特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
駆動軸
Z
内蔵センサー
SGS
-
オープンループトラベル -20～+120V
120
µm
+20 % / -0 %
トラベルレンジ（クローズドループ時）
100
分解能（オープンループ時）
0.2
nm
標準
分解能（クローズドループ時）
2
リニアリティエラー
0.1
%
再現性
<10
振れθZ (Z方向のモーション)
±5
µrad
振れθX (Z方向のモーション)
±20
振れθY (Z方向のモーション)
剛性
0.45
N/µm
±20 %
無負荷時共振周波数
460
Hz
共振周波数@30g
375
共振周波数@100g
265
プッシュ/プルフォース容量
15 / 10
N
最大
セラミックタイプ
PICMAPICMA P-885
静電容量
1.5
µF
動作温度範囲
-20～80
°C
材料
アルミニウム、鋼鉄
寸法
44 mm x 44 mm x 27 mm
質量
176
g
±5 %
ケーブル長さ
m
±10 mm
センサー接続
LEMO
電圧接続部
推奨コントローラ
E-610, E-625, E-665, E-836
P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
Piezo Positioning Systems: P-5xx / P-6xx / P-7xx
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
