P-911KNMV
Non-Magnetic, UHV-Compatible Hexapod with NEXLINE® Piezo Stepping Drives, incl. Controller
パラレルキネマティック方式による省スペース設計により、全高90mm以下、直径100mmという低さを実現 NEXLINE® ピエゾステッピングモータドライブとインクリメンタルセンサーが組み込まれ、0.1µm以下のリニア軸の位置分解能を持っています