A-311 PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)

高性能でコンパクトなXYナノポジショニングシステム

  • スキャニング用途や高精度位置決めに最適
  • クリーンルームに対応
  • トラベルレンジ300 mm × 400 mm
  • 耐荷重最大147 N
  • 薄型
  • 最大分解能 1 nm
A-311 PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注

製品概要

エアベアリング付きの高精度なPIglide IS XYプラナースキャナは、フラットな設計でスタック型XYステージの代替品となります。 効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている場合でも機械に必要なスペースを節約できます。

PIMag®磁気ダイレクトドライブ

3相の磁気ダイレクトドライブは動力伝達系内で機械部品を使用しないため、駆動力をモーションプラットフォームへと直接伝達することができ、摩擦もありません。 ドライブは高速度と高加速度に達します。 コアレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度への要求が最も厳しい位置決め作業に特に適しています。 これにより、最低速度時でもスムーズな稼働が可能になり、高速度域でも振動がありません。 制御動作時の非線形性が回避され、どの位置でも簡単にコントロールできます。 駆動力は自由に設定できます。

主要メーカーのデジタルコントローラーを使用して動作させることで高度な制御アルゴリズムが利用でき、ダイナミクスとエラー補正が改善されます。

アクセサリーとオプション

  • エンコーダー
  • PIglideフィルターとエアクリーンユニット(トラベルレンジが300 mmを超えるモデルには、真空生成バージョンが必要)
  • 多軸モーションコントローラーとダイレクトドライブ
  • マシンベース
  • グラナイト製のベースプレートとシステムが振動を緩和

用途となる分野

PIglide位置決めシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡検査、スキャニングなどの高精度アプリケーションに最適です。

仕様

データシート

Datasheet A-311

日付 / バージョン
2025-03-03
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2025-03-03
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2025-03-03
pdf - 2 MB

ダウンロード

製品についての注意事項

製品についての注意事項

Product Change Notification A-xxx.*C1

日付 / バージョン
2018-08-02
pdf - 71 KB

データシート

データシート

Datasheet A-311

日付 / バージョン
2025-03-03
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2025-03-03
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2025-03-03
pdf - 2 MB

ドキュメント

ドキュメント

User Manual A311D0002

日付 / バージョン
2.0 2021-11-11
pdf - 955 KB
ドキュメント

ユーザーマニュアル A311D0001

A-311 PIglide IS:XYプラナースキャナ(エアベアリング付き)

日付 / バージョン
1.5 2019-01-28
pdf - 1 MB
英語

3D モデル

3D モデル

A-311 3Dモデル

日付 / バージョン
2021-11-12
zip - 15 MB

ホワイトペーパー

ホワイトペーパー

Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Applicaition

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI

日付 / バージョン
WP4003 2015-09
pdf - 3 MB

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

A-311.DA1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ50 mm×50 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、インクリメンタルリニアエンコーダー、センサー信号周期20 µm 、sin/cos、ピーク間電圧1 V

A-311.DB1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ50 mm×50 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、アブソリュートリニアエンコーダー、センサー分解能1 nm、BiSS-C

A-311.AA1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ100 mm×100 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、インクリメンタルリニアエンコーダー、センサー信号周期20 µm 、sin/cos、ピーク間電圧1 V

A-311.AB1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ100 mm×100 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、アブソリュートリニアエンコーダー、センサー分解能1 nm、BiSS-C

A-311.BA1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ150 mm×150 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、インクリメンタルリニアエンコーダー、センサー信号周期20 µm 、sin/cos、ピーク間電圧1 V

A-311.BB1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ150 mm×150 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、アブソリュートリニアエンコーダー、センサー分解能1 nm、BiSS-C

A-311.CA1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ200 mm×200 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、インクリメンタルリニアエンコーダー、センサー信号周期20 µm 、sin/cos、ピーク間電圧1 V

A-311.CB1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ200 mm×200 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度2000 mm/s × 2000 mm/s、アブソリュートリニアエンコーダー、センサー分解能1 nm、BiSS-C

A-311.FB1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ300 mm×300 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度1000 mm/s × 1000 mm/s、アブソリュートリニアエンコーダー、センサー分解能1 nm、BiSS-C

A-311.GB1

PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)、コアレス3相リニアモーター、トラベルレンジ300 mm×400 mm(X × Y)、耐荷重147 N、最高速度1000 mm/s × 1000 mm/s、アブソリュートリニアエンコーダー、センサー分解能1 nm、BiSS-C

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