P-911KNMV UHV対応小型ピエゾヘキサポッド

強磁場中でも高精度位置決め

パラレルキネマティック方式による省スペース設計により、全高90mm以下、直径100mmという低さを実現 NEXLINE® ピエゾステッピングモータドライブとインクリメンタルセンサーが組み込まれ、0.1µm以下のリニア軸の位置分解能を持っています

データシート

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Customized solution	トラベルレンジ	最大負荷荷重	センサー分解能	寸法
P-911KNMV Miniature Hexapod	X, Y, Z: 1.5 mm θ_X, θ_Y, θ_Z: 2°	1.5kg	0.1 µm	Ø 外径: 100 mm 高さ: 90 mm

Customized solution

トラベルレンジ

最大負荷荷重

センサー分解能

寸法

P-911KNMV Miniature Hexapod

X, Y, Z: 1.5 mm

θ_X, θ_Y, θ_Z: 2°

1.5kg

0.1 µm

Ø 外径: 100 mm

高さ: 90 mm

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P-911KNMV