6自由度のパラレルキネマティック設計により、シリアルキネマティックシステムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、ハイダイナミックレンジで移動ケーブルがありません。つまり、信頼性が高く、摩擦が軽減されます。10-6 hPaまでの真空環境に適しています。
シミュレーションソフトウェアは、ワークスペースの制限とヘキサポッドの負荷容量をシミュレートします。したがって、購入する前でも、特定のヘキサポッドモデルがアプリケーションで発生する荷重、力、およびトルクを処理できるかどうかを確認できます。これによりシミュレーションツールでは、ヘキサポッドの位置と動き、およびピボットポイントといくつかの参照座標系が考慮されます。
研究開発。マイクロマニピュレーション、バイオテクノロジー、半導体製造
動作および位置決め | H-824.G2V | H-824.D2V | 単位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
高分解能、高耐荷重 | 高速 | |||
駆動軸 | X、Y、Z、θX、θY、θZ | X、Y、Z、θX、θY、θZ | ||
トラベルレンジ* X、Y | ±22.5 | ±22.5 | mm | |
トラベルレンジ* Z | ±12.5 | ±12.5 | mm | |
トラベルレンジ* θX、θY | ±7.5 | ±7.5 | ° | |
トラベルレンジ* θZ | ±12.5 | ±12.5 | ° | |
最小インクリメンタルモーション X、Y、Z | 0.3 | 2; 2; 1 | µm | 標準 |
最小インクリメンタルモーション（ θX、θY、θZ） | 3.5 | 12; 12; 14 | µrad | 標準 |
バックラッシュ （X、Y） | 5 | 3 | µm | 標準 |
バックラッシュ （Z） | 1.5 | 1.5 | µm | 標準 |
バックラッシュ （θX、θY） | 30 | 20 | µrad | 標準 |
バックラッシュ（ θZ） | 45 | 60 | µrad | 標準 |
再現性 （X、Y） | ±0.4 | ±0.5 | µm | 標準 |
再現性 （Z） | ±0.1 | ±0.15 | µm | 標準 |
再現性 （θX、θY） | ±2 | ±3 | µrad | 標準 |
再現性（ θZ） | ±3 | ±2.5 | µrad | 標準 |
最大速度 （X、Y、Z） | 0.5 | 12.5 | mm/s | |
最大速度（ θX、θY、θZ） | 5.5 | 135 | mrad/s | |
標準 速度 （X、Y、Z） | 0.2 | 5 | mm/s | |
標準 速度 （θX、θY、θZ） | 2.3 | 28 | mrad/s |
H-824 Compact Microrobot
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PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
ヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の６軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.
ハンブルクにあるDESYのP05イメージングビームラインは、HZGによって運用されています。
Sample Manipulators in High-Vacuum
