特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
P-611.3S
P-611.3SF
P-611.3O
P611.3OF
単位
公差
駆動軸
X、Y、Z
動作および位置決め
内蔵センサー
SGS
トラベルレンジ(-20~+120V)オープンループ時
120/軸
µm
+20 % / -0 %
トラベルレンジ（クローズドループ時）
100/軸
–
分解能（オープンループ時）
0.2
nm
標準
分解能（クローズドループ時）
1
リニアリティエラー
0.1
%
再現性
<10
ピッチング（X、Y）
±5
µrad
振れθX (Z方向のモーション)
±10
ヨーイング（X）
±20
ヨーイング（Y）
振れθY (Z方向のモーション)
機械特性
剛性
0.3
N/µm
±20 %
無負荷時共振周波数（X/Y/Z）
350 / 220 / 250
Hz
共振周波数@30g（X/Y/Z）
270 / 185 / 230
共振周波数@100g（X/Y/Z）
180 / 135 / 200
動作方向でのプッシュ/プルフォース
15 / 10
N
最大
負荷容量
15
駆動特性
セラミックタイプ
PICMA P-885
静電容量
1.5
µF
その他
動作温度範囲
-20～80
°C
材料
アルミニウム、鋼鉄
寸法
Sバージョン
48mm × 44mm × 43.2mm
SFバージョン
44mm × 50mm × 44.2mm
Oバージョン
44mm × 44mm × 43.2mm
OFバージョン
質量
0.32
kg
±5 %
ケーブル長さ
m
±10mm
電圧接続部
D-Sub25(m)
センサー接続
推奨コントローラ
E-503, E-505, E-663, E-664, E-727
P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
Piezo Positioning Systems: P-5xx / P-6xx / P-7xx
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
