多軸ピエゾ フレクシャ ステージ

PI社の多軸ピエゾフレクシャステージでは、チップ、チルト、およびヨーイングのモーションを含む最大6軸まで、サブナノメートルの精度での位置決めとスキャン動作が可能です。ラインナップには、最もコンパクトなキューブ型から、大開口かつ薄型の製品まで含まれます。

XYZスキャナーは、位置決め技術のあらゆる用途に対応しています。試料調整、光学計測、ファイバー位置決め、フォトニクス、原子間力顕微鏡などに使用可能です。

ピエゾナノポジショニングシステムはすべて工場で較正を行っており、納品時には測定ログが付属します。

XYZ小型ピエゾキューブ

P-616 NanoCube ナノポジショナー

ファイバーアライメント、ナノ精度位置決め向けコンパクト平行運動ピエゾシステム

P-611.3 NanoCubeXYZピエゾシステム

ナノポジショニング ファイバーアライメントに適したコンパクトで多軸ピエゾシステム

P-363 PicoCube XYZピエゾスキャナー

プローブ顕微鏡スキャン用ハイダイナミクスナノポジショニングシステム

P-313 PicoCube XYZピエゾスキャナー

プローブ顕微鏡スキャニング用ピコメータ精度 高帯域幅ステージ

開口部付きXYZピエゾステージ

P-733.3 XYZ Piezo Nanopositioner

High-Precision XYZ Scanner with Aperture

P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ

3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナー

ダイレクト計測によるハイダイナミクスナノポジショナー/スキャナー

Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ

P-541.Z • P-541.T Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ

薄型 大型開口部付

P-518 • P-528 • P-558 ピエゾフレクシャZ/チップ/チルトステージ

大型開口部つき ハイダイナミクス

6軸ピエゾステージ

P-587 6軸精密ピエゾステージ

ロングストローク ダイレクト位置計測

P-562.6CD PIMars6軸ピエゾステージシステム

6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム