A-123.050A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 50mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123 PIglide AT3 Linear Stage with Air Bearings
ハイパフォーマンスナノポジショニングステージ
- 適した用途：スキャン、あるいは高精度ポジショニング
- クリーンルームに対応
- モーションプラットフォームのサイズ210 mmx210 mm
- トラベルレンジ50 mm~750 ㎜
- 分解能~1nm
A-123 寸法(mm)。＊取付穴は「J」の中心線を中心に左右対称です。
A-123 PIglide AT3 Linear Stage with Air Bearings
製品の解説
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製品概要
PIglide内のステージには、プリロードされたエアベアリングを備えたサーボドライブリニアモータと内蔵リニアエンコーダが装備されています。これらの非接触部品の組み合わせは、最高の性能、品質、そして長寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームを実現します。
強力なリニアモーターでステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングで最大60 kgのペイロードをサポートできます。このモデルでは、横方向に対向する予圧されたエアベアリング設計により、任意の向きに取り付けることができます。
アクセサリーとオプション
- エンコーダー
- PIglideフィルターおよびエア供給ユニット
- 単軸および多軸のモーションコントローラー
- XYセットアップと個々の設定
- ケーブルトラックバリエーション
- 垂直（Z）方向のカウンターウェイト付きオプション
- カスタマイズも可能
- 振動緩和システム
応用分野
PIglide位置決めシステムは、計測学、フォトニクス、半導体製造やフラットパネルディスプレイ製造における精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。
動作時摩擦が発生せず粒子が形成されないため、PIGlideシリーズはクリーンルームでの使用に最適です。
仕様
仕様
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位置決め | A‑123.xxxA | A‑123.xxxB |
|---|---|---|
内蔵センサー | インクリメンタルエンコーダー | アブソリュートエンコーダ |
センサー信号 | sin/cos、ピーク間1 V、 信号ピリオド20 µm | BiSS-C |
センサー分解能 | 1.2 nm(4) | 1 nm |
双方向繰り返し性 | A-123.050: ± 0.15 µm (4) A-123.100: ± 0.15 µm (4) A-123.150: ± 0.15 µm (4) A-123.200: ± 0.15 µm (4) A-123.350: ± 0.2 µm (4) A-123.500: ± 0.2 µm (4) A-123.750: ± 0.5 µm (4) | A-123.050: ± 0.15 µm A-123.100: ± 0.15 µm A-123.150: ± 0.15 µm A-123.200: ± 0.15 µm A-123.350: ± 0.2 µm A-123.500: ± 0.2 µm A-123.750: ± 0.5 µm |
位置決め精度(未較正時)(5) | A-123.050: ± 1 µm A-123.100: ± 1 µm A-123.150: ± 1.5 µm A-123.200: ± 2 µm A-123.350: ± 3 µm A-123.500: ± 3.5 µm A-123.750: ± 5 µm | A-123.050: ± 1.5 µm A-123.100: ± 1.5 µm A-123.150: ± 1.5 µm A-123.200: ± 1.5 µm A-123.350: ± 1.5 µm A-123.500: ± 1.5 µm A-123.750: ± 1.5 µm |
位置決め精度(較正後)(5) | A-123.050: ± 0.3 µm A-123.100: ± 0.3 µm A-123.150: ± 0.3 µm A-123.200: ± 0.3 µm A-123.350: ± 0.3 µm A-123.500: ± 0.5 µm A-123.750: ± 0.5 µm | A-123.050: ± 0.3 µm A-123.100: ± 0.3 µm A-123.150: ± 0.3 µm A-123.200: ± 0.3 µm A-123.350: ± 0.3 µm A-123.500: ± 0.5 µm A-123.750: ± 0.5 µm |
(1)ステージを取り付ける面の平坦度によって異なります。
(2)ペイロード、コントローラー、ドライブにより制限されます。
(3)重心がモーションプラットフォームから50 mm以内にあると仮定。
(4) 16384x補間を仮定。他の係数を使用した場合の値についてはお問い合わせください。
(5)精度はコントローラーベースの誤差補償により改善可能です。ステージはこれらの値を実現できるPIコントローラーと合わせてご注文いただく必要があります。精度は短時間動作のものであり、ステージの熱ドリフトによる長期的な影響は考慮していません。
(6)ステージの損傷を防ぐため、コントローラーのモーション停止入力に空気圧センサーを接続することをお勧めします。
(7)エアベアリングの動作圧が80psi(550 kPa)と仮定。
ダウンロード
データシート
ドキュメント
ドキュメント
User Manual A123D0001
A-123 PIglide AT3 Series Linear Air Bearing Stage, Linear Motor Driven with Encoder Feedback
日付 / バージョン
2021-05-17
pdf - 1 MB
英語
３D モデル
３D モデル
A-123 3-D model
日付 / バージョン
2020-04-13
zip - 22 MB
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
A-123.050B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 50mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.100A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 100mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.100B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 100mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.150A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 150mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.150B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 150mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.200A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 200mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.200B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 200mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.350A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 350mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.350B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 350mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.500A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 500mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.500B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 500mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.750A1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 750mm トラベルレンジ インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 20μｍ センサー信号ピリオド コアレス3相リニアモーター 48 V
A-123.750B1
PIglide AT3 リニアステージ エアベアリング 750mm トラベルレンジ BiSS-C信号伝送を備えたアブソリュートリニアエンコーダ 1nｍ センサー分解能 コアレス3相リニアモーター 48 V
