超音波ドライブを搭載した小型チップ/チルトミラー
コンパクト設計で高精度な2軸ビームステアリングを実現
レーザービームの高精度な偏向は、多くの用途において重要な役割を果たします。 光通信や量子技術などの分野では、できる限り広い角度範囲が求められることに加えて、ミラーシステムの小型化のニーズも高まっています。 小型チップ/チルトミラーシステムでは、この2つの要求を同時に満たすことができます。 超音波ドライブにより、占有スペースを非常に小さく抑えながらも大きなトラベルレンジを実現します。 この革新的なドライブコンセプトにより、2自由度の静音動作が可能になります。 ミラー面の中心に回転中心を正確に配置することで、直線方向のオフセットを生じさせることなく、極めて高精度で再現性の高いチップ/チルト動作を実現します。 その結果、この技術により、これまでトラベルレンジを大幅に制限しなければ達成できなかった設置面積で優れた位置決め品質が実現できます。
コンパクト設計で大きなトラベルレンジを実現
コンパクト設計で大きなトラベルレンジを実現
超音波ドライブは、この新しい小型チップ/チルトミラーの中核です。 この圧電駆動技術により、従来の電磁式ソリューションやピエゾ式ソリューションと比べて格段に小型軽量な設計でありながら、大きなトラベルレンジとチップ/チルト角を実現できます。
セルフロッキング機能と高い機械的剛性
セルフロッキング機能と高い機械的剛性
ピエゾベースの超音波ドライブは、高い動的パフォーマンスに加え、セルフロッキング機能も備えています。 これにより、継続的な電力供給を必要とせずに、任意のチップ/チルト角を安定して保持できます。これは、省エネルギーシステムやモバイルシステムにおいて大きなメリットとなります。 高い機械的剛性を備えているおかげで、このシステムは高速で高精度な位置決めと高い堅牢性を実現しています。
この超音波ドライブのコンセプトにより、セルフロッキング機能を備えた超小型設計で、大きなチップ/チルト角を極めて高い精度で実現できます。これは、従来のミラー技術では実現できなかったことです。
Mathias Winter、ピエゾドライブおよびシステムテクノロジー責任者
超音波チップ/チルトミラー： 現在の技術、未来への可能性
2軸小型チップ/チルトミラーは、ビームステアリングとアライメントが重要となる光学精密用途に最適です。 代表的な使用事例は、高精度のレーザービームステアリングからコンパクトな光学セットアップにおける2自由度のビーム調整まで、多岐にわたります。 高周波振動の抑制を重視する従来の高速ステアリングミラー（FSM）とは異なり、これらの用途では、最小限の消費電力と完全な静音動作を実現しながら、高精度で安定した位置決めを行うことが重視されます。
この設計は、より大型のミラー、より大きなチップ/チルト角、あるいは光学モジュールへの個別統合などの要件に応じて、さらにスケーリングやカスタマイズが可能です。 こうした特長により、この技術は、超小型で高精度なビームステアリングソリューションの新たなスタンダードとなる可能性を秘めています。
