P-541.2 • P-542.2 XYピエゾステージ

薄型 大型開口部付XYナノポジショニングシステム

P-541.2 • P-542.2 XYピエゾステージ
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 薄型で組み込みが簡単 16.5mm
  • 開口部80 mmx80 mm
  • 移動範囲200 μmx200 μm
  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • ハイダイナミクスを誇るダイレクトドライブバージョン
  • センサー選択が可能:歪みゲージ(低価格)または静電容量センサー(高性能)
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • ロングストロークの顕微鏡ステージとの組み合わせ可能

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 高速スループット顕微鏡
  • 高分解能顕微鏡
  • マスク/ウエハー位置決め
  • 干渉計
  • 計測技術
  • バイオテクノロジー
  • マイクロマニピュレーション

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

平行運動による高ダイナミック多軸動作

平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。

仕様

データシート

Datasheet P-541.2 • P-542.2

日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-07-11
日付 / バージョン
2018-06-19
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet P-541.2 • P-542.2

日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-04-16
日付 / バージョン
2018-07-11
日付 / バージョン
2018-06-19
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

Short Instructions PZ240EK

P-5xx / P-6xx / P-7xx Piezo Positioning Systems
日付 / バージョン
5.0.0 09/2018
ドキュメントの言語 英語
ドキュメント

User Manual PZ244 (英語)

P-541, P-542 XY Nanopositioning System with Large Clear Aperture
日付 / バージョン
2013-03-21
日付 / バージョン
2013-03-21
ドキュメントの言語
ドキュメント

Overview Microscopy Accessories (英語)

PI Microscopy Sample Holders and Adapter Plates for Microscope Stages
日付 / バージョン
2018-05-16
日付 / バージョン
2018-05-16
ドキュメントの言語

3D モデル

3D モデル

P-541.2 3-D model

3D モデル

P-542.2 3-D model

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

アクセサリ

お問い合わせ

担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。