P-911KNMV UHV-Compatible Miniature Piezo Hexapod

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PIグループの事業拠点

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PI社はモーションポジショニング分野のソリューションに関して世界的な大手サプライヤーです。 PI社はリニア、回転、そして垂直動作や異なった軸の組み合わせを広範囲に開発し製作するだけではありません。顧客様の用途に合わせたモーションポジショニングシステムもご提案しています。
- 新製品
  
  新製品
  
  このサイトでは、弊社の新製品をご確認いただけます。詳しくは、弊社までお問い合わせください。できる限り速やかに、弊社セールスエンジニアが対応させていただきます。
- 製品検索
  
  製品検索
  
  必要なモーションの軸によって指定される製品タイプを選択してください。選択する基準を増やすと結果のリストが長くなるか、短くなります。同時に2つ以上のフィルタを選択することで、より耐荷重が大きい位置決めステージを検索することができます。
- カスタマイズ製品
  
  カスタマイズ製品
  
  PI社は、これまでにないソリューションを求められた場合でも、完全に自社対応します。これは研究分野にとどまりません。今日、ナノテクノロジーは標準的な産業プロセスにも存在します。
- ナノポジショニングピエゾフレクシャステージ
  
  ナノポジショニングピエゾフレクシャステージ
  
  PI社のピエゾフレクシャステージでは、サブナノメートルの分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。
  
  多軸ピエゾフレクシャステージ
  
  多軸ピエゾフレクシャステージ
  
  PI社の多軸ピエゾフレクシャステージでは、チップ、チルト、およびヨーイングのモーションを含む最大6軸まで、サブナノメートルの精度での位置決めとスキャン動作が可能です。ラインナップには、最もコンパクトなキューブ型から、大開口かつ薄型の製品まで含まれます。
  
  顕微鏡用PIFOC®対物スキャナーおよびPInano®試料スキャナー
  
  顕微鏡用PIFOC®対物スキャナーおよびPInano®試料スキャナー
  
  PIFOC®/PInano®シリーズのピエゾフレクシャステージと対物スキャナーは、位置決めおよびスキャンのタスクにおいて、ハイダイナミクス動作を実現します。標準製品として、光軸に平行および垂直なXY方向の試料位置決めと、Z軸方向の対物レンズフォーカスが可能な、適応性の高いソリューションを提供しています。
  
  リニアピエゾフレクシャステージ
  
  リニアピエゾフレクシャステージ
  
  PI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメーターの分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。
  
  XYピエゾフレクシャステージ
  
  XYピエゾフレクシャステージ
  
  高精度2軸ナノポジショニングシステムでは、PICMA®ピエゾアクチュエータを採用し最高の信頼性を実現しています。同時に、高品質なナノ計測センサーを用いることにより、再現性と高い安定性を備えたドリフトフリーな位置決めが可能となります。
  
  ピエゾフレクシャチルトミラー
  
  ピエゾフレクシャチルトミラー
  
  ピエゾフレクシャミラープラットフォームの高い剛性により、ハイダイナミクスと優れた位置決め安定性が実現します。このコンパクトなデバイスは、レーザー加工やレーザーステアリングにおけるビームの偏向に広く使用されています。パラレルキネマティック設計であるため、共通の回転中心が固定されて偏光方向に変化がなく、チップ軸とチルト軸で同じ性能を発揮します。
- 小型ステージ
  
  小型ステージ
  
  小型ステージおよびマニピュレーターは、医療用や計測用の携帯デバイス用途や、産業用マイクロアセンブリ、超高真空や非磁性といった環境での研究において必要不可欠です。
  
  小型リニアステージ
  
  小型リニアステージ
  
  設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。
  
  小型回転ステージ
  
  小型回転ステージ
  
  ピエゾモーター方式の回転ステージは、特にコンパクトなサイズが求められる用途に適しています。これらのコンパクトな回転ステージは、光学用途で高い信頼性と優れた再現性が必要な、フィルターなどの位置決めに適しています。また、回転ステージはアダプター不要でリニアステージに取り付けることが可能なため、柔軟な組み合わせの多軸ポジショニングシステムを実現できます。
  
  小型ヘキサポッド
  
  小型ヘキサポッド
  
  最も小さい6自由度デバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターによる手のひらサイズのステージもご用意しております。また、標準的であるヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きなチルト角度が必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。
- リニアステージ
  
  リニアステージ
  
  PI社では、半導体やフォトニクス、高度な研究など、高精度が求められる産業市場向けに、さまざまなモーター駆動リニアステージを提供しています。各種モデルの多くで、真空対応に対応したバージョンをご用意しております。アダプターブラケットまたは専用の上下駆動ステージと、対応する回転ステージにより多軸構成も可能です。
  
  PIMag®磁気ダイレクトドライブリニアモータステージ
  
  PIMag®磁気ダイレクトドライブリニアモータステージ
  
  PIMag®磁気ダイレクトドライブリニアモーターステージ。摩擦の無い磁気ダイレクトドライブによって、ハイダイナミックステージを実現できます。また、モータースピンドル方式のステージと比較した場合、磁気ダイレクトドライブは機械コンポーネントの数が少ないため摩擦やバックラッシュが減り、より高い精度が得られます。
  
