P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ

最大3軸に対応可能な高精度ナノポジショナー

X軸およびY軸のパラレルキネマティックにより、応答時間の短縮と多軸精度の向上を実現
最大トラベルレンジ：300 × 300 × 300 µm
静電容量センサーによる優れた直線性
ゼロプレイで高精度なフレクシャーガイド
優れたスキャン平坦度
高ダイナミクスなXYZバージョン
開口部：66 mm × 66 mm
PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

見積 / 発注

P-562.3CDの応答特性：X、Y、Z方向で10 ms未満のステップ＆整定を実現。

P-56x.3CDおよびP-56x.3CL、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

P-561.3DD、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

応用分野

走査型顕微鏡
マスク/ウエハー位置決め
干渉測定
測定技術
バイオテクノロジー
スキャニングとスクリーニング

PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMA^®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA^®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

静電容量センサーによるサブナノメートル分解能

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。

ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度

フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。幅広い温度範囲で動作します。

自動構成とコンポーネントの高速交換

メカニカルユニットとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、短時間で交換可能です。すべてのサーボパラメーターおよび線形化パラメーターは、機械ユニットのD-subコネクター内にあるIDチップに保存されます。コントローラーの電源を入れるたびに、デジタルコントローラーのオートキャリブレーション機能が保存されたデータを読み込んで適用します。

パラレル位置測定による、ナノメートルレンジの高い追従精度

すべての自由度を単一の固定基準に対して測定。軸間で発生する不要なクロストークは、帯域幅に応じてリアルタイムで能動的に補正可能です（アクティブガイディング）。動的動作時でも、ナノメートルレンジで高い軌道追従性を実現します。

