リニア ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。

PICMA®ピエゾアクチュエータドライブおよびフレクシャガイド搭載のリニアピエゾステージでは、最大1.5 mmのトラベルレンジに対応できます。