  ステッピング、DC、ブラシレスDC（BLDC）対応ステージ
  
  ステッピング、DC、ブラシレスDC（BLDC）対応ステージ
  
  レーザー加工など、生産プロセスにおける産業用アプリケーションでは、モーター駆動の位置決めステージによって位置決め精度を高くすることが有用です。バリアブルステージシリーズは高さ方向のプロファイルが薄く設計されているため、テストシステムから精密オートメーションの生産ラインに至るまで、汎用的な用途に適しています。
  
  ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ
  
  ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ
  
  上下駆動ステージは、リニアステージにアダプタなしで取り付けることができます。そして多軸ポジショニングシステムの柔軟性のある組み合わせを可能にします。
  
  小型リニアステージ
  
  小型リニアステージ
  
  設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。
- リニアアクチュエータ
  
  リニアアクチュエータ
  
  広範囲なテクノロジーの中から、貴社のご要望に最適な製品をお選びください。設定後に操作を行わない用途では、優れた長期安定性を持つピエゾモータが有効です。その特徴は真空または非磁性の環境においても保たれます。ステッパーモータとDCモータのソリューションは、産業および研究の両方において十分に確立されており、高い信頼性を有しています。
  
  位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータ
  
  位置決めの長期安定性があるピエゾマイクアクチュエータ
  
  PiezoMikeリニアアクチュエータはピエゾ直接駆動による高分解能、保持力、そして絶対的に安定した位置決めを提供します。これはレーザーアプリケーションの光エレメントのポジショニングのように高精度の要件があるset-and-forget (設定するだけで後の操作は一切不要) 用途に理想的です。
  
  ステッパとDCサーボモータの付いたリニアアクチュエータ
  
  ステッパとDCサーボモータの付いたリニアアクチュエータ
  
  自動化されたリニアアクチュエータは、工業生産用途から研究所での調整用途などオートメーションルーチンで不可欠なものです。
  
  PIMag - ボイスコイルアクチュエータ、ハイダイナミクス力センサー搭載
  
  PIMag - ボイスコイルアクチュエータ、ハイダイナミクス力センサー搭載
  
  ボイスコイルドライブは速度に優れ、高速なステップ&整定が可能です。摩耗のないフレクシャガイド、またはメカニカルガイドを利用できます。オプションの力コントロールにより、ハプティクスデバイステストのスタンドアロンソリューションを実現できます。
  
  PiezoMoveレバーアクチュエータ
  
  PiezoMoveレバーアクチュエータ
  
  ナノポジショニングピエゾアクチュエータ
  
  ナノポジショニングピエゾアクチュエータ
  
  PIezoMoveアクチュエータは、フレクシャガイド構造を持ち、ストロークは最大1 mmです。また、非常にコンパクトな外形寸法により組み込みが容易です。 PICMA®多層ピエゾをベースとしたナノポジショニングピエゾアクチュエータの特徴は、最大10000 Nの発生力と最大100 μmのストロークです。
  
  高発生力、高安定性のPiezoWalk®アクチュエータ
  
  高発生力、高安定性のPiezoWalk®アクチュエータ
  
  PiezoWalk®アクチュエータは、システム統合を目的として高度に特殊化されたピエゾベースのドライブです。半導体業界向けに設計されており、信頼性、位置分解能、長期安定性を向上させます。本シリーズの特徴としては、高発生力とコンパクトなサイズが挙げられます。また、ドライブ自体が耐磁性を備えています。
  
  PIRestアクティブピエゾシム
  
  PIRestアクティブピエゾシム
- 回転ステージ
  
  回転ステージ
  
  PI社では、エアベアリング、トルクモータードライブ、ウォームギアとの組み合わせ、小型ピエゾステージ、直交組み合わせが可能な特殊ゴニオステージなど、あらゆる種類のドライブとガイドが選択できるステージ製品を提供しています。
- XYステージ
  
  XYステージ
  
  PI社のXYステージ分野では、安定性、精度、およびダイナミクスが重要です。それらは高いスループット率と信頼できるオペレーションの基礎となります。PI社は、PIMag®磁気リニアーモーターとPIglideエアベアリングの分野での自社開発製品を利用しています。PI社の高荷重XYステージと平面スキャナーは、工業生産現場と品質管理に大きく貢献しています。
- ヘキサポッド
  
  ヘキサポッド
  
  ヘキサポッドはコンパクト設計で、複数の自由度を提供します。アブソリュート計測センサ、ソフトウェアおよびモーションコントローラと組み合わせることで、最も複雑なモーションプロファイルを簡単に指令することが可能となり、PI社のへキサポッドは工業用途における要望にお答えします。
- 高速マルチチャネルフォトニクスアライメント
  
  高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム
  
  ピエゾスキャナーは、耐久性、ダイナミクス、そして精度が重要である、高速で継続的なスキャンのタスクに対応します。XYZの組み合わせ、または6軸のヘキサポッドを用いることで、より大きなトラベルレンジを実現できます。統合されたルーチンにより、単軸アライメントから、複雑な多軸のファイバーアレイポジショニングまでを、最短時間で実行できます。
- モーションコントロールソフトウエア
  
