表面形成

アクティブ表面制御のためのスマートピエゾアクチュエーターと駆動技術

将来の用途では、物体を正確に動かすだけでなく、表面形状を変更・修正する能力も求められます。 そのためには、インテリジェントなピエゾシステムという考え方が必要です。 当社の表面形成技術は、ナノメートル単位の精度で大型の固体板をアクティブに変形させることができます。 高度な制御コンセプトにより、制御された表面形状を実現します。 内蔵の高解像度センサーは、オプションで外部表面測定と組み合わせることもできます。このセンサーは、表面形状を計算し、湾曲や反りなどの長波長偏差を正確に生成または修正するために使用されます。 ゼルニケモードの重ね合わせと、最適化された動作戦略の適用により、高い静的力を維持しながら最大100 µmの変形を実現。 このアプローチにより、幅広い用途にわたって、効率的なターゲット表面制御と適応性のあるパフォーマンスが可能になります。

柔軟なアクチュエーター設計

当社では、設置スペース、ストローク、力、分解能など、お客様の特定の要件に対応する多様なアクチュエーター設計を提供しています。 設計は拡張可能で、単一のアクチュエーターソリューションから、多数のアクチュエーターを備えた大規模アレイに至るまで、あらゆるニーズに対応します。

柔軟な動作

動的操作、準静的操作、および複合操作を組み合わせることで、位置ノイズを最小限に抑えて、さまざまな振幅を生成することが可能です。 高速動的補正から長期安定変形まで、連続電圧供給を必要とせずにこうした動作を実現できます。

柔軟な形状サイズ

ピエゾセラミック材料を構造化された配置で使用することで、柔軟性に優れた動作と、極めて小さい形状でも正確に成形する能力を実現します。

柔軟な形成

アクチュエーターまたはアクチュエーターアレイの構成を変更することで、最高の分解能でさまざまな種類の変形が可能。 配線・駆動・センサーのスマートなコンセプトにより、ハードウェア環境を簡素化できます。

Physik Instrumente - Mathias Winter

当社では、お客様の将来のニーズに対応するために、スマートアクチュエーターアレイを備えたハイブリッドソリューションを開発しました。

Mathias Winter、ピエゾドライブおよびシステムテクノロジー責任者

当社の技術を実際に体験

表面形成: 未来を拓く最先端技術

光学部品や基板の表面を高分解能で成形すると、特にレーザー加工用途や高感度の半導体製造において、イメージングと製造の品質が向上します。 当社のエンジニアチームは、研究機関や産業界のパートナーと協力して、大型アクチュエーターアレイの配線・駆動・制御の課題に最高の分解能で対処しています。

表面形成を成功させるための、強力で適応性のあるプラットフォームをお探しですか? お客様のご要望をお聞かせください。

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