P-630 ハイダイナミクスピエゾナノポジショニングシステム

大きな開口部つきの１軸ステージ

共振周波数～3.25 kHz
トラベルレンジ～80μ m
細長く薄型設計
開口部30 mm径

P-630, dimensions in mm

The smallest resolvable step size of the P-630.XCD is below one nm with the E-753.1CD digital controller. Measured externally with a laser interferometer.

The settling time of the P-630.XCD is less than 6 milliseconds to 1 % accuracy and a 4 µm step.

光学アライメント
顕微鏡検査
バイオテクノロジー
フォトニクス
ファイバー調整

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

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データシート

日付 / バージョン

2018-04-16

pdf - 687 KB

日付 / バージョン

2018-04-13

pdf - 848 KB

日付 / バージョン

2018-06-08

pdf - 770 KB

日付 / バージョン

2018-06-08

pdf - 846 KB

ダウンロード

	P-630.XCD	P-631.XCD	単位
駆動軸	X	X
動作および位置決め
内蔵センサー	静電容量	静電容量
トラベルレンジ(-20~120 V)オープンループ時	45	90	µm
トラベルレンジ（クローズドループ時）	40	80	µm
分解能（オープンループ時）	0.1	0.1	nm
分解能（クローズドループ時）	0.2	0.2	nm
リニアリティエラー(クローズドループ時）	0.02	0.02	%
全ストロークでの再現性	±2	±3	nm
ピッチング / ヨーイング	±5	±5	µrad
直進性/平坦度	50	50	nm
機械特性
動作方向の剛性	5.5	5	N / µm
無負荷時の共振周波数	3250	2850	Hz
60 g負荷時の共振周波数	1600	1200	Hz
動作方向でのプッシュ/プルフォース	10	10	N
負荷容量	10	10	N
駆動特性
ピエゾセラミック	PICMA P-887	PICMA P-885 P-887
静電容量	6.4	12.6	µF
その他
動作温度範囲	０～40	０～40	°C
材料	アルミニウム	アルミニウム
寸法	102 mm x 50 mm x 18 mm	102 mm x 50 mm x 18 mm
質量	300	320	g
ケーブル長さ	1.5	1.5	m
センサー/ボルト接続	D-sub7W2(m)	D-sub7W2(m)
推奨コントローラ	E-709, E-709.CHG, E-754	E-709, E-709.CHG, E-754