  モーションコントロールソフトウエア
  
  PIが製造するすべてのデジタルコントローラーには、拡張ソフトウェアパッケージが付属しています。
  
  コンセプト
  
  コンセプト
  
  PI社はクロスプラットフォームとハードウェア非依存のコンセプトに基づいて、モーションコントロールソフトウェアを設計しています。
  
  ユーザープログラムとその機能
  
  ユーザープログラムとその機能
  
  すべてのPIコントローラには、ユーザーがシステム全体を設定し、パラメーター化するのをサポートする拡張ソフトウェアパッケージが付属しています。
  
  ヘキサポッド向けソフトウェアツール
  
  ヘキサポッド向けソフトウェアツール
  
  プログラミング
  
  プログラミング
  
  お客様は、すべてのPIコントローラをアプリケーションとシームレスに統合できるように、独自のプログラムをプログラミングしたり適用したりできます。
  
  サードパーティサポート
  
  サードパーティサポート
- コントローラー & ドライバ
  
  コントローラー & ドライバ
  
  モーションコントローラの決定は、アプリケーションの状況によって異なります。設置スペースの制限や軸数または制御タイプなど、様々な基準が、どのコントローラが適切なのかを決定します。PI社では、コントローラおよび制御コンセプトに関する幅広い選択肢を提供いたします。
  
  ナノポジショニングピエゾコントローラ
  
  ナノポジショニングピエゾコントローラ
  
  PI社では、デジタルおよびアナログのピエゾ制御に関する幅広いコンセプトを活用して、あらゆる用途で最適な結果を実現しています。すべてのピエゾシステムは納品前に較正が行われ、すべてのシステムは操作可能な状態で納品されます。
  
  ピエゾアクチュエータのオープンループ動作用ピエゾドライバ
  
  ピエゾアクチュエータのオープンループ動作用ピエゾドライバ
  
  PI社のピエゾドライバーは、ベンチトップまたはラックマウントのソリューションとして利用可能ですが、電源を切り離し小型化することで、OEMモジュールでも利用可能です。ピエゾドライバーにより、さまざまな分野に特化した高性能アンプが完成します。
  
  リニア、トルク、ステッパ、およびDCサーボモータ用のモーションコントローラとドライバー
  
  リニア、トルク、ステッパ、およびDCサーボモータ用のモーションコントローラとドライバー
  
  ドライブとアプリケーションの両方においてお客様のご要望に最適化できるよう、PI社ではモーションコントロールに関するソリューションを自社開発しています。通常、PI社のモーションコントローラは1チャンネルデバイスとして設計されており、ベンチトップ、ラックマウント、もしくはOEMバーションに対応可能です。
  
  ピエゾモータ用コントローラおよびドライバ
  
  ピエゾモータ用コントローラおよびドライバ
  
  多軸および混合のドライブタイプ用のコントローラシステム
  
  多軸および混合のドライブタイプ用のコントローラシステム
  
  モジュール式モーションコントローラーシステムにより、システムの軸数を柔軟に増やすことができるソリューションが実現します。1つのユーザーインターフェースで、さまざまなドライブタイプを使用できます。利用可能なモデル数は現在も増加中です。専用のコントローラーをご希望の方はぜひお問い合わせください。
  
  ヘキサポッドモーションコントローラ
  
  ヘキサポッドモーションコントローラ
  
  ヘキサポッドの構造と同様にユニークなモーションコントローラーは、ユーザーがパラレルキネマティックのアルゴリズムを可能な限り簡単かつ意識せずに使用するように設計されています。すべてのターゲット位置は直交座標系で指令します。オートメーションプロセスに最適に組み込めるように、ヘキサポッドモーションコントローラーは産業用EtherCATインターフェースで利用できます。
- ピエゾトランデューサとアクチュエータ
  
  ピエゾトランデューサとアクチュエータ
  
  圧電超音波トランデューサーにはディスク、プレート、チューブといったさまざまな形状があり、幅広い性能レベルを取りそろえています。各種のピエゾセラミック材料、電極、アセンブリテクノロジーを使用することによってアプリケーションの要件に対応できます。
  
  ディスク、ロッド、シリンダー
  
  ピエゾセラミックディスク、ロッド、シリンダー
  
  プレートとブロック
  
  ピエゾセラミックプレートとブロック
  
  リングアクチュエータ
  
  ピエゾセラミックリングアクチュエータ
  
  チューブ
  
  ピエゾセラミックチューブ
  
  球体および半球体
  
  ピエゾセラミック球体および半球体
  
  曲げ素子
  
  ピエゾセラミック曲げ素子
- エアベアリングとステージ
  
  エアベアリングとステージ
  
  エアベアリングステージは無振動の駆動が必要なとき、速度に安定性の必要があるとき、そして、最適な角度の再現性が要求されるとき使用されています。
- センサ、コンポーネント、およびアクセサリ
  
