A-123 PIglide AT3 Linear Stage with Air Bearings

駆動軸

X

X

X

X

X

X

X

移動範囲

50

100

150

200

350

500

750

mm

ピッチング/ヨーイング⁽¹⁾

5

10

15

15

20

25

35

µrad

最大

真直度/平坦度⁽¹⁾

1

1

1

1.5

2

2.5

3

µm

最大

直線性 / 平面性(トラベルレンジ⁽¹⁾25mmあたり)

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

µm

最大

速度(無負荷時)⁽²⁾

1

1

1

1

1

1

1

m/s

最大

加速度(無負荷時)⁽²⁾

30

30

30

30

30

30

30

m/s²

最大

z方向許容荷重^{(3, 7)}

410

410

410

410

410

410

410

N

最大

y方向許容荷重^{(3, 7)}

295

295

295

295

295

295

295

N

最大

許容トルクθx⁽⁷⁾

30

30

30

30

30

30

30

Nm

最大

許容トルクθy⁽⁷⁾

12

12

12

12

12

12

12

Nm

最大

移動質量

5

5

5

5

5

5

5

kg

全体質量

14

15.5

16.5

18

21.5

25

32

kg

ガイドの種類

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

駆動タイプ

コアレス3相リニアモーター

中間回路電圧、RMS

48(公称)

80(最大)

V DC

ピーク力

298

N

標準

圧力

87.5

N

標準

力定数、RMS

19.9

N/A

標準

抵抗(相間)

3.6

Ω

標準

インダクタンス(相間)

1.2

mH

標準

相間逆起電力

16

V s/m

最大

配線

外部可動ケーブル

内蔵センサー

インクリメンタルエンコーダー

アブソリュートエンコーダ

センサー信号

sin/cos、ピーク間1 V、

信号ピリオド20 µm

BiSS-C

センサー分解能

1.2 nm⁽⁴⁾

1 nm

双方向繰り返し性

A-123.050: ± 0.15 µm ⁽⁴⁾

A-123.100: ± 0.15 µm ⁽⁴⁾

A-123.150: ± 0.15 µm ⁽⁴⁾

A-123.200: ± 0.15 µm ⁽⁴⁾

A-123.350: ± 0.2 µm ⁽⁴⁾

A-123.500: ± 0.2 µm ⁽⁴⁾

A-123.750: ± 0.5 µm ⁽⁴⁾

A-123.050: ± 0.15 µm

A-123.100: ± 0.15 µm

A-123.150: ± 0.15 µm

A-123.200: ± 0.15 µm

A-123.350: ± 0.2 µm

A-123.500: ± 0.2 µm

A-123.750: ± 0.5 µm

位置決め精度(未較正時)⁽⁵⁾

A-123.050: ± 1 µm

A-123.100: ± 1 µm

A-123.150: ± 1.5 µm

A-123.200: ± 2 µm

A-123.350: ± 3 µm

A-123.500: ± 3.5 µm

A-123.750: ± 5 µm

A-123.050: ± 1.5 µm

A-123.100: ± 1.5 µm

A-123.150: ± 1.5 µm

A-123.200: ± 1.5 µm

A-123.350: ± 1.5 µm

A-123.500: ± 1.5 µm

A-123.750: ± 1.5 µm

位置決め精度(較正後)⁽⁵⁾

A-123.050: ± 0.3 µm

A-123.100: ± 0.3 µm

A-123.150: ± 0.3 µm

A-123.200: ± 0.3 µm

A-123.350: ± 0.3 µm

A-123.500: ± 0.5 µm

A-123.750: ± 0.5 µm

A-123.050: ± 0.3 µm

A-123.100: ± 0.3 µm

A-123.150: ± 0.3 µm

A-123.200: ± 0.3 µm

A-123.350: ± 0.3 µm

A-123.500: ± 0.5 µm

A-123.750: ± 0.5 µm

動作圧力⁽⁶⁾

75～85 psi (515～585 kPa)

空気消費量

< 1.0 SCFM (28 SLPM)

空気品質

清浄度(1.0 μm以上の粒子をろ過) - ISO 8573‑1等級1

オイルフリー - ISO 8573‑1等級1

乾燥(露点-15 °C) - ISO 8573‑1等級3

材質

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール(取り付け用ハードウェア)