P-611.Z0
ピエゾZステージ、トラベルレンジ120 µm（オープンループ）、LEMOコネクター、ケーブル長1.5 m
P-611.Z ピエゾZステージ
Compact Nanopositioner
- コンパクト：設置面積わずか44 mm × 44 mm
- トラベルレンジ：100 µm
- 最大分解能：0.2 nm
- 低コストなシステム（メカニクスとコントローラー）
- ゼロプレイで高精度なフレクシャーガイドシステム
- PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
- X、XY、XZ、XYZのバージョン展開
P-611.ZSは、負荷30 gで10 µmのステップに必要な整定時間は26 msです。
P-611.ZS、寸法単位はmm。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
P-611.Z ピエゾZステージ
製品の解説
仕様
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応用分野
- 微細加工
- フォトニクス
- ファイバー位置決め
- 試験・品質保証
PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
PICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。 これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。 従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。
仕様
仕様
| Motion | P-611.Z0 | P-611.ZS | Tolerance |
|---|---|---|---|
| Active axes | Z | Z | |
| Travel range in Z | — | 100 µm | |
| Travel range in Z, open loop | 120 µm | 120 µm | ±20 % |
| Linearity error in Z | — | 0.1 % | typ. |
| Angular error around X | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| Angular error around Y | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Angular error around Z | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| Bandwidth, 10 % step in Z | 40 Hz | 40 Hz | |
| Positioning | P-611.Z0 | P-611.ZS | Tolerance |
| Bidirectional repeatability in Z | — | 5 nm | typ. |
| Resolution in Z, open loop | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| Integrated sensor | — | SGS, indirect position measuring | |
| System resolution in Z | — | 2 nm | |
| Settling time for 10 % step in Z | 25 ms | 25 ms | |
| Drive properties | P-611.Z0 | P-611.ZS | Tolerance |
| Drive type | PICMA® | PICMA® | |
| Electrical capacitance in Z | 1.5 µF | 1.5 µF | ±20 % |
| Mechanical properties | P-611.Z0 | P-611.ZS | Tolerance |
| Stiffness in Z | 0.45 N/µm | 0.45 N/µm | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, unloaded | 460 Hz | 460 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 30 g | 375 Hz | 375 Hz | ±20 % |
| Resonant frequency in Z, under load with 100 g | 265 Hz | 265 Hz | ±20 % |
| Permissible push force in Z | 15 N | 15 N | max. |
| Permissible pull force in Z | 10 N | 10 N | max. |
| Guide | Flexure guide with lever amplification | Flexure guide with lever amplification | |
| Overall mass | 176 g | 176 g | |
| Material | アルミニウム、スチール | アルミニウム、スチール | |
| Miscellaneous | P-611.Z0 | P-611.ZS | Tolerance |
| Operating temperature range | -20～80 °C | -20～80 °C | |
| Connector | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| Sensor connector | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| Cable length | 1.5 m | 1.5 m | |
| Recommended controllers/drivers | E-610、E-625、E-665、E-836 | E-610、E-625、E-665、E-709.SRG、E-836 |
PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。
システム特性
システム構成：P-611.ZSとE-665.SRコントローラー、負荷30 g
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
ダウンロード
データシート
ドキュメント
ドキュメント
ユーザーマニュアル PZ253
P-611ナノポジショナー（ひずみゲージセンサー付き / センサーなし）
日付 / バージョン
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
日付 / バージョン
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
ドキュメント
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
日付 / バージョン
2018-01-24
pdf - 768 KB
英語
３D モデル
３D モデル
P-611.Z 3Dモデル
zip - 200 KB
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
P-611.ZS
ピエゾZステージ、トラベルレンジ100 µm、ひずみゲージセンサー、間接位置測定、LEMOコネクター、ケーブル長1.5 m
