P-630 ハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム
大きな開口部つきの1軸ステージ
- 共振周波数~3.25 kHz
- トラベルレンジ~80μ m
- 細長く薄型設計
- 開口部30 mm径
応用分野
- 光学アライメント
- 顕微鏡検査
- バイオテクノロジー
- フォトニクス
- ファイバー調整
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
ダイレクト計測による最大精度
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。
これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
高度な真空アプリケーションに適しています
ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。
動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率
仕様
仕様
P-630.XCD | P-631.XCD | 単位 | |
---|---|---|---|
駆動軸 | X | X | |
動作および位置決め | |||
内蔵センサー | 静電容量 | 静電容量 | |
トラベルレンジ(-20~120 V)オープンループ時 | 45 | 90 | µm |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 40 | 80 | µm |
分解能(オープンループ時) | 0.1 | 0.1 | nm |
分解能(クローズドループ時) | 0.2 | 0.2 | nm |
リニアリティエラー(クローズドループ時) | 0.02 | 0.02 | % |
全ストロークでの再現性 | ±2 | ±3 | nm |
ピッチング / ヨーイング | ±5 | ±5 | µrad |
直進性/平坦度 | 50 | 50 | nm |
機械特性 | |||
動作方向の剛性 | 5.5 | 5 | N / µm |
無負荷時の共振周波数 | 3250 | 2850 | Hz |
60 g負荷時の共振周波数 | 1600 | 1200 | Hz |
動作方向でのプッシュ/プルフォース | 10 | 10 | N |
負荷容量 | 10 | 10 | N |
駆動特性 | |||
ピエゾセラミック | PICMA P-887 | PICMA P-885 P-887 | |
静電容量 | 6.4 | 12.6 | µF |
その他 | |||
動作温度範囲 | 0~40 | 0~40 | °C |
材料 | アルミニウム | アルミニウム | |
寸法 | 102 mm x 50 mm x 18 mm | 102 mm x 50 mm x 18 mm | |
質量 | 300 | 320 | g |
ケーブル長さ | 1.5 | 1.5 | m |
センサー/ボルト接続 | D-sub7W2(m) | D-sub7W2(m) | |
推奨コントローラ | E-709, E-709.CHG, E-754 | E-709, E-709.CHG, E-754 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
User Manual PZ247 (英語)
P-630, P-631 Piezo Nanopositioning Systems with Aperture and Capacitive Sensor
3D モデル
3-D-model P-630.XCD
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テクノロジー

PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。

真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。

フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。

デジタルモーションコントローラ
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。

静電容量センサ
静電容量センサは、もっとも要求事項の厳しいナノポジショニング用途に適した計測システムです。