P-721 PIFOC High-Precision Objective Scanner

顕微鏡対物レンズ用高速ナノポジショナー&スキャナー

対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め
トラベルレンジ140 µm、ミリ秒のセトリング時間
モータ駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命
パラレル制御の高精度フレクシャガイドにより対物のずれを最低限に抑制
静電容量センサーでのダイレクト計測技術による高リニアリティを実現
ひずみゲージセンサー搭載の廉価バージョン
MetaMorph画像ソフトウェア対応
PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
QuickLockスレッドアダプターによる簡単な設置
最大Ø 29 mmの開口部

P-721PIFOC高精度対物スキャナー（対物レンズ含まず）

P-721.xxQ, .SL2, dimensions in mm (please order adapter separately)

P-721.CDA, .SDA, dimensions in mm (please order adapter separately)

高分解能顕微鏡
ライトディスク顕微鏡
走査型顕微鏡
3Dイメージング
スクリーニング
干渉計
計測技術
オートフォーカスシステム
バイオテクノロジー
半導体検査

特許取得のPICMAピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。PICMAアクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

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データシート

日付 / バージョン

2018-10-16

pdf - 1,024 KB

日付 / バージョン

2018-10-16

pdf - 1 MB

日付 / バージョン

2019-07-31

pdf - 1 MB

日付 / バージョン

2019-09-12

pdf - 2 MB

ダウンロード

	P-721.CLQ	P-721.CDQ P-721.CDA	P-721.SL2 P-721.SDA	P-721.0LQ	単位	公差
駆動軸	Z	Z	Z	Z
動作および位置決め
内蔵センサー	静電容量	静電容量	SGS	-
オープンループトラベル -20～+120V	140	140	140	140	µm	+20 % / -0 %
トラベルレンジ（クローズドループ時）	100	100	100	-	µm
分解能（オープンループ時）	0.5	0.5	0.5	0.5	nm	標準
分解能（クローズドループ時）	0.7	0.7	5	-	nm	標準
リニアリティエラー(クローズドループ時）	0.03	0.03	0.2	-	%	標準
再現性	±5	±5	±10	-	nm	標準
チルトθ_X,θ_Y	13	13	13	13	µrad	標準
クロストークX、Y	100	100	100	100	nm	標準
機械特性
動作方向の剛性	0.3	0.3	0.3	0.3	N/µm	±20 %
無負荷時共振周波数	580	580	580	550	Hz	±20 %
共振周波数@120g	235	235	235	235	Hz	±20 %
共振周波数@200g	180	180	180	180	Hz	±20 %
動作方向でのプッシュ/プルフォース	100 / 20	100 / 20	100 / 20	100 / 20	N	最大
駆動特性
セラミックタイプ	PICMAP‑885	PICMAP‑885	PICMAP‑885	PICMAP‑885
静電容量	3.1	3.1	3.1	3.1	µF	±20 %
その他
動作温度範囲	-20～80	-20～80	-20～80	-20～80	°C
材料	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
質量	0.24	0.24	0.22	0.22	kg	±5 %
対物レンズ直径	39	39	39	39	mm	最大
ケーブル長さ	1	1	1	1	m	±10 mm
センサー/ボルト接続	LEMO	D-sub 7W2(m)	LEMO / Sub-D 9 (m)	LEMO (センサーなし)
推奨コントローラ	E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754	E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754	E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754	E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754