P-518 • P-528 • P-558 ピエゾフレクシャZ/チップ/チルトステージ
大型開口部つき ハイダイナミクス
- Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ/3軸/Zステージ1軸バージョンあり
- クローズドループの垂直/チルトレンジ~200μm/2mradを実現(オープンループは~240μm/2.4mrad)
- パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
- ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
- PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
- 開口部 66 mm × 66 mm
- 静電容量センサーによる高リニアリティ
応用分野
- 計測
- 干渉計
- フォトニクス/内蔵型光学装置
- リソグラフィ
- ナノポジショニング
- 顕微鏡のスキャニング
- サンプルアライメント
- マイクロ機械加工
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度
すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで(帯域幅に応じて)積極的に補正することができます(アクティブガイド)。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。
仕様
仕様
P-558.ZCDP-558.ZCL | P-558.TCD | P-518.ZCDP-518.ZCL | P-518.TCD | P-528.ZCDP-528.ZCL | P-528.TCD | 単位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
駆動軸 | Z | Z,θX,θY | Z | Z,θX,θY | Z | Z,θX,θY | ||
動作および位置決め | ||||||||
内蔵センサー | 静電容量 | 静電容量 | 静電容量 | 静電容量 | 静電容量 | 静電容量 | ||
トラベルレンジ(Z -20~120V オープンループ時) | 60 | 60 | 140 | 140 | 240 | 240 | µm | +20 % / -0 % |
オープンループストローク チップ/チルト角 θX,θY-20~+120V | – | ±0.3 | – | ±0.7 | – | ±1.2 | mrad | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ (Z クローズドループ時) | 50 | 50 | 100 | 100 | 200 | 200 | µm | |
クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θY | – | ±0.25 | – | ±0.5 | – | ±1 | mrad | |
Z軸分解能(オープンループ時) | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.6 | nm | 標準 |
オープンループ分解能θX,θY | – | 0.02 | – | 0.04 | – | 0.06 | µrad | 標準 |
クローズドループ分解能(Z) | 0.5 | 0.5 | 0.8 | 0.8 | 1 | 1 | nm | 標準 |
クローズドループ分解能θX,θY | – | 0.05 | – | 0.05 | – | 0.1 | µrad | 標準 |
リニアリティエラー( θX,θY) | – | 0.03 | – | 0.03 | – | 0.03 | % | 標準 |
再現性 (Z) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±10 | ±10 | nm | 標準 |
再現性 (θX、θY) | – | ±0.03 | – | ±0.05 | – | ±0.1 | µrad | 標準 |
クロストークθZ(Z方向へ動作時) | <10 | <10 | <10 | <10 | <20 | <20 | µrad | 標準 |
クロストークθX,θY(Z方向へ動作時) | <50 | <50 | <50 | <50 | <100 | <100 | µrad | 標準 |
機械特性 | ||||||||
剛性 Z | 4 | 4 | 2.7 | 2.7 | 1.5 | 1.5 | N/µm | ±20 % |
無負荷時の共振周波数(Z) | 570 | 570 | 500 | 500 | 350 | 350 | Hz | ±20 % |
無負荷時共振周波数(θX/θY) | – | 610 | – | 530 | – | 390 | Hz | ±20 % |
共振周波数@500g(Z) | 410 | 410 | 350 | 350 | 210 | 210 | Hz | ±20 % |
共振周波数@500g(θX,θY) | – | 430 | – | 370 | – | 250 | Hz | ±20 % |
共振周波数@2500g(Z) | 245 | 245 | 200 | 200 | 130 | 130 | Hz | ±20 % |
共振周波数@2500g(θX,θY) | – | 240 | – | 190 | – | 115 | Hz | ±20 % |
負荷容量 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | kg | 最大 |
駆動特性 | ||||||||
ピエゾセラミック | PICMAPICMA P-885 | PICMAPICMA P-885 | PICMAPICMA P-885 | PICMAPICMA P-885 | PICMAPICMA P-885 | PICMAPICMA P-885 | ||
静電容量 | 6 | 6 | 8.4 | 8.4 | 14.8 | 14.8 | µF | ±20 % |
その他 | ||||||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | ||
寸法 | 150 mmx150 mmx30 mm | 150 mmx150 mmx30 mm | 150 mmx150 mmx30 mm | 150 mmx150 mmx30 mm | 150 mmx150 mmx30 mm | 150 mmx150 mmx30 mm | ||
質量 | 1380 | 1380 | 1400 | 1400 | 1420 | 1420 | g | ±5 % |
ケーブル長さ | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m | ±10mm |
センサー/ボルト接続 | CLバージョン: LEMO CDバージョン:D-sub 7W2(m) | D-sub25W3(m) | CLバージョン: LEMO CDバージョン:D-sub 7W2(m) | D-sub25W3(m) | CLバージョン: LEMO CDバージョン:D-sub 7W2(m) | D-sub25W3(m) | ||
推奨コントローラ | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 | E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727, E-754 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
Technical Note P500T0002
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
User Manual PZ82 (英語)
P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Piezo Nanopositioning Systems with Capacitive Sensors
3D モデル
P-5x8 3-D model
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
お問い合わせ
担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。
テクノロジー

PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。

フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。

デジタルモーションコントローラ
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。

静電容量センサ
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。

パラレルキネマティック
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。