特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。
動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率
駆動軸
X、Y、Z
オープンループトラベル -20～120V
110/軸
µm
+20 % / -0 %
トラベルレンジ（クローズドループ時）
100/軸
分解能/秒（オープンループ時）
0.3
nm
標準
分解能/秒(クローズドループ時)
0.4
リニアリティエラー
0.03
%
双方向再現性/秒 10％トラベルレンジ
10
双方向再現性/秒 100％トラベルレンジ
15
センサータイプ
静電容量センサー
剛性
0.5
N/µm
±10 %
無負荷時共振周波数（X/Y/Z）
700
Hz
共振周波数@38g（X/Y/Z）
380
±20 %
共振周波数@100g（X/Y/Z）
250
プッシュ/プルフォース容量
N
最大
最大許容トルク
Nm
推奨最大荷重
300
g
セラミックタイプ
PICMA P-885.50
静電容量
1.5/軸
µF
動作温度範囲
-20～80
°C
材料
アルミニウム、鋼鉄
寸法
40 × 40 × 40
mm
負荷なし移動質量
0.021
kg
ケーブルなしの重量
0.125
質量 (ケーブル含む)
ケーブル長さ
1.5
m
±10mm
接続
D-sub25W3(m)
推奨コントローラ
E-503, E-663, E-712, E-727
Piezo Positioning Systems: P-5xx / P-6xx / P-7xx
F-603.41 / F-603.42 / F-603.43 Fiber holders for P-616-type (NanoCube®) piezo positioners
P-616 NanoCube® XYZ Nanopositioner
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
