトランスレーションステージは、マニュアル駆動、2相ステッピングモータ、DCモータ、およびDCギアモータのバリエーションとして入手可能です。DCのバリエーションは統合されたActive Driveサーボアンプを備えています。最高レベルのギアバリエーションを持つDCギアヘッドは、ロータリーエンコーダーにより3.5 nmの設計分解能を達成します。モーションプラットフォームはクロスローラベアリングによりガイドされます。モーターの回転を直線運動に変換するには、親ネジまたはボールネジを使用します。
仕様
仕様
動作および位置決め | M-126.CG1 | M-126.DG1 | M-126.PD1 | M-126.PD2 | M-126.2S1 | M-126.M0 | 単位 |
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移動範囲 | 25 | 25 | 25 | 20 | 25 | 25 | mm |
内蔵センサー | ロータリーエンコーダ | ロータリーエンコーダ | ロータリーエンコーダ | ロータリーエンコーダ | – | – | |
センサー分解能 | 2048 | 2000 | 4000 | 4000 | – | – | Cts./rev. |
設計分解能 | 0.0035 | 0.0085 | 0.125 | 0.25 | 1.25 | – | µm |
最小インクリメンタルモーション | 0.1 | 0.1 | 0.25 | 0.5 | 0.1 | 1 | µm |
一方向繰り返し性 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.3 | 0.1 | – | µm |
双方向繰り返し性 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | – | µm |
精度 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | – | µm |
ピッチング/ヨーイング | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 | µrad |
直進性/平坦度 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | µm |
最大速度 | 0.7 | 1.5 | 15* | 50 | 6 | – | mm/s |
基準点スイッチ繰り返し性 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | – | µm |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual MP42 (英語)
M-126 Precision Microtranslation Stage
3D モデル
M-126 3-D model
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