D-050 • D-100 Capacitive Sensors

D-050 • D-100 Capacitive Sensors

Subnanometer-Resolution Position Sensors

  • For applications with the highest precision requirements
  • Measuring range to 300 µm
  • Resolution to 0.01 nm
  • Linearity error to 0.01% with digital controller
  • E-509.CxA control electronics, compatible with E-500 piezo controller system
to content
Motion of a piezo nanopositioning system with 0.3 nm steps, measured with a capacitive sensor from PI (lower curve) and with a highly accurate laser interferometer (model Zygo ZMI 2000, upper curve). The capacitive sensor shows a significantly higher resolution than the interferometer.
D-050.00, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
D-100.00, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.
D-050 • D-100 Capacitive Sensors
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注

Resolution

Capacitive sensors achieve resolutions into the picometer range over shorter distances. The theoretical measuring resolution is unlimited. In practice, scatter radiation, geometrical effects, and the measuring electronics noise influence the achievable accuracy. In conjunction with the E-509.C1A electronics, the effective noise factor of the D-100.00 sensors (100 µm) is 0.02 nm/√Hz. Corresponds for example, to a resolution of 0.2 nm with 100 Hz bandwidth. The jumper-adjustable bandwidth of the electronics is up to 3 kHz.

In addition to the standard sensors listed here, PI offers customized versions, e.g., in measuring, geometry, material, electronics etc.

Application fields

High-precision positioning.

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Specifications

データシート

Datasheet D-050 • D-100 (英語)

日付 / バージョン
2022-08-31
pdf - 517 KB
日付 / バージョン
2022-08-31
pdf - 519 KB
日付 / バージョン
2018-06-18
pdf - 860 KB
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製品についての注意事項

製品についての注意事項

Product Change Notification D-015

日付 / バージョン
2021-12-20
pdf - 111 KB
英語
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データシート

データシート

Datasheet D-050 • D-100 (英語)

日付 / バージョン
2022-08-31
pdf - 517 KB
日付 / バージョン
2022-08-31
pdf - 519 KB
日付 / バージョン
2018-06-18
pdf - 860 KB
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ドキュメント

ドキュメント

User Manual PZ106 (英語)

D-015, D-050, D-100 Capacitive Sensors

日付 / バージョン
2003-11-05
pdf - 228 KB
英語
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