特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。
これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
駆動軸
Z
内蔵センサー
静電容量/直接測定
トラベルレンジ（クローズドループ時）
100
µm
分解能（クローズドループ時）
0.4
nm
標準
分解能（オープンループ時）
0.3
リニアリティエラー(クローズドループ時）
0.02
%
再現性
±3
チルトθX,θY
±5
µrad
クロストークX、Y
50
動作方向の剛性
3.4
N/µm
±20 %
無負荷時共振周波数
1120
Hz
共振周波数@210g時
560
共振周波数@310g時
480
動作方向でのプッシュ/プルフォース
100 / 50
N
最大
負荷容量
20
ピエゾセラミックタイプ
PICMA P-885
静電容量
6
µF
動作温度範囲
-20～80
°C
材料
アルミニウム、鉄
対物スレッド
M32
質量
575
g
±5 %
ケーブル長さ
1.5
m
±10 mm
センサー/ボルト接続
D-sub7W2(m)
推奨コントローラ
E-505, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754
P-726.1CD PIFOC® High-Load Objective Scanner
P-726.xx QuickLock Thread Adapters for P-726 PIFOC
Piezo Positioning Systems: P-5xx / P-6xx / P-7xx
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