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データシート

日付 / バージョン

2025-11-26

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2025-11-26

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日付 / バージョン

2026-04-30

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日付 / バージョン

2018-07-02

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Motion	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Tolerance
Active axes	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z	X ǀ Y ǀ Z
Travel range in X	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	300 µm	300 µm	45 µm
Travel range in Y	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	300 µm	300 µm	45 µm
Travel range in Z	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	300 µm	300 µm	15 µm
Travel range in X, open loop, at -20 to 120 V	150 µm	150 µm	300 µm	300 µm	340 µm	340 µm	58 µm	+20 % / -0 %
Travel range in Y, open loop, at -20 to +120 V	150 µm	150 µm	300 µm	300 µm	340 µm	340 µm	58 µm	+20 % / -0 %
Travel range in Z, open loop, at -20 to 120 V	150 µm	150 µm	300 µm	300 µm	340 µm	340 µm	18 µm	+20 % / -0 %
Linearity error in X	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	max.
Linearity error in Y	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	max.
Linearity error in Z	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.08 %	max.
Straightness error E_XZ	± 30 nm	± 30 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 20 nm	typ.
Straightness error E_YZ	± 30 nm	± 30 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 50 nm	± 20 nm	typ.
Straightness error E_ZX (flatness)	± 15 nm	± 15 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 25 nm	± 25 nm	± 10 nm	typ.
Straightness error E_ZY (flatness)	± 15 nm	± 15 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 25 nm	± 25 nm	± 10 nm	typ.
Angular error E_AY (pitch)	± 1 µrad	± 1 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 3 µrad	typ.
Angular error E_AZ	± 15 µrad	± 15 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 3 µrad	typ.
Angular error E_BX (pitch)	± 1 µrad	± 1 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 2 µrad	± 3 µrad	typ.
Angular error E_BZ	± 15 µrad	± 15 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 3 µrad	typ.
Angular error E_CX (yaw)	± 6 µrad	± 6 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 3 µrad	typ.
Angular error E_CY (yaw)	± 6 µrad	± 6 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 3 µrad	typ.
Positioning	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Tolerance
Unidirectional repeatability in X	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirectional repeatability in Y	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	± 2 nm	typ.
Unidirectional repeatability in Z	± 2 nm	± 2 nm	± 4 nm	± 4 nm	± 4 nm	± 4 nm	± 2 nm	typ.
Resolution in X, open loop	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.1 nm	typ.
Resolution in Y, open loop	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.1 nm	typ.
Resolution in Z, open loop	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.1 nm	typ.
Integrated sensor	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, indirect position measuring
System resolution in X	0.8 nm	0.8 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	0.2 nm
System resolution in Y	0.8 nm	0.8 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	0.2 nm
System resolution in Z	0.8 nm	0.8 nm	1 nm	1 nm	2 nm	2 nm	0.2 nm
Drive properties	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Electrical capacitance in X	5.2 µF	5.2 µF	7.4 µF	7.4 µF	7.4 µF	7.4 µF	38 µF	±20 %
Electrical capacitance in Y	5.2 µF	5.2 µF	7.4 µF	7.4 µF	7.4 µF	7.4 µF	38 µF	±20 %
Electrical capacitance in Z	10.4 µF	10.4 µF	14.8 µF	14.8 µF	14.8 µF	14.8 µF	6 µF	±20 %
Mechanical properties	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Tolerance
Resonant frequency in X, unloaded	190 Hz	190 Hz	160 Hz	160 Hz	140 Hz	140 Hz	920 Hz	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 350 g	150 Hz	150 Hz	125 Hz	125 Hz	93 Hz	93 Hz	640 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, unloaded	190 Hz	190 Hz	160 Hz	160 Hz	140 Hz	140 Hz	920 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, under load with 350 g	150 Hz	150 Hz	125 Hz	125 Hz	93 Hz	93 Hz	640 Hz	±20 %
Resonant frequency in Z, unloaded	380 Hz	380 Hz	315 Hz	315 Hz	250 Hz	250 Hz	1050 Hz	±20 %
Resonant frequency in Z, under load with 350 g	260 Hz	260 Hz	211 Hz	211 Hz	148 Hz	148 Hz	695 Hz	±20 %
Permissible push force in X	60 N	60 N	50 N	50 N	40 N	40 N	200 N	max.
Permissible push force in Y	60 N	60 N	50 N	50 N	40 N	40 N	200 N	max.
Permissible push force in Z	100 N	100 N	60 N	60 N	30 N	30 N	250 N	max.
Permissible pull force in X	40 N	40 N	40 N	40 N	30 N	30 N	70 N	max.
Permissible pull force in Y	40 N	40 N	40 N	40 N	30 N	30 N	70 N	max.
Permissible pull force in Z	100 N	100 N	60 N	60 N	30 N	30 N	60 N	max.
Guide	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with direct drive
Overall mass	1450 g	1450 g	1450 g	1450 g	1450 g	1450 g	1550 g	±5 %
Material	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
Resonant frequency in X, under load with 100 g	—	—	145 Hz	145 Hz	120 Hz	120 Hz	860 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, under load with 100 g	—	—	145 Hz	145 Hz	120 Hz	120 Hz	860 Hz	±20 %
Resonant frequency in Z, under load with 100 g	—	—	275 Hz	275 Hz	215 Hz	215 Hz	950 Hz	±20 %
Miscellaneous	P-561.3CD	P-561.3CL	P-562.3CD	P-562.3CL	P-563.3CD	P-563.3CL	P-561.3DD	Tolerance
Operating temperature range	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	D-sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-sub 25W3 (m)	LEMO LVPZT	D-sub 25W3 (m)
Cable length	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	+50 mm / -0 mm
Recommended controllers/drivers	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727

P-561.3DDの直線性誤差：デジタルコントローラー使用時。アナログコントローラーで測定したダイレクトドライブポジショナーの標準的な非線形性は、最大0.1％です。

パラレルキネマティックは、X軸およびY軸でのみ使用できます（Z軸は対応外）。

PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。

スーパーインバー仕様およびチタニウム仕様も対応可能です。

カスタマイズについてはお問い合わせください。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

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2021-04-19

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2025-11-26

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