P-601 PiezoMoveリニアアクチュエーター（ガイド付き）

With Optional Position Sensor

チップとチルトを最小限に抑える直線運動用フレクシャーガイド
最大トラベルレンジ：400 µm
最大分解能：0.2 nm
位置センサー内蔵モデルを選択可能
PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
光学、医療技術、バイオテクノロジー、マイクロ流体向けのOEM用途に最適
長いトラベルレンジ、短い応答時間、非磁性仕様などのカスタムバージョンに対応

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P-601の動作方向。フレクシャーガイドが出力部の傾きを抑制します。

P-601、寸法単位はmm。

応用分野

ナノポジショニング
高速スイッチング
パッチクランプ
マイクロディスペンシング
適応システムテクノロジー / オートメーション
フォトニクス/集積光学
バイオテクノロジー

PICMA^®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMA^®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMA^®アクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

ゼロプレイのフレクシャーガイドによる高いガイド精度

フレクシャーガイドはメンテナンスフリーで、摩擦や摩耗がなく、潤滑不要です。高剛性により大きな負荷容量を実現し、衝撃や振動に対して優れた耐性を備えています。幅広い温度範囲で動作します。

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データシート

日付 / バージョン

2026-03-20

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2026-03-20

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ダウンロード

Motion	P-601.10	P-601.10L	P-601.1S	P-601.1SL	P-601.30	P-601.30L	P-601.3S	P-601.3SL	P-601.40	P-601.40L	P-601.4S	P-601.4SL	Tolerance
Active axes	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z
Travel range in Z	—	—	100 µm	100 µm	—	—	250 µm	250 µm	—	—	400 µm	400 µm
Travel range in Z, open loop, at -20 to 120 V	100 µm	100 µm	100 µm	100 µm	250 µm	250 µm	250 µm	250 µm	400 µm	400 µm	400 µm	400 µm	+20 % / -0 %
Linearity error in Z	—	—	0.1 %	0.1 %	—	—	0.3 %	0.3 %	—	—	0.3 %	0.3 %	typ.
Positioning	P-601.10	P-601.10L	P-601.1S	P-601.1SL	P-601.30	P-601.30L	P-601.3S	P-601.3SL	P-601.40	P-601.40L	P-601.4S	P-601.4SL	Tolerance
Unidirectional repeatability in Z	—	—	± 8 nm	± 8 nm	—	—	± 10 nm	± 10 nm	—	—	± 30 nm	± 30 nm	typ.
Resolution in Z, open loop	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	typ.
Integrated sensor	—	—	SGS, indirect position measuring	SGS, indirect position measuring	—	—	SGS, indirect position measuring	SGS, indirect position measuring	—	—	SGS, indirect position measuring	SGS, indirect position measuring
System resolution in Z	—	—	2 nm	2 nm	—	—	6 nm	6 nm	—	—	12 nm	12 nm
Drive properties	P-601.10	P-601.10L	P-601.1S	P-601.1SL	P-601.30	P-601.30L	P-601.3S	P-601.3SL	P-601.40	P-601.40L	P-601.4S	P-601.4SL	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Electrical capacitance in Z	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	4.6 µF	4.6 µF	4.6 µF	4.6 µF	±20 %
Mechanical properties	P-601.10	P-601.10L	P-601.1S	P-601.1SL	P-601.30	P-601.30L	P-601.3S	P-601.3SL	P-601.40	P-601.40L	P-601.4S	P-601.4SL	Tolerance
Stiffness in Z	0.8 N/µm	0.8 N/µm	0.8 N/µm	0.8 N/µm	0.38 N/µm	0.38 N/µm	0.38 N/µm	0.38 N/µm	0.28 N/µm	0.28 N/µm	0.28 N/µm	0.28 N/µm	±20 %
Resonant frequency in Z, unloaded	750 Hz	750 Hz	750 Hz	750 Hz	440 Hz	440 Hz	440 Hz	440 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	±20 %
Resonant frequency in Z, under load with 30 g	620 Hz	620 Hz	620 Hz	620 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	350 Hz	290 Hz	290 Hz	290 Hz	290 Hz	±20 %
Permissible push force in X	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	max.
Permissible push force in Y	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	30 N	max.
Permissible push force in Z	30 N	30 N	30 N	30 N	20 N	20 N	20 N	20 N	15 N	15 N	15 N	15 N	max.
Permissible pull force in Z	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Guide	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification	Flexure guide with lever amplification
Mass without cable	50 g	50 g	50 g	50 g	80 g	80 g	80 g	80 g	110 g	110 g	110 g	110 g	±5 %
Material	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール
Miscellaneous	P-601.10	P-601.10L	P-601.1S	P-601.1SL	P-601.30	P-601.30L	P-601.3S	P-601.3SL	P-601.40	P-601.40L	P-601.4S	P-601.4SL	Tolerance
Operating temperature range	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 32, Ø 0.49 mm	LEMO FFS.00.250.CTCE24	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 32, Ø 0.49 mm	LEMO FFS.00.250.CTCE24	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 32, Ø 0.49 mm	LEMO FFS.00.250.CTCE24	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 32, Ø 0.49 mm	LEMO FFS.00.250.CTCE24	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 32, Ø 0.49 mm	LEMO FFS.00.250.CTCE24	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 32, Ø 0.49 mm	LEMO FFS.00.250.CTCE24
Cable length	0.3 m	1.5 m	0.3 m	1.5 m	0.3 m	1.5 m	0.3 m	1.5 m	0.3 m	1.5 m	0.3 m	1.5 m
Recommended controllers/drivers	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831	E-610、E-625、E-831
Sensor connector	—	—	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 36	LEMO FFA.0S.304.CLAC32	—	—	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 36	LEMO FFA.0S.304.CLAC32	—	—	Stranded wires, PTFE isolated, AWG 36	LEMO FFA.0S.304.CLAC32

PIのピエゾアクチュエーターは摩擦がないため、システムの分解能を制限する要因はアンプのノイズと測定技術のみです。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

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2021-04-19

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