P-611.3 NanoCubeXYZピエゾシステム
ナノポジショニング ファイバーアライメントに適したコンパクトで多軸ピエゾシステム
- 移動範囲 ~120μm x 120μm x 120μm
- Ultracompact: 44mm x 44mm x 44mm
- 分解能 ~0.2nm
- 高速応答
- ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
- PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
- 高速スキャニング用
- ファイバーホルダー内蔵バージョン
- コストパフォーマンスのよいシステム
応用分野
- フォトニクス/内蔵型光学装置
- マイクロマニピュレーション
- バイオテクノロジー
- 半導体検査
- ファイバー調整
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
仕様
仕様
P-611.3S P-611.3SF | P-611.3O P611.3OF | 単位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|
駆動軸 | X、Y、Z | X、Y、Z | ||
動作および位置決め | ||||
内蔵センサー | SGS | |||
トラベルレンジ(-20~+120V)オープンループ時 | 120/軸 | 120/軸 | µm | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100/軸 | – | µm | |
分解能(オープンループ時) | 0.2 | 0.2 | nm | 標準 |
分解能(クローズドループ時) | 1 | – | nm | 標準 |
リニアリティエラー | 0.1 | – | % | 標準 |
再現性 | <10 | – | nm | 標準 |
ピッチング(X、Y) | ±5 | ±5 | µrad | 標準 |
振れθX (Z方向のモーション) | ±10 | ±10 | µrad | 標準 |
ヨーイング(X) | ±20 | ±20 | µrad | 標準 |
ヨーイング(Y) | ±10 | ±10 | µrad | 標準 |
振れθY (Z方向のモーション) | ±10 | ±10 | µrad | 標準 |
機械特性 | ||||
剛性 | 0.3 | 0.3 | N/µm | ±20 % |
無負荷時共振周波数(X/Y/Z) | 350 / 220 / 250 | 350 / 220 / 250 | Hz | ±20 % |
共振周波数@30g(X/Y/Z) | 270 / 185 / 230 | 270 / 185 / 230 | Hz | ±20 % |
共振周波数@100g(X/Y/Z) | 180 / 135 / 200 | 180 / 135 / 200 | Hz | ±20 % |
動作方向でのプッシュ/プルフォース | 15 / 10 | 15 / 10 | N | 最大 |
負荷容量 | 15 | 15 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||
セラミックタイプ | PICMA P-885 | PICMA P-885 | ||
静電容量 | 1.5 | 1.5 | µF | ±20 % |
その他 | ||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | ||
寸法 | Sバージョン 48mm × 44mm × 43.2mm SFバージョン 44mm × 50mm × 44.2mm | Oバージョン 44mm × 44mm × 43.2mm OFバージョン 44mm × 50mm × 44.2mm | ||
質量 | 0.32 | 0.32 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 1.5 | 1.5 | m | ±10mm |
電圧接続部 | D-Sub25(m) | D-Sub25(m) | ||
センサー接続 | D-Sub25(m) | – | ||
推奨コントローラ | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 | E-503, E-505, E-663, E-664, E-727 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
User Manual PZ253 (英語)
P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
3D モデル
P-611.3x 3-D model
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。