L-310 高精度Zステージ

リニアステージと回転ステージを組み合わせたコンパクトな多軸ステージ

トラベルレンジ26 mm (1")
高分解能エンコーダー
DC、BLDC、およびステッパーモーター
ゼロプレイボールネジ
MTBF 10000 h
耐荷重10 kg

L-310.20SD

[Translate to Japanese:] L-310, dimensions in mm

[Translate to Japanese:] Direction of the axes and torques for Z stages

ボールネジとクロスローラーガイドにより、高いガイド精度と剛性を実現します。また、最高の安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースが使用されています。真空対応バージョン可能（リクエストによる）非接触リミットスイッチと基準点スイッチ(ホール効果)を備えています。基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。

.xxSDタイプ：低速でも高トルク、高分解能の2相ステッパーモーター
.xxADタイプ：高速ActiveDrive DCモーター：パルス幅変調(PWM)信号により制御、動作電圧はモーターハウジングに内蔵のアンプから取得
.023xxxタイプ：DCサーボモーター
.025xxxタイプ：高速回転のブラシレスDCモーター(BLDC)。スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現

DCモーター内蔵バージョン：ロータリーエンコーダー
オプション：内蔵リニアエンコーダー、中央でインストール

非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。

SMC Hydraコントローラーと連動させると、ステッパーモーターを搭載しリニアエンコーダーを内蔵したバージョン(L-310.xASD)では、センサー分解能の範囲で再現可能な最小インクリメンタルモーションを実現できます。同じ構成で、秒ごとのセンサーインクリメントの少ない一環した低速が可能です。

工業、研究分野の精密ポジショニング、高デューティサイクル

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データシート

日付 / バージョン

2022-02-18

pdf - 523 KB

日付 / バージョン

2022-02-18

pdf - 576 KB

日付 / バージョン

2021-01-14

pdf - 526 KB

日付 / バージョン

2018-12-12

pdf - 755 KB

ダウンロード

モーション	L-310	単位	誤差
能動軸	Z
移動範囲	26	mm
ピッチング/ヨーイング	±150	µrad	標準
直線性/平面性	±3	µm	標準
速度	L-310.2xAD: 20 L-310.2xSD: 15 L-310.xx3xxx: 50 L-310.xx5xxx: 50	mm/s	最大

位置決め	L-310.2ASD L-310.023211	L-310.24AD L-310.xxx212	L-310.20AD L-310.xxx232	L-310.20SD	単位	誤差
設計分解能	0.005	0.05	L-310.20AD: 0.061 L-310.023232: 0.061 L-310.025232: 0.05	5	µm
内蔵センサー	インクリメンタルエンコーダー	インクリメンタルエンコーダー L-310.025212のその他のロータリーエンコーダー	ロータリーエンコーダ	–
センサー信号	sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm	A/B直行、TTL	A/B直行、TTL	–
センサー分解能ロータリーエンコーダー	–	L-310.025212：20000	L-310.20AD： 16384 L-310.023232： 16384 L-310.025232: 20000	–	Cts./rev.
センサー分解能リニアエンコーダー		0.05		–	µm
最小インクリメンタルモーション	L-310.2ASD: 0.05 L-310.023211: 0.2	L-310.24AD: 0.3 L-310.xxx212: 0.2	0.3	0.3	µm	標準
一方向繰り返し性	L-310.2ASD: 0.1 L-310.023211: 0.2	L-310.24AD: 0.3 L-310.xxx212: 0.2	0.3	0.3	µm	標準
双方向繰り返し性	±0.2	±0.2	±2	±2	µm	標準
リミットスイッチ	ホール効果	ホール効果	ホール効果	ホール効果
基準点スイッチ繰り返し性	2	2	2	2	µm	標準

機械特性	L-310	単位	誤差
駆動ネジ	ボールネジ
スピンドルピッチ	1	mm
ガイド	保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド
保持力、無通電	L-310.2xAD: 30 L-310.2xSD: 50 L-310.023xxx: 30 L-310.025xxx: 50	N	最大
許容されるラテラルフォース、Fx	100	N	最大
許容されるラテラルフォース、Fy	50	N	最大
許容トルク(θ_X方向、M_x)	40	N·m	最大
許容トルク(θ_Y方向、M_y)	80	N·m	最大
許容トルク(θ_Z方向、M_z)	80	N·m	最大

駆動特性	L-310.xxSD	L-310.xxAD	L-310.xx3xxx	L-310.xx5xxx	単位	誤差
モータータイプ	2相ステッパーモーター	PWMコントロール内蔵DCモーター	DCモーター	ブラシレスDCモータ
動作電圧、公称	24	24	24	24	V	公称
動作電圧、最大	48	48	48	48	V	最大
ステップ分解能	200	–	–	–	Full steps/rev

その他	L-310.20SD	L-310.2ASD	L-310.023xxx L-310.2xAD	L-310.025xxx	単位	誤差
動作温度範囲	5～40	5～40	5～40	5～40	°C
材料	アルミニウム (黒アルマイト加工)	アルミニウム (黒アルマイト加工)	アルミニウム (黒アルマイト加工)	アルミニウム (黒アルマイト加工)
MTBF	–	–	–	10000	h
質量	2.7	2.8	2.7	2.7	kg	±5 %
移動質量、アンロード	0.9	0.9	0.9	0.9	kg	±5 %
接続	HD D-Sub 26 (m)	HD Sub-D 26 (m) (モーター) Sub-D 9 (m) (センサー)	L-310.2xAD：Sub-D 15 (m) L-310.023232：HD Sub-D 26 (m) L-310.023211：HD Sub-D 26 (m) (モーター)、Sub-D 9 (m) (センサー)	HD D-Sub 26 (m)
推奨コントローラー/ドライバー	C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-891 (単一軸) C-891.10C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー