P-611.Z ピエゾZステージ
コンパクトなナノポジショナー
- 小型:表面サイズ44 mmx44 mm
- 移動範囲 100μm
- 分解能~0.2nm
- コストパフォーマンスのよいシステム(メカとコントローラ)
- ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
- PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
- X、XY、XZ、XYZバージョン
応用分野
- マイクロ機械加工
- フォトニクス
- ファイバー調整
- 検査と品質保証
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
仕様
仕様
P-611.ZS | P-611.Z0 | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | Z | Z | ||
動作および位置決め | ||||
内蔵センサー | SGS | - | ||
オープンループトラベル -20~+120V | 120 | 120 | µm | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100 | - | µm | |
分解能(オープンループ時) | 0.2 | 0.2 | nm | 標準 |
分解能(クローズドループ時) | 2 | - | nm | 標準 |
リニアリティエラー | 0.1 | - | % | 標準 |
再現性 | <10 | - | nm | 標準 |
振れθZ (Z方向のモーション) | ±5 | ±5 | µrad | 標準 |
振れθX (Z方向のモーション) | ±20 | ±20 | µrad | 標準 |
振れθY (Z方向のモーション) | ±5 | ±5 | µrad | 標準 |
機械特性 | ||||
剛性 | 0.45 | 0.45 | N/µm | ±20 % |
無負荷時共振周波数 | 460 | 460 | Hz | ±20 % |
共振周波数@30g | 375 | 375 | Hz | ±20 % |
共振周波数@100g | 265 | 265 | Hz | ±20 % |
プッシュ/プルフォース容量 | 15 / 10 | 15 / 10 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||
セラミックタイプ | PICMAPICMA P-885 | PICMAPICMA P-885 | ||
静電容量 | 1.5 | 1.5 | µF | ±20 % |
その他 | ||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | ||
寸法 | 44 mm x 44 mm x 27 mm | 44 mm x 44 mm x 27 mm | ||
質量 | 176 | 176 | g | ±5 % |
ケーブル長さ | 1.5 | 1.5 | m | ±10 mm |
センサー接続 | LEMO | LEMO | ||
電圧接続部 | LEMO | LEMO | ||
推奨コントローラ | E-610, E-625, E-665, E-836 | E-610, E-625, E-665, E-836 |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual PZ253 (英語)
P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
3D モデル
P-611.Z 3-D model
見積 / 発注
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