A-123 PIglide AT3 Linear Stage with Air Bearings
ハイパフォーマンスナノポジショニングステージ
- 適した用途:スキャン、あるいは高精度ポジショニング
- クリーンルームに対応
- モーションプラットフォームのサイズ210 mmx210 mm
- トラベルレンジ50 mm~750 ㎜
- 分解能~1nm
製品概要
PIglide内のステージには、プリロードされたエアベアリングを備えたサーボドライブリニアモータと内蔵リニアエンコーダが装備されています。これらの非接触部品の組み合わせは、最高の性能、品質、そして長寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームを実現します。
強力なリニアモーターでステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングで最大60 kgのペイロードをサポートできます。このモデルでは、横方向に対向する予圧されたエアベアリング設計により、任意の向きに取り付けることができます。
アクセサリーとオプション
- エンコーダー
- PIglideフィルターおよびエア供給ユニット
- 単軸および多軸のモーションコントローラー
- XYセットアップと個々の設定
- ケーブルトラックバリエーション
- 垂直(Z)方向のカウンターウェイト付きオプション
- カスタマイズも可能
- 振動緩和システム
応用分野
PIglide位置決めシステムは、計測学、フォトニクス、半導体製造やフラットパネルディスプレイ製造における精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。
動作時摩擦が発生せず粒子が形成されないため、PIGlideシリーズはクリーンルームでの使用に最適です。
仕様
仕様
位置決め | A‑123.xxxA | A‑123.xxxB |
---|---|---|
内蔵センサー | インクリメンタルエンコーダー | アブソリュートエンコーダ |
センサー信号 | sin/cos、ピーク間1 V、 信号ピリオド20 µm | BiSS-C |
センサー分解能 | 1.2 nm(4) | 1 nm |
双方向繰り返し性 | A-123.050: ± 0.15 µm (4) A-123.100: ± 0.15 µm (4) A-123.150: ± 0.15 µm (4) A-123.200: ± 0.15 µm (4) A-123.350: ± 0.2 µm (4) A-123.500: ± 0.2 µm (4) A-123.750: ± 0.5 µm (4) | A-123.050: ± 0.15 µm A-123.100: ± 0.15 µm A-123.150: ± 0.15 µm A-123.200: ± 0.15 µm A-123.350: ± 0.2 µm A-123.500: ± 0.2 µm A-123.750: ± 0.5 µm |
位置決め精度(未較正時)(5) | A-123.050: ± 1 µm A-123.100: ± 1 µm A-123.150: ± 1.5 µm A-123.200: ± 2 µm A-123.350: ± 3 µm A-123.500: ± 3.5 µm A-123.750: ± 5 µm | A-123.050: ± 1.5 µm A-123.100: ± 1.5 µm A-123.150: ± 1.5 µm A-123.200: ± 1.5 µm A-123.350: ± 1.5 µm A-123.500: ± 1.5 µm A-123.750: ± 1.5 µm |
位置決め精度(較正後)(5) | A-123.050: ± 0.3 µm A-123.100: ± 0.3 µm A-123.150: ± 0.3 µm A-123.200: ± 0.3 µm A-123.350: ± 0.3 µm A-123.500: ± 0.5 µm A-123.750: ± 0.5 µm | A-123.050: ± 0.3 µm A-123.100: ± 0.3 µm A-123.150: ± 0.3 µm A-123.200: ± 0.3 µm A-123.350: ± 0.3 µm A-123.500: ± 0.5 µm A-123.750: ± 0.5 µm |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual A123D0001
A-123 PIglide AT3 Series Linear Air Bearing Stage, Linear Motor Driven with Encoder Feedback
3D モデル
A-123 3-D model
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。