L-738 高精度XYステージ

開口部、高移動精度、安定性

L-738 高精度XYステージ

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トラベルレンジ102 mm × 102 mm (4")
大きな開口部(150 mm x 150 mm)
一方向再現性(0.05 µm)
最大速度 90 mm/s
2相ステッパーモーター、DC–モーター
分解能1 nmのインクリメンタルリニアエンコーダー

非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。

光学基準点スイッチとリミットスイッチ

慎重に組み立てれば、ボールベアリングの再循環は、高い耐荷重とガイド精度、長い寿命、メンテナンス不要の操作という利点があります。ステージの移動部分は、2つのガイドレール上を動き、プリロードが掛けられた4つのリニアボールベアリングユニットで支持されます。各ベアリングユニットは、複数の循環ボールベアリングを2列に独立的に並べて構成されています。

低速でも高トルク、高分解能の2相ステッパーモーター
速度安定性が高く振動の小さい高速DCモーター

Medical industry, レーザー切断, Biotechnology, Metrology, 顕微鏡検査

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データシート

Datasheet L-738

日付 / バージョン

2020-09-16

日付 / バージョン

2020-09-16

日付 / バージョン

2018-10-23

日付 / バージョン

2019-01-08

ドキュメントの言語

pdf - 2 MB

pdf - 2 MB

pdf - 799 KB

pdf - 770 KB

DCモーター内蔵ステージ

モーション	L-738.053111 / L-738.053112 / L-738.053132	単位	公差
駆動軸	X、Y
移動範囲	102 × 102	mm
角度エラーxry (ピッチング)	±40	µrad	標準
角度エラーxrz (ヨーイング)	±20	µrad	標準
角度エラーyrx (ピッチング)	±40	µrad	標準
角度エラーyrz (ヨーイング)	±20	µrad	標準
直線性/平面性	±2	µm	標準
直交性	±96.963	µrad	標準
速度	L-738.053111 / L-738.053112：50 L-738.053132：90	mm/s	最大

位置決め	L-738.053111	L-738.053112	L-738.053132	単位	公差
内蔵センサー	インクリメンタルエンコーダー	インクリメンタルエンコーダー	インクリメンタルロータリーエンコーダ
センサー信号	sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm	A/B直行、TTL	A/B直行、TTL
設計分解能	0.001	0.01	0.1	µm
センサー分解能ロータリーエンコーダー	–	–	20000	Cts./rev.
最小インクリメンタルモーション	0.1	0.1	0.4	µm	標準
一方向繰り返し性	0.1	0.1	0.4	µm	標準
双方向繰り返し性	±0.5	±0.5	±2	µm	標準
基準点スイッチ繰り返し性	<1	<1	<1	µm	標準
基準点スイッチとリミットスイッチ	光学	光学	光学

機械特性	L-738.053xxx	単位	公差
駆動ネジタイプ	ボールネジ
スピンドルピッチ	2	mm
ガイドの種類	ボールベアリング再循環ガイド
保持力、無通電	20	N	標準
圧縮/引張力F_x、F_y通電	100	N	最大
負荷容量	200	N	最大
許容トルクMx (θ_X方向)	130	N·m	最大
許容トルクMy (θ_Y方向)	130	N·m	最大
許容トルクMz (θ_Z方向)	90	N·m	最大

駆動特性	L-738.053xxx	単位	公差
モータータイプ	DCモーター
動作電圧、公称	24	V	公称
動作電圧、最大	48	V	最大

その他	L-738.053111	L-738.053112	L-738.053132	単位	公差
動作温度範囲	5～40	5～40	5～40	°C
材料	アルミニウム、黒アルマイト加工	アルミニウム、黒アルマイト加工	アルミニウム、黒アルマイト加工
質量	24	24	24	kg	±5 %
移動質量(X方向)、アンロード	14.6	14.6	14.6	kg	±5 %
移動質量(Y方向)、アンロード	5.8	5.8	5.8	kg	±5 %
コネクタ	2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) 2 × Sub-D 15 (f) (センサー)	2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー)	2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー)
推奨コントローラー/ドライバー	SMC Hydra (二重軸) C-891 (単一軸) C-891.10C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー

