リニア ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。

PICMA®ピエゾアクチュエータドライブおよびフレクシャガイド搭載のリニアピエゾステージでは、最大1.5 mmのトラベルレンジに対応できます。

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ピエゾフレクシャリニアステージ

P-630 ハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム

大きな開口部つきの1軸ステージ

P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ

ダイナミックで安定した位置決め

P-752 高精密ナノポジショニングステージ

高精度なガイドがついた高ダイナミクスで安定性の高いピエゾスキャナー
PI P-750

P-750 Piezo Nanopositioning System

High-Load Piezo-Driven Nanopositioning Systems with Direct Metrology

P-611.1 リニアピエゾポジショニングシステム

コストパフォーマンスがよく、コンパクトなリニアポジショニングシステム

P-620.1 – P-629.1 PIHeraピエゾリニア精密ポジショナー

多様なトラベルレンジと軸構成