P-518 • P-528 • P-558 ピエゾフレクシャZ/チップ/チルトステージ

大型開口部つきハイダイナミクス

Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ/3軸/Zステージ1軸バージョンあり
クローズドループの垂直/チルトレンジ～200μm/2mradを実現（オープンループは～240μm/2.4mrad)
パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
開口部 66 mm × 66 mm
静電容量センサーによる高リニアリティ

P-518 • P-528 • P-558 Z stage, dimensions in mm

P-518 • P-528 • P-558 Z and tip/tilt stage, dimensions in mm

計測
干渉計
フォトニクス/内蔵型光学装置
リソグラフィ
ナノポジショニング
顕微鏡のスキャニング
サンプルアライメント
マイクロ機械加工

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで（帯域幅に応じて）積極的に補正することができます（アクティブガイド）。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。

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データシート

日付 / バージョン

2018-05-08

pdf - 669 KB

日付 / バージョン

2018-05-08

pdf - 677 KB

日付 / バージョン

2018-07-16

pdf - 753 KB

日付 / バージョン

2018-07-10

pdf - 847 KB

ダウンロード

	P-558.ZCDP-558.ZCL	P-558.TCD	P-518.ZCDP-518.ZCL	P-518.TCD	P-528.ZCDP-528.ZCL	P-528.TCD	単位	公差
駆動軸	Z	Z,θ_X,θ_Y	Z	Z,θ_X,θ_Y	Z	Z,θ_X,θ_Y
動作および位置決め
内蔵センサー	静電容量	静電容量	静電容量	静電容量	静電容量	静電容量
トラベルレンジ（Z -20～120V オープンループ時）	60	60	140	140	240	240	µm	+20 % / -0 %
オープンループストロークチップ/チルト角 θ_X,θ_Y-20～＋120V	–	±0.3	–	±0.7	–	±1.2	mrad	+20 % / -0 %
トラベルレンジ (Z クローズドループ時）	50	50	100	100	200	200	µm
クローズドループストロークチップ/チルト角 θ_X,θ_Y	–	±0.25	–	±0.5	–	±1	mrad
Z軸分解能（オープンループ時）	0.2	0.2	0.2	0.4	0.6	0.6	nm	標準
オープンループ分解能θ_X,θ_Y	–	0.02	–	0.04	–	0.06	µrad	標準
クローズドループ分解能（Z）	0.5	0.5	0.8	0.8	1	1	nm	標準
クローズドループ分解能θ_X,θ_Y	–	0.05	–	0.05	–	0.1	µrad	標準
リニアリティエラー( θ_X,θ_Y)	–	0.03	–	0.03	–	0.03	%	標準
再現性（Z）	±5	±5	±5	±5	±10	±10	nm	標準
再現性（θ_X、θ_Y）	–	±0.03	–	±0.05	–	±0.1	µrad	標準
クロストークθ_Z(Z方向へ動作時)	10	10	10	10	20	20	µrad	標準
クロストークθ_X,θ_Y(Z方向へ動作時)	50	50	50	50	100	100	µrad	標準
機械特性
剛性 Z	4	4	2.7	2.7	1.5	1.5	N/µm	±20 %
無負荷時の共振周波数(Z)	570	570	500	500	350	350	Hz	±20 %
無負荷時共振周波数（θ_X/θ_Y）	–	610	–	530	–	390	Hz	±20 %
共振周波数@500g(Z)	410	410	350	350	210	210	Hz	±20 %
共振周波数@500g(θ_X,θ_Y)	–	430	–	370	–	250	Hz	±20 %
共振周波数@2500g(Z)	245	245	200	200	130	130	Hz	±20 %
共振周波数@2500g(θ_X,θ_Y)	–	240	–	190	–	115	Hz	±20 %
負荷容量	5	5	5	5	5	5	kg	最大
駆動特性
ピエゾセラミック	PICMAPICMA P-885	PICMAPICMA P-885	PICMAPICMA P-885	PICMAPICMA P-885	PICMAPICMA P-885	PICMAPICMA P-885
静電容量	6	6	8.4	8.4	14.8	14.8	µF	±20 %
その他
動作温度範囲	-20～80	-20～80	-20～80	-20～80	-20～80	-20～80	°C
材料	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
寸法	150 mmx150 mmx30 mm	150 mmx150 mmx30 mm	150 mmx150 mmx30 mm	150 mmx150 mmx30 mm	150 mmx150 mmx30 mm	150 mmx150 mmx30 mm
質量	1380	1380	1400	1400	1420	1420	g	±5 %
ケーブル長さ	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	m	±10mm
センサー/ボルト接続	CLバージョン: LEMO CDバージョン：D-sub 7W2(m)	D-sub25W3(m)	CLバージョン: LEMO CDバージョン：D-sub 7W2(m)	D-sub25W3(m)	CLバージョン: LEMO CDバージョン：D-sub 7W2(m)	D-sub25W3(m)
推奨コントローラ	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754