ステッパーモーター内蔵ステージ

モーション	L-738.051100 / L-738.051111 / L-738.051112	単位	公差
駆動軸	X、Y
移動範囲	102 × 102	mm
角度エラーxry (ピッチング)	±40	µrad	標準
角度エラーxrz (ヨーイング)	±20	µrad	標準
角度エラーyrx (ピッチング)	±40	µrad	標準
角度エラーyrz (ヨーイング)	±20	µrad	標準
直線性/平面性	±2	µm	標準
直交性	±96.963	µrad	標準
速度	35	mm/s	最大

位置決め	L-738.051100	L-738.051111	L-738.051112	単位	公差
内蔵センサー	–	インクリメンタルエンコーダー	インクリメンタルエンコーダー
センサー信号	–	sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm	A/B直行、TTL
設計分解能	10.0	0.001	0.01	µm
最小インクリメンタルモーション	0.2	0.05	0.05	µm	標準
一方向繰り返し性	0.2	0.05	0.05	µm	標準
双方向繰り返し性	±2	±0.5	±0.5	µm	標準
基準点スイッチ繰り返し性	<1	<1	<1	µm	標準
基準点スイッチとリミットスイッチ	光学	光学	光学

機械特性	L-738.051xxx	単位	公差
駆動ネジタイプ	ボールネジ
スピンドルピッチ	2	mm
ガイドの種類	ボールベアリング再循環ガイド
保持力、無通電	60	N	標準
圧縮/引張力F_X、F_Y通電	100	N	最大
負荷容量	200	N	最大
許容トルクMx (θ_X方向)	130	N·m	最大
許容トルクMy (θ_Y方向)	130	N·m	最大
許容トルクMz (θ_Z方向)	90	N·m	最大

駆動特性	L-738.051xxx	単位	公差
モータータイプ	ステッパーモーター、2相
動作電圧、公称	24	V	公称
動作電圧、最大	48	V	最大
ステップ分解能	200	Full steps/rev

その他	L-738.051100	L-738.051111	L-738.051112	単位	公差
動作温度範囲	5～40	5～40	5～40	°C
材料	アルミニウム、黒アルマイト加工	アルミニウム、黒アルマイト加工	アルミニウム、黒アルマイト加工
質量	22	22	22	kg	±5 %
移動質量(X方向)、アンロード	13.8	13.8	13.8	kg	±5 %
移動質量(Y方向)、アンロード	5.8	5.8	5.8	kg	±5 %
コネクタ	2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター)	2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) 2 × Sub-D 15 (f) (センサー)	2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー)
推奨コントローラー/ドライバー	C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー	SMC Hydra (double axis) ACS modular controller	C-663.12 (単一軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー

納入品目に、推奨コントローラーの動作に必要なすべてのケーブルが含まれています。ケーブル長は3 mです。他のコントローラーと接続するケーブルはアクセサリーとしてご注文いただけます。

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Separate connection cable required for motor and sensor connection respectively.

データシート

Datasheet L-738

日付 / バージョン

2020-09-16

日付 / バージョン

2020-09-16

日付 / バージョン

2018-10-23

日付 / バージョン

2019-01-08

ドキュメントの言語

pdf - 2 MB

pdf - 2 MB

pdf - 799 KB

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ドキュメント

Short Instructions MP146EK

Positioners with Electric Motors: DT-xx / HPS-170 / L-xxx / LS-xxx / MTS-65 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / VT-80 / WT-xx / WT-xxx

日付 / バージョン

1.5.0 October 2017

ダウンロード

pdf - 395 KB

ドキュメント

User Manual MP183

L-738 / V-738 Precision XY Stage

日付 / バージョン

1.1.3 2020-06-30

日付 / バージョン

1.1.3 2020-06-30

ドキュメントの言語

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３D モデル

3-D model L-738

日付 / バージョン

2018-07-16

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L-738.051100

Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, ステッパーモーター , including 3 m cable set

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L-738.051111

Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, ステッパーモーター, インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission), 20 µm センサー信号ピリオド , including 3 m cable set

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L-738.051112

Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, ステッパーモーター, incremental A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー, 10 nm センサー分解能 , including 3 m cable set

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L-738.053111

Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, DCモーター, インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission), 20 µm センサー信号ピリオド , including 3 m cable set

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L-738.053112

Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, DCモーター, incremental A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー, 10 nm センサー分解能 , including 3 m cable set

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L-738.053132

Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, DCモーター, ロータリーエンコーダ , including 3 m cable set

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