P-736 PInano Z顕微鏡スキャナー

薄型高コストパフォーマンス

ステップ＆整定最大5 ms
薄型（20 mm）で組み込みが簡単
移動範囲 100 µmまたは200 µm
開口部93 mmx65 mm
E-709デジタルピエゾサーボコントローラー(納入品目に含まれる)
USB、RS-232、アナログインターフェイス
MetaMorph画像ソフトウェア対応

[Translate to Japanese:] P-736, dimensions in mm

[Translate to Japanese:] Customized designs are possible. The example above shows a P-736 version with particularly large aperture. The P-736 is mounted on an XY stage, which is driven by PILine® piezo motors.

[Translate to Japanese:] The PInano® Z scanner can be combined with the M-545 microscope stage, which has a travel range of 25 mm × 25 mm.

高分解能顕微鏡
ライトディスク顕微鏡
走査型顕微鏡
3Dイメージング
スクリーニング
干渉計
計測技術
オートフォーカスシステム
バイオテクノロジー
半導体検査

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

MATLABやNI LabVIEW、およびすべての汎用オペレーティングシステム(Windows、Linux、macOS)のサポートにより、ほぼすべての環境で統合が迅速かつ効率的に完了します。高度なプログラミング例とPIMikroMoveなどのソフトウェアツールにより、本番運用までの時間が大幅に短縮されます。

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データシート

日付 / バージョン

2018-06-06

pdf - 1 MB

日付 / バージョン

2018-06-06

pdf - 1 MB

日付 / バージョン

2018-06-07

pdf - 837 KB

日付 / バージョン

2018-10-24

pdf - 899 KB

ダウンロード

	P-736.ZR1S	P-736.ZR2S	単位	公差
駆動軸	Z	Z
動作および位置決め
内蔵センサー	ピエゾ抵抗素子	ピエゾ抵抗素子
トラベルレンジ（クローズドループ時）	100	200	µm
分解能（オープンループ時）	0.2	0.4	nm	標準
分解能（クローズドループ時）	0.4	0.7	nm	標準
機械特性
整定時間(10%ステップ幅)	5	7	ms
負荷容量	500	500	g	最大
駆動特性
ピエゾセラミック	PICMA P-885	PICMA P-885
その他
動作温度範囲	15～40	15～40	°C
材料	アルミニウム	アルミニウム
質量	550	550	g	±5 %
ケーブル長さ	1.5	1.5	m	±10 mm
ピエゾコントローラ	E-709デジタルサーボ(納入品目に含まれる)
通信インターフェイス	USB、RS-232、SPI
I/Oコネクタ	HD Sub-D 26 1 x アナログ入力(0～10 V) 1 x センサーモニター(0～10 V) 1 x デジタル入力(LVTTL、プログラム可能) 1 x アナログ出力 5 x デジタル出力(LVTTL、3 x 事前定義、2 x プログラム可能)
コマンドセット	PIジェネラルコマンドセット(GCS)
ユーザーソフトウェア	PIMikroMove
ソフトウェアドライバ	NI LabVIEWドライバ、WindowsおよびLinux用ダイナミックライブラリ
サポートされる機能	ウェーブジェネレーター、データレコーダー、オートゼロ、トリガーI/O、MATLAB、MetaMorph、µManager
コントローラー寸法	160 mm × 96 mm × 33 mm