P-753.11C
LISAリニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ、トラベルレンジ15 µm、静電容量式直接位置測定、LEMO LVPZT、ケーブル長1.5 m
P-753 LISA リニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ
Dynamic and Stable in Position
- ガイド付きステージとアクチュエーターを一体化
- 最大トラベルレンジ38 µm
- 分解能0.1 nm
- ダイレクトドライブによる極めて優れた応答性
- 静電容量センサーによる優れた直線性
P-753.1、寸法単位はmm。 M2.5ネジの最大トルク：0.3 Nm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-753.2、寸法単位はmm。 M2.5ネジの最大トルク：0.3 Nm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-753.3、寸法単位はmm。 M2.5ネジの最大トルク：0.3 Nm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-753 LISA リニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ
製品の解説
仕様
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見積 / 発注
応用分野
- 走査型顕微鏡
- 測定技術
- 試験・品質保証
- フォトニクス
- ファイバー位置決め
PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
PICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。 これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。 従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。
静電容量センサーによるサブナノメートル分解能
静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。 優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。
ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度
フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。 高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。 幅広い温度範囲で動作します。
直接位置測定による高精度
動作は、駆動機構やガイド機構の影響を受けることなくモーションプラットフォームで直接測定されます。 これにより、高い繰り返し精度、優れた安定性、高剛性かつ高速応答の制御を実現します。
PICMA®ダイレクトドライブによる高剛性・高ダイナミクス
PICMAによる®直接駆動方式を採用したピエゾナノポジショナーは、機械的伝達機構を伴いません。 これにより、優れた応答性に加えて、ピエゾドライブ範囲における高い剛性とダイナミクスを実現します。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | Tolerance |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Active axes | X | X | X | X | X | X | |
| Travel range in X | 15 µm | 15 µm | 30 µm | 30 µm | 38 µm | 38 µm | |
| Linearity error, closed loop | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
| Angular error around Y (pitch) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 7 µrad | ± 7 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Angular error around Z (yaw) | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 7 µrad | ± 7 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Positioning | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | Tolerance |
| Integrated sensor | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | Capacitive, direct position measuring | |
| System resolution in X | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.25 nm | 0.25 nm | |
| Drive properties | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | PICMA® | |
| Electrical capacitance in X | 1.5 µF | 1.5 µF | 3.1 µF | 3.1 µF | 4.6 µF | 4.6 µF | ±20 % |
| Mechanical properties | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | Tolerance |
| Stiffness in X | 45 N/µm | 45 N/µm | 24 N/µm | 24 N/µm | 16 N/µm | 16 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in X, unloaded | 5600 Hz | 5600 Hz | 3700 Hz | 3700 Hz | 2900 Hz | 2900 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in X, under load with 200 g | 2500 Hz | 2500 Hz | 1700 Hz | 1700 Hz | 1400 Hz | 1400 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in X | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | max. |
| Permissible push force in Z | 80 N | 80 N | 90 N | 90 N | 100 N | 100 N | max. |
| Permissible pull force in X | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | 20 N | max. |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 160 g | 160 g | 215 g | 215 g | 260 g | 260 g | ±5 % |
| Material | スチール | スチール | スチール | スチール | スチール | スチール | |
| Miscellaneous | P-753.11C | P-753.1CD | P-753.21C | P-753.2CD | P-753.31C | P-753.3CD | Tolerance |
| Operating temperature range | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | -20～80 °C | |
| Connector | LEMO LVPZT | D-sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | D-sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | D-sub 7W2 (m) | |
| Sensor connector | LEMO for capacitive sensors | — | LEMO for capacitive sensors | — | LEMO for capacitive sensors | — | |
| Cable length | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | +50 mm / -0 mm |
| Recommended controllers/drivers | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 |
PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
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製品についての注意事項
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
日付 / バージョン
2021-04-19
pdf - 377 KB
英語
データシート
ドキュメント
３D モデル
３D モデル
P-753 3Dモデル
zip - 415 KB
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
P-753.1CD
LISAリニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ、トラベルレンジ15 µm、静電容量式直接位置測定、D-sub 7W2（m）、ケーブル長1.5 m
P-753.21C
LISAリニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ、トラベルレンジ30 µm、静電容量式直接位置測定、LEMO LVPZT、ケーブル長1.5 m
P-753.2CD
LISAリニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ、トラベルレンジ30 µm、静電容量式直接位置測定、D-sub 7W2（m）、ケーブル長1.5 m
P-753.31C
LISAリニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ、トラベルレンジ38 µm、静電容量式直接位置測定、LEMO LVPZT、ケーブル長1.5 m
P-753.3CD
LISAリニアアクチュエーターおよびポジショニングステージ、トラベルレンジ38 µm、静電容量式直接位置測定、D-sub 7W2（m）、ケーブル長1.5 m
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テクノロジー
PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
静電容量センサ
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。