P-611.3O
NanoCube® XYZナノポジショナー、トラベルレンジ120 µm × 120 µm × 120 µm（オープンループ、X × Y × Z）、センサーなし、D-sub 25（m）コネクター、ケーブル長1.5 m
P-611.3 NanoCube® XYZナノポジショナー
Compact Multi-Axis Piezo Positioner for Nanopositioning and Fiber Alignment
- 最大トラベルレンジ120 µm × 120 µm × 120 µm
- 超コンパクト：44 mm × 44 mm × 44 mm
- 最大分解能：0.2 nm
- 高速応答特性
- ゼロプレイで高精度なフレクシャーガイド
- PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
- 高速スキャンに対応
- ファイバーホルダー内蔵モデルも展開
- コストを抑えたシステム
P-611.3 NanoCube® XYZナノポジショナー
製品の解説
仕様
ダウンロード
見積 / 発注
応用分野
- フォトニクス/集積光学
- マイクロマニピュレーション
- バイオテクノロジー
- 半導体試験
- ファイバー位置決め
PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
PICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。 これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。 従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Tolerance |
|---|---|---|---|---|---|
| Active axes | X ǀ Y ǀ Z | X ǀ Y ǀ Z | X ǀ Y ǀ Z | X ǀ Y ǀ Z | |
| Travel range in X | — | — | 100 µm | 100 µm | |
| Travel range in Y | — | — | 100 µm | 100 µm | |
| Travel range in Z | — | — | 100 µm | 100 µm | |
| Travel range in X, open loop, at -20 to 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Travel range in Y, open loop, at -20 to +120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Travel range in Z, open loop, at -20 to 120 V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Linearity error | — | — | 0.1 % | 0.1 % | typ. |
| Angular error E_AY (pitch) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Angular error E_AZ | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Angular error E_BX (pitch) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Angular error E_BZ | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Angular error E_CX (yaw) | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| Angular error E_CY (yaw) | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Positioning | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Tolerance |
| Unidirectional repeatability in X | — | — | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Y | — | — | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Z | — | — | ± 10 nm | ± 10 nm | typ. |
| Resolution in X, open loop | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| Resolution in Y, open loop | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| Resolution in Z, open loop | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| Integrated sensor | — | — | SGS, direct position measuring | SGS, direct position measuring | |
| System resolution in X | — | — | 1 nm | 1 nm | |
| System resolution in Y | — | — | 1 nm | 1 nm | |
| System resolution in Z | — | — | 1 nm | 1 nm | |
| Drive properties | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Electrical capacitance | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20 % |
| Mechanical properties | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Tolerance |
| Stiffness | 0.3 N/µm | 0.3 N/µm | 0.3 N/µm | 0.3 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in X, unloaded | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | 350 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 30 g | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | 270 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 100 g | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | 180 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, unloaded | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | 220 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, under load with 30 g | 185 Hz | 185 Hz | 185 Hz | 185 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Y, under load with 100 g | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | 135 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, unloaded | 250 Hz | 250 Hz | 250 Hz | 250 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 30 g | 230 Hz | 230 Hz | 230 Hz | 230 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 100 g | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | 200 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in X | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Permissible push force in Y | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Permissible push force in Z | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Permissible pull force in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Permissible pull force in Y | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Permissible pull force in Z | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 320 g | 320 g | 320 g | 320 g | ±5 % |
| Material | アルミニウム、スチール | アルミニウム、スチール | アルミニウム、スチール | アルミニウム、スチール | |
| Miscellaneous | P-611.3O | P-611.3OF | P-611.3S | P-611.3SF | Tolerance |
| Operating temperature range | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | |
| Connector | D-sub 25 (m) | D-sub 25 (m) | D-sub 25 (m) | D-sub 25 (m) | |
| Sensor connector | — | — | D-sub 25 (m) | D-sub 25 (m) | |
| Cable length | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10 mm |
| Recommended controllers/drivers | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 |
PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。
センサーおよび動作電圧用のLEMOコネクター付きアダプターケーブルをご用意しています。
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
ダウンロード
製品についての注意事項
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
日付 / バージョン
2021-04-19
pdf - 377 KB
英語
データシート
ドキュメント
ドキュメント
ユーザーマニュアル PZ253
P-611ナノポジショナー（ひずみゲージセンサー付き / センサーなし）
日付 / バージョン
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
日付 / バージョン
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
ドキュメント
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
日付 / バージョン
2018-01-24
pdf - 768 KB
英語
３D モデル
３D モデル
P-611.3x 3Dモデル
zip - 187 KB
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
P-611.3OF
NanoCube® XYZナノポジショナー、トラベルレンジ120 µm × 120 µm × 120 µm（オープンループ、X × Y × Z）、センサーなし、ファイバーホルダー内蔵、D-sub 25（m）コネクター、ケーブル長1.5 m
P-611.3S
NanoCube® XYZナノポジショナー、トラベルレンジ100 µm × 100 µm × 100 µm（X × Y × Z）、ひずみゲージセンサー、直接位置測定、D-sub 25（m）コネクター、ケーブル長1.5 m
P-611.3SF
NanoCube® XYZナノポジショナー、トラベルレンジ100 µm × 100 µm × 100 µm（X × Y × Z）、ひずみゲージセンサー、直接位置測定、ファイバーホルダー内蔵、D-sub 25（m）コネクター、ケーブル長1.5 m
