M-404 Precision Linear Stage
高サイクル数、比較的廉価
- リーズナブル価格に最適化された設計精密位置決め用
- トラベルレンジ25 mm~200 mm
- 分解能~0.012μm
- 最小インクリメンタルモーション~0.1μm
- 高速で高サイクル時用ボールスクリュー
- M-413,M-414での高荷重
仕様
仕様
M-404.1PD M-404.2PD M-404.4PD M-404.6PD M-404.8PD | M-404.1DG M-404.2DG M-404.4DG M-404.6DG M-404.8DG | 単位 | 誤差 | |
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ActiveDrive | DCギヤモーター | |||
駆動軸 | X | X | ||
動作および位置決め | ||||
移動範囲 | 25 / 50 / 100 / 150 / 200 | 25 / 50 / 100 / 150 / 200 | mm | |
内蔵センサー | ロータリーエンコーダ | ロータリーエンコーダ | ||
センサー分解能 | 4000 | 2000 | Cts./rev. | |
設計分解能 | 0.25 | 0.012 | µm | 標準 |
最小インクリメンタルモーション | 0.25 | 0.1 | µm | 標準 |
バックラッシュ | 0.5 | 2 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | 0.5 | 1 | µm | 標準 |
ピッチング | 75 | 75 | µrad | 標準100 mm以上 |
ヨーイング | 75 | 75 | µrad | 標準100 mm以上 |
速度 | 50 | 1.5 | mm/s | 最大 |
基準点スイッチ繰り返し性 | 1 | 1 | µm | 標準 |
機械特性 | ||||
スピンドルピッチ | 1 | 1 | mm | |
ギヤ比率 | – | 2704:63 | ||
モーター分解能 | – | – | ステップ/回転 | |
動作方向の剛性 | 3 | 3 | N/µm | ±20 % |
許容荷重(1) | 200 | 200 | N | 最大 |
圧縮/引張力 | 50 | 50 | N | 最大 |
ラテラルフォース | 100 | 100 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||
駆動タイプ | DCモーター、ActiveDrive | DCギヤモーター | ||
動作電圧 | 24 | 0~ ±12 | V | |
モーター電力 | 26 | 2.5 | W | 公称 |
その他 | ||||
動作温度範囲 | -20~65 °C | -20~65 °C | ||
材料 | アルミニウム (黒アルマイト加工) | アルミニウム (黒アルマイト加工) | ||
質量 | 1.8 / 1.9 /2.2 / 2.3 /2.6 | 1.8 / 1.9 /2.2 / 2.3 /2.6 | kg | ±5 % |
コネクタ | D-sub15(m) 3mケーブル含む | D-sub15(m) 3mケーブル含む | ||
推奨コントローラー/ドライバー | C-863 C-884 | C-863 C-884 |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual MP79
M-404 Precision Linear Stage
Technical Note M404T0008 (英語)
M-404.xVP / M-404.xVG Precision Translation Stages for Vacuum Applications (p > 1 E -6 mbar)
3D モデル
M-404 3-D model
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