P-616 NanoCube ナノポジショナー
ファイバーアライメント、ナノ精度位置決め向けコンパクト平行運動ピエゾシステム
- あらゆる空間方向で最高剛性を実現を可能にする並列キネマティック設計
- 100gまでの負荷でも高共振周波数によるハイダイナミックモーション
- シングルマウントプラットフォームによるフレキシブルで革新的な製品設計。
- IDチップ機能を搭載したマーケットで唯一のナノポジショナー
- 市場の100μmトラベルレンジのステージの中では最もコンパクトで最軽量
応用分野
- ファイバーポジショニング アライメント
- 顕微鏡のスキャニング
- 2光子重合
- ナノテクノロジー ナノマニュファクチャリング
- フォトニクス/内蔵型光学装置
- マイクロマニピュレーション
- サンプル位置決め
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
高度な真空アプリケーションに適しています
ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。
動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率
仕様
仕様
P-616.3C | 単位 | 公差 | |
---|---|---|---|
動作および位置決め | |||
駆動軸 | X、Y、Z | ||
オープンループトラベル -20~120V | 110/軸 | µm | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100/軸 | µm | +20 % / -0 % |
分解能/秒(オープンループ時) | 0.3 | nm | 標準 |
分解能/秒(クローズドループ時) | 0.4 | nm | 標準 |
リニアリティエラー | 0.03 | % | 標準 |
双方向再現性/秒 10%トラベルレンジ | <10 | nm | 標準 |
双方向再現性/秒 100%トラベルレンジ | <15 | nm | 標準 |
センサ | |||
センサータイプ | 静電容量センサー | ||
機械的特性 | |||
剛性 | 0.5 | N/µm | ±10 % |
無負荷時共振周波数(X/Y/Z) | 700 | Hz | ±10 % |
共振周波数@38g(X/Y/Z) | 380 | Hz | ±20 % |
共振周波数@100g(X/Y/Z) | 250 | Hz | ±20 % |
プッシュ/プルフォース容量 | 15 | N | 最大 |
最大許容トルク | 0.4 | Nm | 最大 |
推奨最大荷重 | 300 | g | 最大 |
駆動特性 | |||
セラミックタイプ | PICMA P-885.50 | ||
静電容量 | 1.5/軸 | µF | ±20 % |
その他 | |||
動作温度範囲 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム、鋼鉄 | ||
寸法 | 40 × 40 × 40 | mm | |
負荷なし移動質量 | 0.021 | kg | |
ケーブルなしの重量 | 0.125 | kg | |
質量 (ケーブル含む) | 0.4 | kg | |
ケーブル長さ | 1.5 | m | ±10mm |
接続 | D-sub25W3(m) | ||
推奨コントローラ | E-503, E-663, E-712, E-727 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
User Manual F603T0003
F-603.41 / F-603.42 / F-603.43 Fiber holders for P-616-type (NanoCube®) piezo positioners
User Manual PZ268
P-616 NanoCube® XYZ Nanopositioner
3D モデル
P-616.3C 3-D model
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テクノロジー

PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。

真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。

フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。

デジタルモーションコントローラ
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。

静電容量センサ
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。

パラレルキネマティック
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。