小型超音波回転ステージ

高速であるべき時: 小型超音波回転ステージ

材料試験、顕微鏡やビームラインでのビーム誘導、測定ヘッドや電気ポンプのポジショニングなど、産業や研究で、コンパクトで高速の回転ステージが必要とされています。

超音波ピエゾモータは、小型、高速、静音であるため、最適な選択肢となることがよくあります。さらに、電源を切った時もセルフロックするため、移動した荷重を保持することができます。追加のブレーキは必要なく、静止状態で熱が生じることもありません。

PI社は、現在非常に高速が要求されるアプリケーション向けに３種の超音波回転ステージを準備しております。非常にハイダイナミックなスタート ストップが可能で、最高速度は72度/秒になります。デザインは非常にコンパクトで、長さは20、30、50 mm、高さはわずか10、12、19 mmであるため、スペースが限られた場所でも設置することができます。駆動トルクは、5、10、25 mNmで、回転範囲は360° 以上になります。真空対応バージョン（最高10^-6 hPa）も準備しております。

超音波回転ステージの場合、ピエゾセラミックリングモータは、回転プラットフォーム上で直接動作します。ギヤヘッドのような機械部品が力の伝達に必要ないため、ドライブはほぼ摩耗せず、非常に高い信頼性を備えます。直接測定のインクリメンタルエンコーダを内蔵することで、高い信頼性の位置制御や再現性が可能となっています。バージョンに応じて、最小インクリメンタルモーションは、0.03、0.006、0.003度となります。

データシート: U-622 PILine^® 回転ステージ