H-824.V 真空対応6軸ヘキサポッド
コンパクトで高精度
- 負荷容量最大 5 kg, セルフロッキングバージョン
- 移動範囲最大 45 mm / 25°
- 最小インクリメンタルモーション 0.3 µm
- 再現性 ±0.1 µm / ±2 µrad
- 最大速度 12.5 mm/s
高精度の6軸ポジショニングシステム
6自由度のパラレルキネマティック設計により、シリアルキネマティックシステムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、ハイダイナミックレンジで移動ケーブルがありません。つまり、信頼性が高く、摩擦が軽減されます。10-6 hPaまでの真空環境に適しています。
ドライブを折りたたんだコンパクト設計
PIのヘキサポッドシミュレーションツール
シミュレーションソフトウェアは、ワークスペースの制限とヘキサポッドの負荷容量をシミュレートします。したがって、購入する前でも、特定のヘキサポッドモデルがアプリケーションで発生する荷重、力、およびトルクを処理できるかどうかを確認できます。これによりシミュレーションツールでは、ヘキサポッドの位置と動き、およびピボットポイントといくつかの参照座標系が考慮されます。
応用分野
研究開発。マイクロマニピュレーション、バイオテクノロジー、半導体製造
仕様
仕様
動作および位置決め | H-824.G2V | H-824.D2V | 単位 | 公差 |
---|---|---|---|---|
高分解能、高耐荷重 | 高速 | |||
駆動軸 | X、Y、Z、θX、θY、θZ | X、Y、Z、θX、θY、θZ | ||
トラベルレンジ* X、Y | ±22.5 | ±22.5 | mm | |
トラベルレンジ* Z | ±12.5 | ±12.5 | mm | |
トラベルレンジ* θX、θY | ±7.5 | ±7.5 | ° | |
トラベルレンジ* θZ | ±12.5 | ±12.5 | ° | |
最小インクリメンタルモーション X、Y、Z | 0.3 | 2; 2; 1 | µm | 標準 |
最小インクリメンタルモーション( θX、θY、θZ) | 3.5 | 12; 12; 14 | µrad | 標準 |
バックラッシュ (X、Y) | 5 | 3 | µm | 標準 |
バックラッシュ (Z) | 1.5 | 1.5 | µm | 標準 |
バックラッシュ (θX、θY) | 30 | 20 | µrad | 標準 |
バックラッシュ( θZ) | 45 | 60 | µrad | 標準 |
再現性 (X、Y) | ±0.4 | ±0.5 | µm | 標準 |
再現性 (Z) | ±0.1 | ±0.15 | µm | 標準 |
再現性 (θX、θY) | ±2 | ±3 | µrad | 標準 |
再現性( θZ) | ±3 | ±2.5 | µrad | 標準 |
最大速度 (X、Y、Z) | 0.5 | 12.5 | mm/s | |
最大速度( θX、θY、θZ) | 5.5 | 135 | mrad/s | |
標準 速度 (X、Y、Z) | 0.2 | 5 | mm/s | |
標準 速度 (θX、θY、θZ) | 2.3 | 28 | mrad/s |
ダウンロード
製品についての注意事項
データシート
ドキュメント
User Manual MS200 (英語)
H-824 Compact Microrobot
3D モデル
H-824.x2x 3-D model
ソフトウェア ファイル
Hexapod Simulation Tool
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
Data transmission cables in other lengths
Power supply cables in other lengths
お問い合わせ
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テクノロジー

PI社製品とEtherCATとの接続性
PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。

真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。

多軸位置決めシステム
ヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の6軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
応用事例

Sample Adjustment
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.

Multi-Axis Beam Preparation

光学ハッチ
ハンブルクにあるDESYのP05イメージングビームラインは、HZGによって運用されています。

Sample Positioning in High-Vacuum
Sample Manipulators in High-Vacuum