P-752.11C
高精度ナノポジショニングステージ、トラベルレンジ15 µm、静電容量式直接位置測定、LEMOコネクター、ケーブル長1.5 m
P-752 高精度ナノポジショニングステージ
Highly Dynamic and Stable Piezo Scanner with Extremely Accurate Guiding
- 分解能0.1 nm
- 高速応答特性
- 最大トラベルレンジ35 µm
- 静電容量センサーによる優れた直線性
- 摩擦のないフレクシャーガイドによる非常に高い位置決め精度
- PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
振幅3 nmの矩形波制御に対するP-752.11Cの応答特性。 サブナノメートル分解能、安定性、双方向再現性がはっきりと確認できます。 コントローラー：E-501.00、E-503.00、E-509.C1。サーボ制御設定：帯域幅240 Hz。
P-752.1xx、寸法単位はmm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-752.2xx、寸法単位はmm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-752 高精度ナノポジショニングステージ
製品の解説
仕様
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見積 / 発注
応用分野
- 走査型顕微鏡
- 測定技術
- 試験・品質保証
- フォトニクス
- ファイバー位置決め
PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
PICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。 これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。 従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。
静電容量センサーによるサブナノメートル分解能
静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。 優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。
ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度
フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。 高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。 幅広い温度範囲で動作します。
自動構成とコンポーネントの高速交換
メカニクスとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、短時間で交換可能です。 すべてのサーボパラメーターおよび線形化パラメーターは、メカニクスのD-subコネクター内にあるIDチップに保存されます。 コントローラーの電源を入れるたびに、デジタルコントローラーのオートキャリブレーション機能が保存されたデータを読み込んで適用します。
直接位置測定による高精度
動作は、駆動機構やガイド機構の影響を受けることなくモーションプラットフォームで直接測定されます。 これにより、高い繰り返し精度、優れた安定性、高剛性かつ高速応答の制御を実現します。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Tolerance |
|---|---|---|---|---|---|
| Active axes | X | X | X | X | |
| Travel range in X | 15 µm | 15 µm | 30 µm | 30 µm | |
| Travel range in X, open loop, at -20 to 120 V | 20 µm | 20 µm | 35 µm | 35 µm | +20 % / -0 % |
| Linearity error in X | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
| Angular error around Y (pitch) | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | typ. |
| Angular error around Z (yaw) | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | ± 1 µrad | typ. |
| Positioning | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Tolerance |
| Unidirectional repeatability in X | ± 1 nm | ± 1 nm | ± 2 nm | ± 2 nm | typ. |
| Resolution in X, open loop | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| Integrated sensor | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | |
| System resolution in X | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | |
| Drive properties | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Electrical capacitance in X | 2.1 µF | 2.1 µF | 3.7 µF | 3.7 µF | ±20 % |
| Mechanical properties | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Tolerance |
| Stiffness in X | 30 N/µm | 30 N/µm | 20 N/µm | 20 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in X, unloaded | 3200 Hz | 3200 Hz | 2100 Hz | 2100 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 300 g | 980 Hz | 980 Hz | 600 Hz | 600 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in X | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Permissible push force in Z | 30 N | 30 N | 30 N | 30 N | max. |
| Permissible pull force in X | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 250 g | 250 g | 350 g | 350 g | ±5 % |
| Material | スチール | スチール | スチール | スチール | |
| Miscellaneous | P-752.11C | P-752.1CD | P-752.21C | P-752.2CD | Tolerance |
| Operating temperature range | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | |
| Connector | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-sub 7W2 (m) | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | D-sub 7W2 (m) | |
| Sensor connector | LEMO FFA.00.250.CTLC31 | — | LEMO FFA.00.250.CTLC31 | — | |
| Cable length | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | +50 mm / -0 mm |
| Recommended controllers/drivers | E-505、E-610、E-625、E-754 | E-505、E-610、E-625、E-754 | E-505、E-610、E-625、E-754 | E-505、E-610、E-625、E-754 |
再現性：標準値、フルトラベル。
PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
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製品についての注意事項
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
日付 / バージョン
2021-04-19
pdf - 377 KB
英語
データシート
ドキュメント
３D モデル
３D モデル
P-752 3Dモデル
日付 / バージョン
2017-10-12
zip - 213 KB
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
P-752.1CD
高精度ナノポジショニングステージ、トラベルレンジ15 µm、静電容量式直接位置測定、D-sub 7W2（m）、ケーブル長1.5 m
P-752.21C
高精度ナノポジショニングステージ、トラベルレンジ30 µm、静電容量式直接位置測定、LEMOコネクター、ケーブル長1.5 m
P-752.2CD
高精度ナノポジショニングステージ、トラベルレンジ30 µm、静電容量式直接位置測定、D-sub 7W2（m）、ケーブル長1.5 m
