PIHera Precise Linear Piezo Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration

トラベルレンジ：50～1,800 µm
最大分解能：0.1 nm
直線性誤差：0.02％
X、XY、Zのバージョン展開、XYZの組み合わせも可能

P-621.1CDの高速スキャニングモーション（規定立ち上がり時間：5 ms）。16ビットセンサー分解能とDDLオプションを備えたデジタルコントローラーを使用しています。デジタル動的線形化により、スキャン時のトラッキングエラーは20 nm未満に低減されます。標準のPIDコントローラーと比較して最大で3桁の改善が見られ、その改善効果は周波数が高いほど大きくなります。

P-62x.1CD/.1CL/.10L、寸法単位はmm。

応用分野

干渉測定
顕微鏡
ナノポジショニング
バイオテクノロジー
試験用途
半導体テクノロジー
フォトニクス
ファイバー位置決め

PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMA^®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA^®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

静電容量センサーによるサブナノメートル分解能

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。

ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度

フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。幅広い温度範囲で動作します。

直接位置測定による高精度

動作は、駆動機構やガイド機構の影響を受けることなくモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、高い繰り返し精度、優れた安定性、高剛性かつ高速応答の制御を実現します。

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データシート

日付 / バージョン

2026-06-29

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2026-06-29

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2026-06-29

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2018-06-08

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Select a travel range:

Motion	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Tolerance
Active axes	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X	X
Travel range in X	—	50 µm	50 µm	—	100 µm	100 µm	—	250 µm	250 µm	—	500 µm	500 µm	—	800 µm	800 µm	—	1500 µm	1500 µm
Travel range in X, open loop	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	950 µm	950 µm	950 µm	1800 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Linearity error in X	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.03 %	0.03 %	—	0.03 %	0.03 %	—	0.03 %	0.03 %	typ.
Angular error around Y (pitch)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
Angular error around Z (yaw)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 6 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	typ.
Positioning	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Tolerance
Bidirectional repeatability in X	—	1 nm	1 nm	—	1 nm	1 nm	—	1 nm	1 nm	—	5 nm	5 nm	—	10 nm	10 nm	—	14 nm	14 nm	typ.
Resolution in X, open loop	0.1 nm	0.1 nm	0.1 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	2 nm	2 nm	2 nm	typ.
Integrated sensor	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring
System resolution in X	—	0.2 nm	0.2 nm	—	0.4 nm	0.4 nm	—	0.7 nm	0.7 nm	—	1.4 nm	1.4 nm	—	1.8 nm	1.8 nm	—	3 nm	3 nm
Drive properties	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Maximum power consumption	3 W	3 W	3 W	9 W	9 W	9 W	9 W	9 W	9 W	10 W	10 W	10 W	18 W	18 W	18 W	49 W	49 W	49 W
Electrical capacitance in X	0.35 µF	0.35 µF	0.35 µF	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	6.2 µF	6.2 µF	6.2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Short-term maximum operating frequency, unloaded	367 Hz	367 Hz	367 Hz	267 Hz	267 Hz	267 Hz	133 Hz	133 Hz	133 Hz	72 Hz	72 Hz	72 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz	42 Hz
Mechanical properties	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Tolerance
Stiffness in X	0.42 N/µm	0.42 N/µm	0.42 N/µm	0.35 N/µm	0.35 N/µm	0.35 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.12 N/µm	0.12 N/µm	0.12 N/µm	0.13 N/µm	0.13 N/µm	0.13 N/µm	±20 %
Resonant frequency in X, unloaded	1100 Hz	1100 Hz	1100 Hz	800 Hz	800 Hz	800 Hz	400 Hz	400 Hz	400 Hz	215 Hz	215 Hz	215 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 20 g	550 Hz	550 Hz	550 Hz	520 Hz	520 Hz	520 Hz	340 Hz	340 Hz	340 Hz	180 Hz	180 Hz	180 Hz	115 Hz	115 Hz	115 Hz	120 Hz	120 Hz	120 Hz	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 120 g	260 Hz	260 Hz	260 Hz	240 Hz	240 Hz	240 Hz	185 Hz	185 Hz	185 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	90 Hz	90 Hz	90 Hz	110 Hz	110 Hz	110 Hz	±20 %
Permissible push force in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Permissible push force in Y	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	8 N	8 N	8 N	max.
Permissible push force in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Permissible pull force in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Guide	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification
Overall mass	110 g	110 g	110 g	160 g	160 g	160 g	200 g	200 g	200 g	240 g	240 g	240 g	380 g	380 g	380 g	720 g	720 g	720 g
Material	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
Miscellaneous	P-620.10L	P-620.1CD	P-620.1CL	P-621.10L	P-621.1CD	P-621.1CL	P-622.10L	P-622.1CD	P-622.1CL	P-625.10L	P-625.1CD	P-625.1CL	P-628.10L	P-628.1CD	P-628.1CL	P-629.10L	P-629.1CD	P-629.1CL	Tolerance
Operating temperature range	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	LEMO LVPZT	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT
Sensor connector	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors
Cable length	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
Recommended controllers/drivers	E-503、E-505、E-610、E-665	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-665	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-665	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-665	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-665	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-665	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

P-628.1CD / P-628.1CL：デジタルコントローラー使用時のX方向リニアリティエラー（typ.）は0.03％。アナログコントローラー使用時が0.05％。

P-629.1CD / P-629.1CL：デジタルコントローラー使用時のX方向リニアリティエラー（typ.）は0.03％。アナログコントローラー使用時が0.08％。

PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。

10^-9 hPaまで対応可能な真空バージョンは、P-62x.1Uの注文番号でご用意しています。

すべての仕様は室温（22 °C ±3 °C）に基づいています。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

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2021-04-19

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データシート

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2026-06-29

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ドキュメント

ピエゾポジショナー：P-5xx / P-6xx / P-7xx

日付 / バージョン

6.4.0 08/2025

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日付 / バージョン

6.4.0 08/2025

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ドキュメント

P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHeraピエゾステージ（静電容量センサー搭載）

日付 / バージョン

1.3.0 2021-11-03

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日付 / バージョン

1.3.0 2021-11-03

pdf - 3 MB

３D モデル

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事例集

Accurate Profile Reproduction of the Finest Structures Thanks to Piezo Technology and Confocal Technology. Author: Gernot Hamann

日付 / バージョン

pi1135E

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日付 / バージョン

pi1135D

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見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

P-620.10L

PIHera高精度リニアナノポジショナー、60 µm、センサーなし、LEMOコネクター

仕様

Datasheet P-620.1 – P-629.1

仕様

ダウンロード

製品についての注意事項

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

データシート

Datasheet P-620.1 – P-629.1

ドキュメント

簡単な指示書PZ240EK

ユーザーマニュアル PZ234

３D モデル

P-62x.1 3Dモデル

事例集

Optical 3D Surface Measuring Technology

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