P-518 • P-528 ピエゾZ/チップ/チルトステージ

High Dynamics with Large Aperture

3軸のZおよびチップ/チルトステージ、1軸のZステージ
Z軸トラベルレンジ / チップ/チルト角：最大200 µm / 2 mrad、クローズドループ（オープンループ時：最大240 µm / 2.4 mrad）
パラレルキネマティックにより、応答時間の短縮と多軸精度の向上を実現
ゼロプレイで高精度なフレクシャーガイドシステム
PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
開口部66 mm × 66 mm
静電容量センサーによる優れた直線性

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P-518、P-528 Zおよびチップ/チルトステージ、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

P-518、P-528 Zステージ、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

応用分野

計測
干渉測定
フォトニクス/集積光学
リソグラフィ
ナノポジショニング
走査型顕微鏡
サンプルアライメント
微細加工

PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMA^®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA^®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

静電容量センサーによるサブナノメートル分解能

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。

ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度

フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。幅広い温度範囲で動作します。

自動構成とコンポーネントの高速交換

メカニクスとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、短時間で交換可能です。すべてのサーボパラメーターおよび線形化パラメーターは、メカニクスのD-subコネクター内にあるIDチップに保存されます。デジタルコントローラーの自動キャリブレーション機能は、コントローラーの電源投入時に毎回このデータを使用します。

パラレル位置測定による、ナノメートルレンジの高い追従精度

すべての自由度を単一の固定基準に対して測定。軸間で発生する不要なクロストークは、帯域幅に応じてリアルタイムで能動的に補正可能です（アクティブガイディング）。動的動作時でも、ナノメートルレンジで高い軌道追従性を実現します。

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データシート

日付 / バージョン

2026-03-16

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ダウンロード

Motion	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	Tolerance
Active axes	Z ǀ θX ǀ θY	Z	Z	Z ǀ θX ǀ θY	Z	Z
Travel range in Z	100 µm	100 µm	100 µm	200 µm	200 µm	200 µm
Travel range in Z, open loop	140 µm	140 µm	140 µm	240 µm	240 µm	240 µm	±20 %
Rotation range in θX	1 mrad	—	—	2 mrad	—	—
Rotation range in θY	1 mrad	—	—	2 mrad	—	—
Rotation range in θX, open loop	1.4 mrad	—	—	2.4 mrad	—	—	±20 %
Rotation range in θY, open loop	1.4 mrad	—	—	2.4 mrad	—	—	±20 %
Linearity error in Z	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Linearity error in θX	0.15 %	—	—	0.15 %	—	—	typ.
Linearity error in θY	0.15 %	—	—	0.15 %	—	—	typ.
Angular error E_AZ	± 25 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	max.
Angular error E_BZ	± 25 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	± 50 µrad	max.
Angular error E_CZ	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	max.
Positioning	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	Tolerance
Bidirectional repeatability in Z	5 nm	5 nm	5 nm	10 nm	10 nm	10 nm	typ.
Bidirectional repeatability in θX	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—	typ.
Bidirectional repeatability in θY	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—	typ.
Resolution in Z, open loop	0.4 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.6 nm	0.6 nm	0.6 nm	typ.
Resolution in θX, open loop	0.04 µrad	—	—	0.06 µrad	—	—	typ.
Resolution in θY, open loop	0.04 µrad	—	—	0.06 µrad	—	—	typ.
Integrated sensor	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, indirect position measuring	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring
System resolution in Z	0.8 nm	0.8 nm	0.8 nm	1 nm	1 nm	1 nm
System resolution in θX	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—
System resolution in θY	0.05 µrad	—	—	0.1 µrad	—	—
Drive properties	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Electrical capacitance in Z	2.1 µF	8.4 µF	8.4 µF	3.7 µF	14.8 µF	14.8 µF	±20 %
Mechanical properties	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	Tolerance
Stiffness in Z	2.7 N/µm	2.7 N/µm	2.7 N/µm	1.5 N/µm	1.5 N/µm	1.5 N/µm	±20 %
Resonant frequency in Z, unloaded	500 Hz	500 Hz	500 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
Resonant frequency in Z, under load with 500 g	350 Hz	350 Hz	350 Hz	210 Hz	210 Hz	210 Hz	±20 %
Resonant frequency in Z, under load with 2500 g	200 Hz	200 Hz	200 Hz	130 Hz	130 Hz	130 Hz	±20 %
Resonant frequency in θX, unloaded	530 Hz	—	—	390 Hz	—	—	±20 %
Resonant frequency in θX, under load with 500 g	370 Hz	—	—	250 Hz	—	—	±20 %
Resonant frequency in θX, under load with 2500 g	190 Hz	—	—	115 Hz	—	—	±20 %
Resonant frequency in θY, unloaded	530 Hz	—	—	390 Hz	—	—	±20 %
Resonant frequency in θY, under load with 500 g	370 Hz	—	—	250 Hz	—	—	±20 %
Resonant frequency in θY, under load with 2500 g	190 Hz	—	—	115 Hz	—	—	±20 %
Permissible push force in Z	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	max.
Permissible pull force in Z	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N	max.
Guide	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification
Overall mass	1400 g	1400 g	1400 g	1420 g	1420 g	1420 g
Material	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
Miscellaneous	P-518.TCD	P-518.ZCD	P-518.ZCL	P-528.TCD	P-528.ZCD	P-528.ZCL	Tolerance
Operating temperature range	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	D-sub 25W3 (m)	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	D-sub 25W3 (m)	D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT
Cable length	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
Recommended controllers/drivers	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-713、E-727、E-754

Z方向許容圧縮力：水平取付時（吊り下げ設置ではなく、設置面に載せた状態）。

静電容量：チャネルごとに指定（ユーザーマニュアルのピン配列を参照してください）。

PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

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2021-04-19

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