  センサ、コンポーネント、およびアクセサリ
OEM

OEM

特定のお客様アプリケーション向けの製品の開発は、PI社の成功の基礎になっています。その為には、満たさなければならない仕様を理解する必要があり、また、その課題を解決する為の技術的なソリューションも見つけなければなりません。PI社は主要なテクノロジーをすべて社内で製造しており、テクノロジーと製品をうまく融合し、要求される仕様を満たすことができます。
応用事例
応用事例 & マーケット

PI社の位置決めシステムは、産業界研究分野において最先端の技術が要求される箇所で採用されています。例えば、半導体製造装置、医療機器、バイオロジー製品、製造工場、表面計測機、そして天文分野が挙げられます。
- 自動車
  
  自動車
  
  製造現場、品質管理プロセスにおいて多軸で高精度のロボットのニーズが増大しているため、産業界では新しいタイプのロボットを求めています。PI社は、これらのニーズに対してパラレルキネマティックヘキサポッドを提供しています。
- 科学計測
  
  科学計測
  
  「科学計測」という言葉は、顕微鏡からビームライン、様々な分野のラボラトリーオウトメーションまで幅広い事例を示します。
  
  ALMA向けヘキサポッドシステム
  
  ALMA向けヘキサポッドシステム
  
  アタカマ砂漠の過酷な条件の中で、PIのヘキサポッドは、ALMA電波望遠鏡の副反射鏡を主反射鏡に合わせて動かしています。
  
  二結晶モノクロメータ
  
  二結晶モノクロメータ
  
  PI社のビームライン装置部門は、用途に基づくソリューションを提供しています。例としては、X線スペクトロメータ用の分光器があります。
  
  高真空下での材料研究
  
  高真空下での材料研究
  
  PI社は、高エネルギーX線による材料研究用に、高真空対応の標準およびカスタム位置決めシステムを提供しています。
  
  ピエゾアクチュエータを利用したアクティブ除振装置
  
  ピエゾアクチュエータを利用したアクティブ除振装置
  
  アクティブ除振装置を利用すると整定時間が減少し、計測および生産工程における精度が向上し、生産性を上げることができます。
  
  ELT用の駆動テクノロジー
  
  ELT用の駆動テクノロジー
  
  欧州超大型望遠鏡（E-ELT）は電磁波放射を科学的に評価するための地上最大望遠鏡です。
- 半導体テクノロジー
  
  半導体テクノロジー
  
  リソグラフィプロセスにより、チップサイズがますます縮小され、シリコンウエハ上に微細構造を作ることが出来ます。ピエゾドライブは、こうした技術を性能信頼性を含めて進歩させました。
- 顕微鏡検査
  
  顕微鏡検査
  
  画像処理は医用工学から薬学研究および半導体製造まで、多くの分野全体で効率を向上させます。
  
  共焦点顕微鏡
  
  共焦点顕微鏡での焦点面の調整
  
  共焦点顕微鏡は、焦点面を移動することにより試料表面の構造を検出するため、皮膚科などで使用されます。
  
  全内部反射蛍光顕微鏡(TIRFM)のポジショニングソリューション
  
  全内部反射蛍光顕微鏡(TIRFM)のポジショニングソリューション
  
  リニアステージはTIRF顕微鏡のレーザー光を調節します。2つのXYステージを組み合わせることでサンプルの正確なポジショニングが可能になります。
  
  高速顕微鏡
  
  品質管理用の高速顕微鏡
  
  原子間力顕微鏡用のＡＦＭスキャナーの試料の位置決めは、重要な役割をはたすピエゾベーススキャニングステージで行われます。
  
  原子間力顕微鏡
  
  原子間力顕微鏡用のAFMスキャナ
  
  原子間力顕微鏡用AFMスキャナにおける標本の位置決めは、ピエゾベースのスキャンステージで行わるため、それらステージは重要な役割を担います。
  
  白色光干渉計
  
  3D表面検査用PI社製ピエゾベースポジショニングシステム
  
  ピコメートルの分解能をもつ３D表面検査用に、高分解能カメラが白色干渉計に組み込まれます。
- シリコンフォトニクス
  
  シリコンフォトニクス
  
  シリコンフォトニクスは、データ転送速度をテラバイト/秒にすることが可能です。それ故、できるだけ早い通信速度を要求するコンピュータサービスに適しています。
  
  フォトニクスパッケージング
  
  自動化されたフォトニクスパッケージング
  
  自動化された組立及びアライメントシステムはシリコンフォトニクスの製造プロセスを数分に短縮することができます。しかし、デリケートな導波管の取扱い、光源の組み込み、光の入出経路の接続は非常に難しく、大きな課題となっています。
  
  光ファイバーアライメント
  
  シリコンフォトニクスでの光学コンポーネントの同時試験
  
  シリコンフォトニクスには、コンポーネントの製造、ウエハテスト、ウエハスライスなど新しい課題が存在しています。
- 医療工学
  
  医療工学
  
  製薬研究、診断、治療の進歩は、高性能で精密な位置決めシステムを必要とします。　そして、高精度な位置に加え、ドライバには、コンパクトサイズ、低消費電力、スピード　そして高い信頼性が要求されます。
  
