P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ
ダイナミックで安定した位置決め
- 同時にガイドされたアクチュエータとステージ
- 移動範囲~38 μm
- 分解能0.1 nm
- 非磁性バージョンも可能
- 直接駆動による速応答
- 静電容量センサーによる高リニアリティ
応用分野
- 顕微鏡のスキャニング
- 計測技術
- 検査と品質保証
- フォトニクス
- ファイバー調整
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
ダイレクト計測による最大精度
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。
これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
高度な真空アプリケーションに適しています
ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。
動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率
PICMA直接駆動による高剛性とダイナミクス
PICMA直接駆動のピエゾナノポジショナーは、機械的な並進を伴わない。これによりピエゾ駆動範囲での最高剛性とダイナミクスと同様に、応答速度が速くなります。
仕様
仕様
P-753.1CD | P-753.2CD | P-753.3CD | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | X | X | X | ||
動作および位置決め | |||||
内蔵センサー | 静電容量 | 静電容量 | 静電容量 | ||
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 15 | 30 | 38 | µm | |
分解能(クローズドループ時) | 0.1 | 0.2 | 0.25 | nm | 標準 |
リニアリティエラー(クローズドループ時) | 0.03 | 0.03 | 0.03 | % | 標準 |
再現性 | ±1 | ±2 | ±3 | nm | 標準 |
ピッチング/ヨーイング | ±5 | ±7 | ±10 | µrad | 標準 |
機械特性 | |||||
動作方向の剛性 | 45 | 24 | 16 | N/µm | ±20 % |
共振周波数(無負荷時) | 5.6 | 3.7 | 2.9 | kHz | ±20 % |
200 g負荷時の共振周波数 | 2.5 | 1.7 | 1.4 | kHz | ±20 % |
動作方向のプッシュプルフォース容量 | 100 / 20 | 100 / 20 | 100 / 20 | N | 最大 |
駆動特性 | |||||
セラミックタイプ | PICMA P-885 | PICMA P-885 | PICMA P-885 | ||
静電容量 | 1.5 | 3.1 | 4.6 | µF | ±20 % |
その他 | |||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | ステンレススチール | ステンレススチール | ステンレススチール | ||
寸法 | 44 mm x 30mm x 15mm | 62 mmx30 mmx15 mm | 80 mmx30 mmx15 mm | ||
質量 | 0.16 | 0.215 | 0.26 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m | ±10mm |
センサー/電圧接続 | D-sub 7W2(m) | D-sub 7W2(m) | D-sub 7W2(m) | ||
推奨コントローラ | E-625、E-754 | E-625、E-754 | E-625、E-754 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
User Manual PZ254 (英語)
P-753 LISA High-Dynamics Piezo Nanopositioning Systems
3D モデル
P-753 3-D model
見積 / 発注
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D-subコネクターバージョン(m)
LEMOコネクタ搭載バージョン
リニアポジショナー 真空対応(10-9hPa)
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テクノロジー

PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。

真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。

フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。

静電容量センサ
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。