限られたスペースで広範なトラベルレンジを実現

安定した動作と卓越した精度を実現するXYピエゾステージ

ナノメートル単位の超高精度な動作と広範なトラベルレンジが必要ですか?PIHera XYステージは、コンパクトなフレクシャガイド設計が特徴で、広範なトラベルレンジと高い分解能を兼ね備えています。

  • 高いダイナミクスで高周波時でも生産性を最大化
  • バックラッシュのないフレクシャガイドによる優れた精度と長期安定性
  • 高い需要のある製品モデルを迅速に納品でき、急なプロジェクトにも対応​

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  • 超高精度モーションをお探しですか?
    サブナノメートルの分解能と高周波帯域幅を備えたPIHeraの静電容量センサーは、最も要求の厳しいアプリケーションにおいても、卓越した直線性、長期的な安定性、精度においても高いレベルでの対応が可能です。
  • 安定性の確保が重要ですか?
    PIHeraピエゾステージは、超高剛性でバックラッシュフリーのフレクシャガイドが特徴で、高いガイド精度、耐摩耗性、そして衝撃や振動への耐性を備えています。
  • 応答性を重視した制御が必要ですか?
    直接的な位置測定により、最適な再現性、優れた安定性、精密な制御を確保するため、高い速度と精度が求められる作業に最適です。
  • 高い耐久性をお探しですか?
    PIHeraピエゾステージは、PICMA®ピエゾアクチュエーターを採用しています。PICMA®ピエゾアクチュエーターは、湿度やリーク電流によるトラブルを防ぐオールセラミック絶縁構造が特徴です。高度な設計により、従来のポリマー絶縁アクチュエーターと比較して最大10倍の製品寿命を実現。1000億サイクルでの動作実験でも故障がなく、信頼性を求める方にぴったりの仕様です。
  • 迅速に納品する必要がある場合一
    部のPIHera XYピエゾステージ(P-628.2CD、P-625.2CD、P-622.2CD、P-621.2CD)はリードタイムが非常に短く、お客様のニーズに合わせて迅速に対応します。高性能コントローラー(E-727.3CDAまたはE-709.1C1L)が納入品目として同梱されており、シームレスな統合と最適なパフォーマンスを実現します。

精密組立と設計を実現する3Dモデル入手

  • 互換性の確認:設置スペース要件とトラベルレンジを確認できます
  • バーチャル計測:事前に仕様を確認できます

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PIHera XYピエゾステージの技術的な詳細事項をご覧ください

  • 仕様表
  • 技術図面と画像
  • 利用可能なバリエーション

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よくある質問

PIHeraピエゾステージは、0.1 nmまでの優れた分解能と0.02%の位置決め精度を提供します。高分解能、卓越したサブナノメートルの精度と信頼性、長期的安定性、高速応答が特徴で、要求の厳しいアプリケーションに最適です。

標準仕様のPIHeraピエゾステージでは、120 µm~1000 µmのトラベルレンジを提供しています。PIHeraピエゾステージシリーズ全体では50 µm~1800 µmのトラベルレンジを対応しており、幅広いアプリケーションに対応する汎用性があります。

PIHeraピエゾステージは、振動や温度変化などを含めたさまざまな環境条件でも安定して使えるように設計されています。、半導体、フォトニクス、バイオテクノロジー、品質保証など精度が求められるさまざまな現場での使用に適しています。

PIHeraピエゾステージは、ファイバーアライメント、各種検査手順、干渉分光法、顕微鏡検査など、精密な位置決めと高分解能が求められる高精度アプリケーションに最適です。

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