  内視鏡
  
  ミニチュアドライブ搭載電子スコープ内視鏡
  
  ピエゾモータとミニチュア磁気ドライブを使用すると、電子スコープ内視鏡のフォーカス及びズーム機能を向上させることができます。
  
  眼科
  
  眼科手術のための高精度ドライブ
  
  眼科手術でのレーザービームの位置調整やフォーカシングには、ピエゾ駆動のチップ/チルトミラーシステムのような正確なポジショニングシステムが必要です。
  
  磁気共鳴治療機用
  
  磁気共鳴トモグラフィ用ドライブ
  
  ピエゾドライブは強力な磁場からの影響を受けないため、磁気共鳴治療に最適です。
  
  オプティカルコヒーレンストモグラフィー
  
  ピエゾテクノロジーとオプティカルコヒーレンストモグラフィー (OCT)
  
  ピエゾアクチュエータとドライブ (PILine® OEMモータ) は、オプティカルコヒーレンストモグラフィー (OCT) に必要な高い精度と位置の安定性を保証します。
  
  ピペット
  
  ピペット及びナノディスペンサー用ピエゾモータ
  
  ピエゾモータは、デバイスとサンプルが狭いピペットに最適で、ピペットを垂直方向に動かすことができます。
  
  高精度分注
  
  ナノディスペンサーによる高精度分注用ダイナミックドライブ
  
  ピエゾアクチュエータはナノディスペンサーによる高精度の分注に最適です。バルブを直接切り替えることも、閉鎖用バネに対しても動作することができます。
  
  マイクロポンプ
  
  圧電マイクロポンプ – コンパクト設計で高性能
  
  圧電マイクロダイヤフラムポンプは、コンパクトで高いパフォーマンスを発揮します。定常流量の供給をしたり、流量の調整をすることもできます。
  
  画像安定化
  
  ピエゾスキャナーによる画像安定化とマイクロスキャニング
  
  ピエゾベースの高速スキャナーは、画像安定化およびマイクロスキャニングのためにビデオ周波数レンジに見合った速度で動作します。
  
  柔軟なダイヤフラムポジショニング
  
  柔軟なダイヤフラムポジショニング
  
  放射線治療では、健康な組織を放射線からの保護するために個別のリーフが調整されます。
- 材料研究
  
  材料研究
  
  効率性は、昨今重要なキーワードになりました。材料研究は、プロセス工程の最適化に重要な貢献しました。表面のナノメーター精度検査もまた、価値ある貢献をしてきました。Ｘ線、レーザー、白色光干渉計などの手法では、検査する試料　及び　光学装置、ビーム制御に高精度な位置決めが必要とされます。
  
  材料研究向けパラレルキネマティック
  
  材料研究向け高荷重パラレルキネマティック
  
  ビームラインの高エネルギーＸ線は、溶接の継ぎ目の観察など材料研究に大きな貢献をしています。
  
  レーザービーム制御
  
  レーザービーム制御用ピエゾドライブ
  
  レーザーは多くの応用分野があるツールです。同時に、レーザービームの制御には、精度、ダイナミクス、信頼性が要求されます。
- メカニカルエンジニアリング
  
  メカニカルエンジニアリング
  
  メカニカルエンジニアリングや製造技術には高速で信頼性のある、しかも省エネルギーのドライバが必要です。その領域はピエゾアクチュエータから、直接CNC制御ができる6軸パラレルキネマティックまで広がっています。
  
  放電加工
  
  ピエゾアクチュエータによる放電加工
  
  精密微細構造部品の大量生産は、通常放電加工により製造されます。振動用アクチュエータはこれに大きく貢献しています。
  
  メカニカルエンジニアリング用ヘキサポッド
  
  メカニカルエンジニアリング用ヘキサポッド
  
  PIのヘキサポッド6軸ポジショニングシステムは、2 kgから数トンの荷重を扱うことができます。高精度のメカニカルエンジニアリング用途に最適です。
- オートメーション
  
  オートメーション
  
  ピエゾドライブ、磁気ダイレクトドライブ、そしてヘキサポッドは、現在オートメーションには不可欠な技術となっています。過酷な条件下において高精度と信頼性で動作することで自らの能力を実証しています。
  
  より高性能モーションな位置調整
  
  より高性能モーションな位置調整
  
  組立、半導体製造、メカニカルエンジニアリング、レーザー加工、検査システムで使用される産業オートメーション、または積層造形の位置調整とモーションのタスクには、ロボスト性と信頼性の高いソリューションが求められます。
  
