P-620.2 - P-629.2 PIHera XYピエゾステージ

豊富なトラベルレンジを選択可能な高精度XYナノポジショナー

トラベルレンジ：50～1,800 µm
最大分解能：0.1 nm
位置決め精度：0.02％
静電容量センサーによる直接位置測定
X、XY、Z、XYZのバージョン展開

見積 / 発注

P-62x.2CD/.2CL/.20L、寸法単位はmm。

応用分野

干渉測定
顕微鏡
ナノポジショニング
バイオテクノロジー
試験・品質保証
フォトニクス
ファイバー位置決め
半導体テクノロジー

PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMA^®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA^®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

静電容量センサーによるサブナノメートル分解能

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートル分解能の測定を行います。優れた動作直線性、長期安定性、kHz領域の帯域幅を保証します。

ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度

フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。幅広い温度範囲で動作します。

直接位置測定による高精度

動作は、駆動機構やガイド機構の影響を受けることなくモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、高い繰り返し精度、優れた安定性、高剛性かつ高速応答の制御を実現します。

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2026-07-06

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2026-07-06

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2026-07-06

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2018-07-03

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Select a travel range:

Motion	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Tolerance
Active axes	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y
Travel range in X	—	50 µm	50 µm	—	100 µm	100 µm	—	250 µm	250 µm	—	500 µm	500 µm	—	800 µm	800 µm	1500 µm	1500 µm
Travel range in Y	—	50 µm	50 µm	—	100 µm	100 µm	—	250 µm	250 µm	—	500 µm	500 µm	—	800 µm	800 µm	1500 µm	1500 µm
Travel range in X, open loop	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	1000 µm	1000 µm	1000 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Travel range in Y, open loop	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	1000 µm	1000 µm	1000 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Angular error E_AY (pitch)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
Angular error E_BX (pitch)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
Angular error E_CX (yaw)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Angular error E_CY (yaw)	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
Linearity error in X	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.03 %	0.03 %	—	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Linearity error in Y	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.03 %	0.03 %	—	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Positioning	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Tolerance
Resolution in X, open loop	0.1 nm	0.1 nm	0.1 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	2 nm	2 nm	typ.
Resolution in Y, open loop	0.1 nm	0.1 nm	0.1 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	2 nm	2 nm	typ.
Integrated sensor	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	—	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring	Capacitive, direct position measuring
System resolution in X	—	0.2 nm	0.2 nm	—	0.4 nm	0.4 nm	—	0.7 nm	0.7 nm	—	1.4 nm	1.4 nm	—	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm
System resolution in Y	—	0.2 nm	0.2 nm	—	0.4 nm	0.4 nm	—	0.7 nm	0.7 nm	—	1.4 nm	1.4 nm	—	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm
Bidirectional repeatability in X	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	5 nm	5 nm	—	10 nm	10 nm	14 nm	14 nm	typ.
Bidirectional repeatability in Y	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	5 nm	5 nm	—	10 nm	10 nm	14 nm	14 nm	typ.
Drive properties	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Maximum power consumption	2 W	2 W	2 W	6 W	6 W	6 W	7 W	7 W	7 W	9 W	9 W	9 W	15 W	15 W	15 W	38 W	38 W
Electrical capacitance in X	0.35 µF	0.35 µF	0.35 µF	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	6.2 µF	6.2 µF	6.2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Electrical capacitance in Y	0.35 µF	0.35 µF	0.35 µF	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	6.2 µF	6.2 µF	6.2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Short-term maximum operating frequency	267 Hz	267 Hz	267 Hz	178 Hz	178 Hz	178 Hz	100 Hz	100 Hz	100 Hz	65 Hz	65 Hz	65 Hz	35 Hz	35 Hz	35 Hz	33 Hz	33 Hz
Mechanical properties	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Tolerance
Stiffness in X	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	±20 %
Stiffness in Y	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	±20 %
Resonant frequency in X, unloaded	575 Hz	575 Hz	575 Hz	420 Hz	420 Hz	420 Hz	225 Hz	225 Hz	225 Hz	135 Hz	135 Hz	135 Hz	75 Hz	75 Hz	75 Hz	60 Hz	60 Hz	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 50 g	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	180 Hz	180 Hz	180 Hz	120 Hz	120 Hz	120 Hz	60 Hz	60 Hz	60 Hz	55 Hz	55 Hz	±20 %
Resonant frequency in X, under load with 100 g	270 Hz	270 Hz	270 Hz	220 Hz	220 Hz	220 Hz	160 Hz	160 Hz	160 Hz	105 Hz	105 Hz	105 Hz	55 Hz	55 Hz	55 Hz	50 Hz	50 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, unloaded	800 Hz	800 Hz	800 Hz	535 Hz	535 Hz	535 Hz	300 Hz	300 Hz	300 Hz	195 Hz	195 Hz	195 Hz	105 Hz	105 Hz	105 Hz	100 Hz	100 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, under load with 50 g	395 Hz	395 Hz	395 Hz	365 Hz	365 Hz	365 Hz	215 Hz	215 Hz	215 Hz	150 Hz	150 Hz	150 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	±20 %
Resonant frequency in Y, under load with 100 g	300 Hz	300 Hz	300 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	175 Hz	175 Hz	175 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	75 Hz	75 Hz	75 Hz	80 Hz	80 Hz	±20 %
Permissible push force in X	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Permissible push force in Y	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Permissible push force in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Permissible pull force in X	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
Permissible pull force in Y	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
Permissible pull force in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Guide	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification
Overall mass	195 g	195 g	195 g	295 g	295 g	295 g	348 g	348 g	348 g	430 g	430 g	430 g	700 g	700 g	700 g	1370 g	1370 g
Material	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
Miscellaneous	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	Tolerance
Operating temperature range	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～150 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2 (m)	LEMO LVPZT
Cable length	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
Recommended controllers/drivers	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727
Sensor connector	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	—	LEMO for capacitive sensors	—	LEMO for capacitive sensors

P-628.2CD / P-628.2CL：X、Y方向直線性誤差（typ.）はデジタルコントローラー使用時が0.03％。アナログコントローラー使用時が0.05％。

P-629.2CD / P-629.2CL：デジタルコントローラー使用時のX、Y方向リニアリティエラー（typ.）は0.03％。アナログコントローラー使用時が0.08％。

X：下側軸、Y：上側軸。

PIのピエゾナノポジショニングシステムは摩擦のない構造のため、システムの分解能を制限する要因はアンプや計測系に起因するノイズのみです。

すべての仕様は室温（22 °C ±3 °C）に基づいています。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

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2021-04-19

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ピエゾポジショナー：P-5xx / P-6xx / P-7xx

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6.4.0 08/2025

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日付 / バージョン

6.4.0 08/2025

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ドキュメント

P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHeraピエゾステージ（静電容量センサー搭載）

日付 / バージョン

1.3.0 2021-11-03

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日付 / バージョン

1.3.0 2021-11-03

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３D モデル

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必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

P-620.20L

PIHera高精度XYナノポジショナー、60 µm × 60 µm、センサーなし、LEMOコネクター

仕様

Datasheet P-620.2 – P-629.2 (英語)

仕様

ダウンロード

製品についての注意事項

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

データシート

Datasheet P-620.2 – P-629.2 (英語)

ドキュメント

簡単な指示書PZ240EK

ユーザーマニュアル PZ234

３D モデル

P-62x.2 3Dモデル

見積 / 発注

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