P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ

ダイナミックで安定した位置決め

[Translate to Japanese:] P-753 LISA linear actuator and stage

P-753.1、寸法(mm) M2.5スレット時最大トルク0.3 Nm

P-753.2、寸法(mm) M2.5スレット時最大トルク0.3 Nm

P-753.3、寸法(mm)。M2.5スレット時最大トルク0.3 Nm

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

PICMA直接駆動のピエゾナノポジショナーは、機械的な並進を伴わない。これによりピエゾ駆動範囲での最高剛性とダイナミクスと同様に、応答速度が速くなります。

データシート

日付 / バージョン

2018-11-16

pdf - 688 KB

日付 / バージョン

2018-11-16

pdf - 692 KB

日付 / バージョン

2019-01-14

pdf - 928 KB

日付 / バージョン

2019-04-01

pdf - 1,007 KB

	P-753.1CD	P-753.2CD	P-753.3CD	単位	公差
駆動軸	X	X	X
動作および位置決め
内蔵センサー	静電容量	静電容量	静電容量
トラベルレンジ（クローズドループ時）	15	30	38	µm
分解能（クローズドループ時）	0.1	0.2	0.25	nm	標準
リニアリティエラー(クローズドループ時）	0.03	0.03	0.03	%	標準
再現性	±1	±2	±3	nm	標準
ピッチング/ヨーイング	±5	±7	±10	µrad	標準
機械特性
動作方向の剛性	45	24	16	N/µm	±20 %
共振周波数(無負荷時)	5.6	3.7	2.9	kHz	±20 %
200 g負荷時の共振周波数	2.5	1.7	1.4	kHz	±20 %
動作方向のプッシュプルフォース容量	100 / 20	100 / 20	100 / 20	N	最大
駆動特性
セラミックタイプ	PICMA P-885	PICMA P-885	PICMA P-885
静電容量	1.5	3.1	4.6	µF	±20 %
その他
動作温度範囲	-20～80	-20～80	-20～80	°C
材料	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール
寸法	44 mm x 30mm x 15mm	62 mmx30 mmx15 mm	80 mmx30 mmx15 mm
質量	0.16	0.215	0.26	kg	±5 %
ケーブル長さ	1.5	1.5	1.5	m	±10mm
センサー/電圧接続	D-sub 7W2(m)	D-sub 7W2(m)	D-sub 7W2(m)
推奨コントローラ	E-625、E-754	E-625、E-754	E-625、E-754