多軸ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社の多軸ピエゾフレクシャステージでは、チップ、チルト、およびヨーイングのモーションを含む最大6軸まで、サブナノメートルの精度での位置決めとスキャン動作が可能です。ラインナップには、最もコンパクトなキューブ型から、大開口かつ薄型の製品まで含まれます。

XYZスキャナーは、位置決め技術のあらゆる用途に対応しています。試料調整、光学計測、ファイバー位置決め、フォトニクス、原子間力顕微鏡などに使用可能です。

ピエゾナノポジショニングシステムはすべて工場で較正を行っており、納品時には測定ログが付属します。