リニア ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。

PICMA®ピエゾアクチュエータドライブおよびフレクシャガイド搭載のリニアピエゾステージでは、最大1.5 mmのトラベルレンジに対応できます。

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ピエゾフレクシャリニアステージ

P-630 ハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム

P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ

P-752 高精密ナノポジショニングステージ

PI P-750

P-750 Piezo Nanopositioning System

P-611.1 リニアピエゾポジショニングシステム

P-620.1 – P-629.1 PIHeraピエゾリニア精密ポジショナー



注目のカスタマイズ

P-725KHDS PIFOC® Objective Scanner with High Dynamics