H-824 6軸ヘキサポッド
コンパクトで高精度
- 負荷容量最大 10 kg, セルフロッキングバージョン
- 移動範囲最大 45 mm / 25°
- 最小インクリメンタルモーション 0.3 µm
- 再現性 ±0.1 µm / ±2 µrad
- 最大速度 25 mm/s
高精度の6軸ポジショニングシステム
シリアルキネマティックシステムより大幅にコンパクトで剛性に優れた6自由度のパラレルキネマティック設計を採用。ダイナミックレンジが広く、移動ケーブルもありません。摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現します。
ドライブを折りたたんだコンパクト設計
PIのヘキサポッドシミュレーションツール
シミュレーションソフトウェアは、ワークスペースの制限とヘキサポッドの負荷容量をシミュレートします。したがって、購入する前でも、特定のヘキサポッドモデルがアプリケーションで発生する荷重、力、およびトルクを処理できるかどうかを確認できます。これによりシミュレーションツールでは、ヘキサポッドの位置と動き、およびピボットポイントといくつかの参照座標系が考慮されます。
応用分野
研究開発。マイクロマニピュレーション、バイオテクノロジー、半導体製造
仕様
仕様
動作および位置決め | H-824.G2 | H-824.D2 | 単位 | 公差 |
---|---|---|---|---|
高分解能、高耐荷重 | 高速 | |||
駆動軸 | X、Y、Z、θX、θY、θZ | X、Y、Z、θX、θY、θZ | ||
トラベルレンジ* X、Y | ±22.5 | ±22.5 | mm | |
トラベルレンジ* Z | ±12.5 | ±12.5 | mm | |
トラベルレンジ* θX、θY | ±7.5 | ±7.5 | ° | |
トラベルレンジ* θZ | ±12.5 | ±12.5 | ° | |
最小インクリメンタルモーション X、Y、Z | 0.3 | 2; 2; 1 | µm | 標準 |
最小インクリメンタルモーション( θX、θY、θZ) | 3.5 | 12; 12; 14 | µrad | 標準 |
バックラッシュ (X、Y) | 2 | 1.5 | µm | 標準 |
バックラッシュ (Z) | 0.7 | 1 | µm | 標準 |
バックラッシュ (θX、θY) | 14 | 15 | µrad | 標準 |
バックラッシュ( θZ) | 17 | 30 | µrad | 標準 |
再現性 (X、Y) | ±0.25 | ±0.5 | µm | 標準 |
再現性 (Z) | ±0.1 | ±0.15 | µm | 標準 |
再現性 (θX、θY) | ±2 | ±3 | µrad | 標準 |
再現性( θZ) | ±2 | ±2.5 | µrad | 標準 |
最大速度 (X、Y、Z) | 1 | 25 | mm/s | |
最大速度( θX、θY、θZ) | 11 | 270 | mrad/s | |
標準 速度 (X、Y、Z) | 0.5 | 10 | mm/s | |
標準 速度 (θX、θY、θZ) | 5.5 | 55 | mrad/s |
ダウンロード
製品についての注意事項
データシート
ドキュメント
User Manual MS200 (英語)
H-824 Compact Microrobot
3D モデル
H-824.x2x 3-D model
ソフトウェア ファイル
Hexapod Simulation Tool
見積 / 発注
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Data transmission cables in other lengths
Power supply cables in other lengths
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応用事例

Sample Adjustment
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.

High Vacuum Positioning
Investigation of the structural properties of thin films under high-vacuum conditions.

Nanotomography
At the X-ray light source PETRA III at the DESY research center in Hamburg operates the Imaging Beamline P05.

寸法測定における柔軟性
モーションロボティクスに必要な空間を最小化することにより、ヘキサポッドはインラインオートメーションシステムの様々な例において優れた柔軟性をもたらします。