H-850.V 真空対応6軸ヘキサポッド
80kgまでの荷重に対応
- 耐荷重:80kg
- 再現性:±0.2 µm
- 移動範囲:±50 mm / ±30度
- 任意方向での動作
H-850シリーズのヘキサポッドは、最大80kgまでの重量物を高精度かつ高い信頼性で位置決めします。頑丈な精密ベアリングを使用しているため、長時間の使用が可能です。
H-850.V は 10-6 hPa までの真空環境に適しています。
6自由度のパラレルキネマティック設計により、同等の積み重ねシステムに比べて大幅にコンパクトで剛性が高い。シリアル、つまりスタックシステムに比べて、主にパスの精度と再現性が非常に優れています。さらに、移動質量が軽いため、ダイナミクス性能が向上し、すべての動作軸で同じ性能になります。ケーブルが移動しないため、ケーブルマネジメントも問題ありません。
PIのヘキサポッドシミュレーションツール
シミュレーションソフトウェアは、ワークスペースの制限とヘキサポッドの負荷容量をシミュレートします。したがって、購入する前でも、特定のヘキサポッドモデルがアプリケーションで発生する荷重、力、およびトルクを処理できるかどうかを確認できます。これによりシミュレーションツールでは、ヘキサポッドの位置と動き、およびピボットポイントといくつかの参照座標系が考慮されます。
応用分野
研究開発。天文学、光学機器ポジショニング、航空宇宙産業
仕様
仕様
動作および位置決め | H-850.H2V | H-850.G2V | 単位 | 公差 |
---|---|---|---|---|
駆動軸 | X、Y、Z、θX、θY、θZ | X、Y、Z、θX、θY、θZ | ||
トラベルレンジ* X、Y | ±50 | ±50 | mm | |
トラベルレンジ* Z | ±25 | ±25 | mm | |
トラベルレンジ* θX、θY | ±15 | ±15 | ° | |
トラベルレンジ(θZ方向)* | ±30 | ±30 | ° | |
センサータイプ | インクリメンタルロータリーエンコーダ | インクリメンタルロータリーエンコーダ | ||
最小インクリメンタルモーション(X、Y方向) | 0.3 | 1 | µm | 標準 |
最小インクリメンタルモーション(Z方向) | 0.2 | 0.5 | µm | 標準 |
最小インクリメンタルモーション( θX、θY、θZ) | 3; 3; 5 | 7.5; 7.5; 15 | µrad | 標準 |
バックラッシュ(X、Y方向) | 4 | 6 | µm | 標準 |
バックラッシュ(Z方向) | 0.5 | 1.5 | µm | 標準 |
バックラッシュ(θX、θY方向) | 7.5 | 25 | µrad | 標準 |
バックラッシュ(θZ方向) | 60 | 90 | µrad | 標準 |
再現性 (X、Y) | ±0.5 | ±0.5 | µm | 標準 |
再現性 (Z) | ±0.2 | ±0.2 | µm | 標準 |
再現性 (θX、θY) | ±3 | ±3 | µrad | 標準 |
再現性θZ | ±9 | ±7.5 | µrad | 標準 |
最大速度(X、Y、Z方向) | 0.15 | 2.5 | mm/s | |
最大速度(θX、θY、θZ方向) | 1.8 | 30 | mrad/s | |
標準 速度(X、Y、Z方向) | 0.1 | 2 | mm/s | |
標準 速度(θX、θY、θZ方向) | 1.2 | 25 | mrad/s |
ダウンロード
製品についての注意事項
データシート
ドキュメント
3D モデル
H-850.x2V 3-D model
ソフトウェア ファイル
Hexapod Simulation Tool
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
Data transmission cables in other lengths
Power supply cables in other lengths
お問い合わせ
担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。
テクノロジー

PI社製品とEtherCATとの接続性
PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。

真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。

多軸位置決めシステム
ヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の6軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
応用事例

Sample Adjustment
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.

Multi-Axis Beam Preparation

光学ハッチ
ハンブルクにあるDESYのP05イメージングビームラインは、HZGによって運用されています。

Vacuum Chamber
Positioning the Vacuum Chamber for X-ray Diffraction Experiment

Sample Positioning in High-Vacuum
Sample Manipulators in High-Vacuum