P-616.3C
パラレルキネマティックNanoCube®ナノポジショナー、トラベルレンジ100 µm × 100 µm × 100 µm（X × Y × Z）、静電容量式直接位置測定、D-sub 25W3（m）、ケーブル長1.5 m
P-616 NanoCube®ナノポジショナー
ファイバーアライメントおよび走査型顕微鏡向けのコンパクトなパラレルキネマティックナノポジショナー
- あらゆる空間方向で高い剛性を実現するパラレルキネマティック設計
- 高い共振周波数により、最大100 gの負荷時でも高ダイナミクスなモーションを実現
- 単一の取付プラットフォームを採用した革新的な設計により、柔軟な用途に対応
- IDチップ機能を搭載した、市場唯一のナノポジショナー
- トラベルレンジ100 µmクラスの市場で最小・最軽量なNanoCube®
P-616.3C、寸法単位はmm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-616 NanoCube®ナノポジショナー
製品の解説
仕様
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応用分野
- ファイバー位置決めおよびアライメント
- 走査型顕微鏡
- 二光子重合
- ナノテクノロジーとナノマニュファクチャリング
- フォトニクス/集積光学
- マイクロマニピュレーション
- サンプルポジショニング
PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
PICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。 これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。 従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。
静電容量センサーによるサブナノメートル分解能
静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。 優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。
ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度
フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。 高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。 幅広い温度範囲で動作します。
自動構成とコンポーネントの高速交換
メカニクスとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、短時間で交換可能です。 すべてのサーボパラメーターおよび線形化パラメーターは、メカニクスのD-subコネクター内にあるIDチップに保存されます。 デジタルコントローラーの自動キャリブレーション機能は、コントローラーの電源投入時に毎回このデータを使用します。
パラレルキネマティックによる高ダイナミクス多軸動作
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエーターが共通のプラットフォーム上で動作します。 最小限の慣性質量と全軸共通の設計により、高速・高応答かつ高精度な動作を実現。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | P-616.3C | Tolerance |
|---|---|---|
| Active axes | X ǀ Y ǀ Z | |
| Travel range in X | 100 µm | |
| Travel range in Y | 100 µm | |
| Travel range in Z | 100 µm | |
| Travel range in X, open loop | 110 µm | ±20 % |
| Travel range in Y, open loop | 110 µm | ±20 % |
| Travel range in Z, open loop | 110 µm | ±20 % |
| Linearity error in X | 0.03 % | typ. |
| Linearity error in Y | 0.03 % | typ. |
| Linearity error in Z | 0.03 % | typ. |
| Positioning | P-616.3C | Tolerance |
| Bidirectional repeatability in X | 10 nm | typ. |
| Bidirectional repeatability in Y | 20 nm | typ. |
| Bidirectional repeatability in Z | 10 nm | typ. |
| Resolution in X, open loop | 0.3 nm | typ. |
| Resolution in Y, open loop | 0.3 nm | typ. |
| Resolution in Z, open loop | 0.3 nm | typ. |
| Integrated sensor | Capacitive, direct position measuring | |
| System resolution in X | 0.4 nm | |
| System resolution in Y | 0.4 nm | |
| System resolution in Z | 0.4 nm | |
| Drive properties | P-616.3C | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | |
| Electrical capacitance in X | 1.5 µF | ±20 % |
| Electrical capacitance in Y | 1.5 µF | ±20 % |
| Electrical capacitance in Z | 1.5 µF | ±20 % |
| Mechanical properties | P-616.3C | Tolerance |
| Stiffness in X | 0.5 N/µm | ±20 % |
| Stiffness in Y | 0.5 N/µm | ±20 % |
| Stiffness in Z | 0.5 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in X, unloaded | 700 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, unloaded | 700 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, under load with 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, under load with 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, unloaded | 700 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 38 g | 380 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 100 g | 250 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in X | 15 N | max. |
| Permissible push force in Y | 15 N | max. |
| Permissible push force in Z | 15 N | max. |
| Permissible pull force in X | 9 N | max. |
| Permissible pull force in Y | 9 N | max. |
| Permissible pull force in Z | 9 N | max. |
| Permissible torque in θX | 0.4 N·m | max. |
| Permissible torque in θY | 0.4 N·m | max. |
| Permissible torque in θZ | 0.4 N·m | max. |
| Moved mass in X, unloaded | 21 g | |
| Moved mass in Y, unloaded | 21 g | |
| Moved mass in Z, unloaded | 21 g | |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 400 g | |
| Mass without cable | 125 g | |
| Material | アルミニウム、スチール | |
| Miscellaneous | P-616.3C | Tolerance |
| Operating temperature range | -20～80 °C | |
| ID chip | Yes | |
| Connector | D-sub 25W3 (m) | |
| Cable length | 1.5 m | |
| Recommended controllers/drivers | E-503、E-663、E-713、E-727 |
双方向再現性は、10％ステップにおける1シグマ値です。
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
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製品についての注意事項
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
日付 / バージョン
2021-04-19
pdf - 377 KB
英語
データシート
ドキュメント
ドキュメント
ユーザーマニュアル F603T0003
P-616型（NanoCube®）ピエゾポジショナー用ファイバーホルダーF-603.41 / F-603.42 / F-603.43
日付 / バージョン
2026-04-10
pdf - 1 MB
英語
ドキュメント
ユーザーマニュアル PZ268
P-616 NanoCube® XYZナノポジショナー
日付 / バージョン
2025-02-17
pdf - 3 MB
日付 / バージョン
2025-02-17
pdf - 3 MB
３D モデル
３D モデル
P-616.3C 3Dモデル
zip - 342 KB
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互換性のある機器
互換性のあるアクセサリー
関連製品
テクノロジー
PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
デジタルモーションコントローラ
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。
静電容量センサ
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。
パラレルキネマティックピエゾ位置決めシステム
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。