L-738 高精度XYステージ
開口部、高移動精度、安定性
- トラベルレンジ102 mm × 102 mm (4")
- 大きな開口部(150 mm x 150 mm)
- 一方向再現性(0.05 µm)
- 最大速度 90 mm/s
- 2相ステッパーモーター、DC–モーター
- 分解能1 nmのインクリメンタルリニアエンコーダー
インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定
非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。
光学基準点スイッチとリミットスイッチ
循環ボールベアリング
慎重に組み立てれば、ボールベアリングの再循環は、高い耐荷重とガイド精度、長い寿命、メンテナンス不要の操作という利点があります。ステージの移動部分は、2つのガイドレール上を動き、プリロードが掛けられた4つのリニアボールベアリングユニットで支持されます。各ベアリングユニットは、複数の循環ボールベアリングを2列に独立的に並べて構成されています。
駆動タイプ
- 低速でも高トルク、高分解能の2相ステッパーモーター
- 速度安定性が高く振動の小さい高速DCモーター
応用分野
Medical industry, レーザー切断, Biotechnology, Metrology, 顕微鏡検査
仕様
仕様
位置決め | L-738.053111 | L-738.053112 | L-738.053132 | 単位 | 公差 |
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内蔵センサー | インクリメンタルエンコーダー | インクリメンタルエンコーダー | インクリメンタルロータリーエンコーダ | ||
センサー信号 | sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm | A/B直行、TTL | A/B直行、TTL | ||
設計分解能 | 0.001 | 0.01 | 0.1 | µm | |
センサー分解能ロータリーエンコーダー | – | – | 20000 | Cts./rev. | |
最小インクリメンタルモーション | 0.1 | 0.1 | 0.4 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | 0.1 | 0.1 | 0.4 | µm | 標準 |
双方向繰り返し性 | ±0.5 | ±0.5 | ±2 | µm | 標準 |
基準点スイッチ繰り返し性 | <1 | <1 | <1 | µm | 標準 |
基準点スイッチとリミットスイッチ | 光学 | 光学 | 光学 |
その他 | L-738.053111 | L-738.053112 | L-738.053132 | 単位 | 公差 |
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動作温度範囲 | 5~40 | 5~40 | 5~40 | °C | |
材料 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | ||
質量 | 24 | 24 | 24 | kg | ±5 % |
移動質量(X方向)、アンロード | 14.6 | 14.6 | 14.6 | kg | ±5 % |
移動質量(Y方向)、アンロード | 5.8 | 5.8 | 5.8 | kg | ±5 % |
コネクタ | 2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) 2 × Sub-D 15 (f) (センサー) | 2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー) | 2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー) | ||
推奨コントローラー/ドライバー | SMC Hydra (二重軸) C-891 (単一軸) C-891.10C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー |
その他 | L-738.051100 | L-738.051111 | L-738.051112 | 単位 | 公差 |
---|---|---|---|---|---|
動作温度範囲 | 5~40 | 5~40 | 5~40 | °C | |
材料 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | アルミニウム、黒アルマイト加工 | ||
質量 | 22 | 22 | 22 | kg | ±5 % |
移動質量(X方向)、アンロード | 13.8 | 13.8 | 13.8 | kg | ±5 % |
移動質量(Y方向)、アンロード | 5.8 | 5.8 | 5.8 | kg | ±5 % |
コネクタ | 2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) | 2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) 2 × Sub-D 15 (f) (センサー) | 2 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー) | ||
推奨コントローラー/ドライバー | C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー | SMC Hydra (double axis) ACS modular controller | C-663.12 (単一軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual MP183
L-738 / V-738 Precision XY Stage
3D モデル
3-D model L-738
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