- その他 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
ピエゾモータ搭載N-565リニアステージシリーズ
PI社は、N-565リニアステージシリーズにピエゾステッピングドライブを採用しています。この駆動原理により、ひとつのコンパクトなユニットで数ナノメートルレンジの再現性、高い案内精度と大きな力を可能にしています。このため、リニアステージは、顕微鏡の試料、光学装置、機械コンポーネントや、半導体産業、レーザーのセットアップや真空での事例など、重要な位置決め要件を実現します。
コンパクトでナノメートル精度
ステージの幅は65 mm、高さはたった20 mmで、トラベルレンジ13、26、52 mmで動作します。トラベルレンジに応じて、長さは80、110、160 mmとなります。位置制御のための測定システムとして、PI社は内蔵のマッハ ツェンダー干渉計をベースにした社内開発の光学リニアエンコーダを採用しています。この測定原理は、0.5 nmの分解能と最小インクリメンタルモーション2 nmを実現します。
ピエゾドライブはセルフロックします。目標位置に到達するか、システムのスイッチが切れると、ポジショニングユニットは、電流を使わず、発熱もせせず、その位置を維持します。ポジショニングステージの保持力は10 Nであり、最高速度は10 mm/sです。高いガイド精度は、強制的にガイドするクロスローラーベアリングによって達成されます。
完璧な一致: ネットワーク可能なコントローラとソフトウェア
リニアステージは、コンパクトなE-861コントローラーを使って、高い精度で簡単に運用できます。これはピエゾステッピングドライブのさまざまな動作をサポートし、機械的な要件に合わせて動作します。ネットワーク機能を備えており、単一のコンピューターインターフェースから同時に最大16台のコントローラを制御することができます。パラメータはすべて、ソフトウェアを通じて設定、確認することができます。起動およびシステム設定については、PIMikroMoveプログラムが提供範囲に含まれており、NI LabViewドライバやDLLを通じてカスタムソフトウェアに接続することが可能です。