L-738 高精度XYステージ

開口部、高移動精度、安定性

L-738 高精度XYステージ
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • トラベルレンジ102 mm × 102 mm (4")
  • 大きな開口部(150 mm x 150 mm)
  • 一方向再現性(0.05 µm)
  • 最大速度 90 mm/s
  • 2相ステッパーモーター、DC–モーター
  • 分解能1 nmのインクリメンタルリニアエンコーダー

インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定

非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。

光学基準点スイッチとリミットスイッチ

循環ボールベアリング

慎重に組み立てれば、ボールベアリングの再循環は、高い耐荷重とガイド精度、長い寿命、メンテナンス不要の操作という利点があります。ステージの移動部分は、2つのガイドレール上を動き、プリロードが掛けられた4つのリニアボールベアリングユニットで支持されます。各ベアリングユニットは、複数の循環ボールベアリングを2列に独立的に並べて構成されています。

駆動タイプ

  • 低速でも高トルク、高分解能の2相ステッパーモーター
  • 速度安定性が高く振動の小さい高速DCモーター

応用分野

Medical industry, レーザー切断, Biotechnology, Metrology, 顕微鏡検査

仕様

データシート

Datasheet L-738

日付 / バージョン
2018-02-05
日付 / バージョン
2018-02-05
日付 / バージョン
2018-10-23
日付 / バージョン
2019-01-08
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet L-738

日付 / バージョン
2018-02-05
日付 / バージョン
2018-02-05
日付 / バージョン
2018-10-23
日付 / バージョン
2019-01-08
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

Short Instructions MP146EK

Stages with Electric Motors: DT-xx / ES-100 / HPS-170 / L-xxx / LS-xx / LS-xxx / MTS-65 / NPE-200 / PLS-85 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / UPM-160 / VT-80
日付 / バージョン
1.5.0 October 2017
ドキュメント

User Manual MP183

L-738 / V-738 Precision XY Stage
日付 / バージョン
1.0.0 2018-04-27
日付 / バージョン
1.0.0 2018-04-27
ドキュメントの言語

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

L-738.051111
Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, ステッパーモーター, インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission), 20 µm センサー信号ピリオド , including 3 m cable set
L-738.051112
Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, ステッパーモーター, incremental A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー, 10 nm センサー分解能 , including 3 m cable set
L-738.053111
Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, DCモーター, インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー(sin/cos signal transmission), 20 µm センサー信号ピリオド , including 3 m cable set
L-738.053112
Precision XYステージ, 380 mm × 380 mm 幅, 102 × 102 mm トラベルレンジ, 150 × 150 mm 開口部, DCモーター, incremental A/B直行信号伝送のリニアエンコーダー, 10 nm センサー分解能 , including 3 m cable set

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