  マイクロプロダクション用ヘキサポッド
  
  マイクロプロダクション用ヘキサポッド
  
  フォトニクス、モバイルデバイス、高級腕時計で使用されている光学部品、ガラスファイバーに共通する項目は何でしょうか？
  
  品質保証用ヘキサポッド
  
  品質保証用ヘキサポッド
  
  組立現場と品質保証現場において、マイクロプロダクションテクノロジーでは高精度のポジショニングシステムが必要不可欠なものとなっています。
  
  磁気ダイレクトドライブ
  
  磁気ダイレクトドライブ
  
  ボイスコイルアクチュエータとリニアドライブを総称した磁気ダイレクトドライブは、多くの理由で最適なソリューションとなります。
  
  ヘキサポッドによるモーションシミュレーション
  
  ヘキサポッドによるモーションシミュレーション
  
  CIPA認証済のPI社のヘキサポッドによるモーションシミュレーション – 振動テーブルは、耐振動評価に使用されます。
  
  寸法測定における柔軟性
  
  オートメーション用ヘキサポッド
  
  モーションロボティクスに必要な空間を最小化することにより、ヘキサポッドはインラインオートメーションシステムの様々な例において優れた柔軟性をもたらします。
  
  ヘキサポッドによるモーション補正
  
  ヘキサポッドによるモーション補正
  
  ピエゾドライブを使用したダイナミックヘキサポッド：モーション補正に最適です。
  
  高速ピエゾ超音波ドライブ先進技術
  
  高速ピエゾ超音波ドライブ先進技術
  
  応用事例により高い要件が求められる場合、超音波ピエゾモータは良い代替品となり、様々な方法で使用できます。
  
  レーザー加工
  
  レーザー加工
  
  PI社では、レーザーマーキング、レーザー切断、微細加工などの高精度、高出力のレーザー加工向けのオートメーションプラットフォームを提供しています。
  
  光学計測用ヘキサポッド
  
  ヘキサポッドが非球面の正確な測定をサポート
  
  非球面形状の正確性のテストでは、ナノメートル範囲の最小偏差の測定と、短時間の測定およびセットアップが必要となります。これを解決するのが、計測システム企業Mahrが提供する新しい干渉計です。このヘキサポッドはシステム全体の一部として、レンズと較正球のポジショニングを行います。
- ビームライン装置
  
  ビームライン装置
  
  科学実験では常にチャレンジに遭遇します。そしてビームラインX線実験はとりわけ特殊な存在です。しかしながら、高精度設備の必要性に関しては、ほぼ共通事項です。
  
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  トモグラフィー装置
  
  トモグラフィー装置
  
  シンクロトン放射光電子分光
  
  シンクロトン放射光電子分光
  
  光学ハッチ
  
  光学ハッチ
  
  トモグラフィーとホログラフィー
  
  トモグラフィーとホログラフィー
  
  光学顕微鏡
  
  光学顕微鏡
  
  加速器技術
  
  加速器技術
  
  XFEL加速器でのローレンツ力のダイナミック補正: DESY (ドイツ電子シンクロトロン研究所) のXFEL粒子加速器は、超電導加速構造、いわゆる共振器またはキャビティに基づく加速技術を利用しています。
- 積層造形
  
  積層造形
  
  ピエゾアクチュエータは、その高いダイナミクスと圧縮力により、積層造形用のマシンでの使用に最適です。
テクノロジー
経験知識 & テクノロジー

PI社は、メカニクス、エレクトロニクス、センサ、そしてソフトウエア分野での知識とマイクロナノポジショニングテクノロジーに関する長年の経験を融合させ、お客様に最先端のドライブテクノロジーとソリューションを提供いたします。
- ピエゾテクノロジー
  
  ピエゾテクノロジー
  
  PICeamic社はピエゾセラミック素材、コンポーネント、アクチュエータ製造において経験豊富です。ピエゾセラミック材料は、後のピエゾ素子として用途に完璧に適合するよう個々に調整することができます。
  
  ピエゾ技術の基本
  
  ピエゾ技術の基本
  
  ピエゾの圧電効果と電気機械特性に関する物理的基礎と解説
  
  ピエゾアクチュエータの特性
  
  ピエゾアクチュエータの特性
  
  ピエゾセラミックアクチュエータの特性: 変位モード、発生力と剛性、ダイナミクス、環境条件。
  
  ピエゾセラミック材料
  
  ピエゾセラミック材料
  
  PICeramic社は、鉛フリーの材料を含め、様々な圧電材料を提供しています。
  
  製造技術
  
  製造技術
  
  PICeramic社では、プレス、テープ技術、組立技術、検査技術と広範囲における製造技術を自社に保有しています。
  
  PICMA® テクノロジー
  
  PICMA® テクノロジー
  
  特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
  
  一体型ピエゾアクチュエータ
  
  一体型ピエゾアクチュエータ
  
  引張応力を回避するため、これらのピエゾ素子には、容器内における機械的プリロード、もしくはフレクシャジョイントが備えられています。
  
  DuraActパッチトランスデューサテクノロジー
  
  DuraActパッチトランスデューサテクノロジー
  
  製造、機能原理、およびDuraActパッチトランスデューサの典型的な加工パラメーターにより、可能な力の発生および偏向について説明。
  
  PIRestアクチュエータ
  
  PIRestアクチュエータ
  
  長期の安定性とナノメートル分解能のアクティブシム。
- ピエゾドライブ
  
  ピエゾドライブ
  
  構成と制御方法に応じて、ピエゾセラミックアクチュエータは、並進運動を生み出したり、モータとしてほぼ無制限のストロークを生み出すことができます。駆動方式は、用途による要求事項により選択されます。
  
