磁気浮上

非接触技術が切り拓く、高精度モーションの未来。

磁気浮上技術により、精度・清浄性・制御性を極めた技術を既存の製品ポートフォリオに加えています。非接触型ベアリングと、ピコメートルの分解能を備えた6自由度のアクティブ制御により、位置決め技術の新たな基準を確立しています。

高精度センサーと駆動技術、インテリジェントなファームウェア、高性能なコントローラーソリューションを組み合わせることで、非接触の磁気式ガイドを実現。最大200ピコメートルの分解能で、最高水準の位置決め精度を確保します。

6自由度のアクティブ制御により、あらゆる方向のガイド特性を設定できます。フォーカス調整やチルト調整などの補正機能を含め、動作は位置決めシステム内で自由に定義できます。

転動体を使用せず、潤滑やエアフローを必要としない摩擦ゼロのガイドにより、製品寿命を通じて最高水準の動作精度と位置決め精度を保証し、さらにクリーンルームや真空環境での使用を可能にします。

磁気浮上の特徴は、機械システム内で非接触型ベアリングを実現できることです。

Christian Rudolf博士、テクノロジーセンタードライブ＆システム担当ディレクター

磁気浮上技術は、触覚イメージングプロセスにおいて実用化され、その有効性が実証されています。当社は現在、サブナノメートル単位での半導体検査・リソグラフィー・精密製造など、磁気浮上技術の用途拡大に取り組んでいます。特に、耐荷重の向上、トラベルレンジの拡大、ダイナミクスの加速に重点を置いています。