工業用顕微鏡：スピードが必須

表面トポロジは顕微鏡の対象物の焦点深度をかなり超えています。これは、バイオテクノロジーに使用される注射成型プラスチック マイクロウェル プレートが不均一であるか否かに関係ありません。また、ボード上のコンポーネントの様々な異なった高さによるのか否か、あるいはエレクトロニクスの製造中の全体的なウエハースの傾きによるのか否かにも関係ありません。焦点が約300 µmの範囲で調整された場合にのみ、表面に正確に焦点を合わせることができます。そのため、リアルタイムのオートフォーカス機能が3D画像記録に必要です。高精度で光軸の方向にダイナミックに焦点を調整しなければなりません。

このタスクはPIFOC® のピエゾベースの対物スキャナによって実行されます。最大500 µmまでの移動範囲により、それは、オートフォーカスのアプリケーションにうまく適合し、精度および特にダイナミクスを考慮に入れる際には、ステッパー モーターよりもはるかに優れています。PI (Physik Instrumente) のPIFOC® Zドライブは非常に小型で堅牢なものになるように設計されています。

長所： 応答時間が短縮され、安定したガイドのおかげで、精密ポジショニングが比較的大きい移動範囲においてさえも可能になります。ゼロプレイと高精度のフレクシャガイドが、焦点の高安定性を確実にします。

ピエゾ システムは精度が高いものですが、これらのアプリケーションでは、さらなる強みを示します。 10 ミリセカンド以下の反復性と設定時間が重要です。そのため、ピエゾベースのドライブは、対象物が高いスキャン速度の時にピンぼけになるのを防ぎます。そのため、ピエゾベースのドライブは、対象物が高いスキャン速度の時にピンぼけになるのを防ぎます。

直接計測、容量性センサー、およびデジタルコントローラと組み合わされたPIFOC® は最大偏差0.06 %において最も高い直線性を達成しています。容量性センサーは、動いている機械的な部分を物理的接触なしで測定します。摩擦もヒステリシスも測定を妨げません。正確に対象物の位置を個々の画像に合わせることができます。