  ピエゾアクチュエータ
  
  ガイド機構あり、無しのピエゾアクチュエータ
  
  ピエゾアクチュエータは、サブナノメートルの分解能と非常に短い応答時間を有するため、高いダイナミクスでのナノメートル精度の位置決めに最適です。
  
  PiezoWalk® ステッピングドライブ
  
  PiezoWalk® ステッピングドライブ
  
  PiezoWalk® ドライブは、高い信頼性、高い位置分解能、長期安定性が要求される半導体業界向けに10年程前に開発されました。
  
  PILine® 超音波ピエゾモータ
  
  PILine® 超音波ピエゾモータ
  
  超音波ピエゾモータは従来の回転モータ/ギヤ/ネジの組み合わせに起因する機械的複雑さを排除し、結果としてコスト削減と信頼性を高めています。
  
  ピエゾ慣性ドライブ
  
  ピエゾ慣性ドライブ
  
  慣性（イナーシャ）ドライブは、省スペースで低コストのピエゾベースドライブであり、比較的高い保持力と、ランナー長によってのみ制限されるトラベルレンジを備えています。
  
  PiezoMikeリニアアクチュエータ
  
  PiezoMikeリニアアクチュエータ
  
  慣性駆動（スティックスリップ）方式は、コンパクトで低コストです。このドライブは、静止状態ではセルフロックし、電流を必要とせず、発熱しません。また自身の最大の力で位置を保持します。
  
  比較: ピエゾモーターとドライブテクノロジー
  
  比較: ピエゾモーターとドライブテクノロジー
  
  PI社のドライブテクノロジーの比較: ピエゾモータ、ステッピングドライブ、超音波ドライブ、ピエゾ慣性ドライブ。
- 電磁駆動
  
  電磁駆動
  
  DCモータやステッピングモータなどの電動回転モータは、ネジまたはウォーム駆動と連結して使用されます。高分解能エンコーダー搭載のステッピングモータシステムは、10nmの最小インクリメンタルモーションを実行可能であり、高い信頼性と再現性を有しています。
  
  回転電動モータ
  
  PI社の回転電動モータ
  
  DCモータやステッピングモータなどの回転電動モータは、ネジまたはウォーム駆動と連結して使用されます。
  
  PIMag® 磁気ダイレクトドライブ
  
  PIMag® 磁気ダイレクトドライブ
  
  特に摩耗やダイナミクス関して、磁気ダイレクトドライブは、スピンドルベースのテクノロジーと比較してメリットがあります。
  
  PIMag® 6D磁気浮上
  
  6自由度でのPIMag® 6D磁気浮上
  
  PIMag® 6Dは電磁ポジショニングシステムであり、パッシブなプラットフォームが磁界の上を浮上し、また、磁界でアクティブにガイドされます。
  
  ハイブリッドコンセプト
  
  ピエゾ & モータハイブリッドシステム
  
  ハイブリッドシステムとは、DCサーボモータ（長トラベルレンジ）とピエゾドライブ（ナノメートル精度）を組み合わせてたステージです。
- パラレルキネマティック
  
  パラレルキネマティック
  
  パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは単一の可動プラットフォームに作用します。これは、すべての軸を全く同じ動的特性であるとして設計できることを意味します。結果として、運動する質量を大きく減らせることが出来ます。ヘキサポッドは、6軸方向（3つの直進軸と3つの回転軸）に移動および高精度の位置決めに使用されます。
  
  パラレルキネマティック
  
  パラレルキネマティックピエゾ位置決めシステム
  
  パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
  
  多軸位置決めシステム
  
  多軸位置決めシステムとスチュワートプラットフォーム
  
  ヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の６軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
  
  ヘキサポッドによるモーションシュミレーション
  
  ヘキサポッドによるモーションシュミレーション
  
  モーションシミュレータ（加振器）には高いモーションダイナミクス仕様が求められます。
- センサ技術
  
  センサ技術
  
  最高の分解能を持つ測定装置を無くして、直進性や再現性の達成は成し得ません。数ナノメートル以下のレンジにおける精度には、このレンジでモーション検出できる位置測定方法が必要です。
  
  静電容量センサ
  
  静電容量ナノセンサ
  
  静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。
  
  インクリメンタルセンサ
  
  ナノ計測 & ナノポジショニング用リニアスケールエンコーダー
  
  PI社では、約1mmから始まる長いトラベルレンジを測定するインクリメンタル測定システムを採用しています。これらのセンサは、ほとんどの場合光学センサですが、ピコメートルレンジまでの位置分解能を実現します。
  
  PIOne光学式ナノ計測エンコーダ
  
  PIOne光学式ナノ計測エンコーダ
  
  PI社で開発されたPIOne高分解能リニアセンサは、適した測定解析により1nm以下の位置分解を保証します。
  
  比較: 位置センサ技術
  
  比較: ナノ位置決めセンサ技術
  
  数ナノメートル又はそれ以下のレンジの精度がある位置決めシステムは、このレンジでの動きを検出できる位置測定技術を必要とします。
- コントローラ & ソフトウェア
  
  コントローラ & ソフトウェア
  
  すばやい整定、極めてスムーズな低速動作、高い位置安定性、高分解能、ハイダイナミクス動作とピエゾシステムへの要求事項は様々なため、そのドライバ制御系には幅広い自由度が求められます。
  
  デジタル & アナログインターフェイス
  
  デジタル & アナログインターフェイス
  
  PI社のデジタルコントローラの標準インタフェイスは、高速USB, TCP/IP, RS-232です。更にPI社は、デジタル又はアナログのリアルタイム対応インターフェイスを提供しています。
  
  PI社製品とEtherCATとの接続性
  
  PI社製品とEtherCATとの接続性
  
  PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。
  
  ピエゾアクチュエータの制御
  
  ピエゾコントローラー& ナノポジショニングシステムのドライバ
  
  ピエゾアクチュエータの特性には、高発生力と高速応答が含まれます。ピエゾアクチュエータは電圧のわずかな変化でもモーションとして反応するため、制御におけるノイズやドリフトを避ける必要があります。
  
  デジタルモーションコントローラ
  
  デジタルモーションコントローラ
  
  デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。
- ガイドシステム & 力の伝達
  
  ガイドシステム & 力の伝達
  
  フレクシャジョイントか、機械的ガイドコンポーネントか、あるいは磁気ベアリングか？　PI社がその製品に対してどのガイドシステムを採用するかは、トラベルレンジ、要求精度、荷重、寿命、環境条件によって決まります。
  
  従来のガイドシステム
  
  比較: 従来のガイドシステムと力の伝達
  
  数ミリメートルから1メートルまでのストロークを持つポジショナーは、通常、ボールベアリングなど、従来からある機械的ガイドコンポーネントを用います。
  
  フレクシャガイドシステム
  
  ナノポジショニング& ピエゾアクチュエータ用のフレクシャガイドシステム
  
  PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
  
  磁気ベアリング
  
  ナノポジショニング用磁気浮上 & 高精度ベアリング
  
  磁気浮上システムは、平面内の直進性と回転に対して優れたガイド機能があります。
  
  PIglideエアベアリングテクノロジー
  
  PIglideエアベアリングテクノロジー
  
  ナノメートル精度、かつ摩擦のない多軸モーション
- 真空
  
  真空対応リニア & 回転ステージ、超高真空位置決めシステム
  
  慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
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PI 社について
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PI社はテクノロジーとお客様のお役に立つことへの情熱に基づき、高精度ポジショニングおける卓越した技術と継続的進歩をお約束します。PIグループの目標は、この市場と技術的リーダーシップを更に発展させ、競争におけるお客様の決定的優位性を確かなものにすることです。
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  モーションコントロールテクノロジーセンター
  
  テクノロジーセンターには、オフィススペースだけでなく、アプリケーションラボや計測ラボのスペース、真空チャンバーや低温チャンバーのクリーンルームもあります。
- PI社のフラクタル生産体制
  
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  PI社は、フラクタルと呼ばれる自治的な組織単位で生産を行っています。フラクタルはそれぞれ、担当の製品ラインに対する責任を持ち、必要なスキルと生産装置をすべて備えています。
- 計測
  
  計測
  
  PI社は外部計測装置を使用して製品の性能確認を行っています。これらは部分的に校正され、国家標準とのトレーサビリティが確保されています。 PIOneインクリメンタルエンコーダーと静電容量センサーを使用し、PI社はPI社製品に含まれる一部として、独自の計測を行っています。
- PI社のクリーンルームで製造
  
  PI社のクリーンルームで製造
  
  PI社は、クリーンルームという条件のもとでの製品の製造や認定に対応しており、市場のニーズに応じて拡張や改良を続けています。
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  PI社は、2トンのヘキサポットから10グラムのナノポジショニングシステムまで製造し、性能確認を行っています。 PI社は、ドイツカールスルーエに耐高荷重施設を建設し、重量5トンまでの製品の組み立て、計測をしています。
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  PI社は、品質、安全、環境保護において、高水準を世界中にお届けすることを目標にしています。この理念は統合管理システムに反映されています。
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  PI社は高精度のポジショニングにおいて、優れた技術とたゆまぬ進化をお約束します。この根底にあるのは、テクノロジーへの情熱と、テクノロジーをお客様の用途に役立てたいという情熱です。
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High-Precision Positioning Even in Strong Magnetic Fields

P-911KNMV UHV-Compatible Miniature Piezo Hexapod

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Ultra-compact
UHV-compatible to 10^-9 hPa
Nonmagnetic
Ultra-high precision flexure joints
Load capacity to 1.5 kg
Travel ranges to 1.5 mm, to 2°
With NEXLINE® piezo stepping drives

The space-saving parallel-kinematic design allows for the low overall height of less than 90 mm and a diameter of only 100 mm. NEXLINE® piezo stepping motor drives and integrated incremental sensors ensure a position resolution down to 0.1 µm in the linear axes

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Customized solution	Travel ranges	Max. load	Sensor resolution	Dimensions
P-911KNMV Miniature Hexapod	X, Y, Z: 1.5 mm θ_X, θ_Y, θ_Z: 2°	1.5 kg	0.1 µm	Ø external: 100 mm Height: 90 mm

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X, Y, Z: 1.5 mm

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