P-721 PIFOC High-Precision Objective Scanner
顕微鏡対物レンズ用高速ナノポジショナー&スキャナー
- 対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め
- トラベルレンジ140 µm、ミリ秒のセトリング時間
- モータ駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命
- パラレル制御の高精度フレクシャガイドにより対物のずれを最低限に抑制
- 静電容量センサーでのダイレクト計測技術による高リニアリティを実現
- ひずみゲージセンサー搭載の廉価バージョン
- MetaMorph画像ソフトウェア対応
- PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
- QuickLockスレッドアダプターによる簡単な設置
- 最大Ø 29 mmの開口部
応用分野
- 高分解能顕微鏡
- ライトディスク顕微鏡
- 走査型顕微鏡
- 3Dイメージング
- スクリーニング
- 干渉計
- 計測技術
- オートフォーカスシステム
- バイオテクノロジー
- 半導体検査
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のPICMAピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。PICMAアクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
ダイレクト計測による最大精度
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。
これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
仕様
仕様
P-721.CLQ | P-721.CDQ P-721.CDA | P-721.SL2 P-721.SDA | P-721.0LQ | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | Z | Z | Z | Z | ||
動作および位置決め | ||||||
内蔵センサー | 静電容量 | 静電容量 | SGS | - | ||
オープンループトラベル -20~+120V | 140 | 140 | 140 | 140 | µm | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100 | 100 | 100 | - | µm | |
分解能(オープンループ時) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | nm | 標準 |
分解能(クローズドループ時) | 0.7 | 0.7 | 5 | - | nm | 標準 |
リニアリティエラー(クローズドループ時) | 0.03 | 0.03 | 0.2 | - | % | 標準 |
再現性 | ±5 | ±5 | ±10 | - | nm | 標準 |
チルトθX,θY | 13 | 13 | 13 | 13 | µrad | 標準 |
クロストークX、Y | 100 | 100 | 100 | 100 | nm | 標準 |
機械特性 | ||||||
動作方向の剛性 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | N/µm | ±20 % |
無負荷時共振周波数 | 580 | 580 | 580 | 550 | Hz | ±20 % |
共振周波数@120g | 235 | 235 | 235 | 235 | Hz | ±20 % |
共振周波数@200g | 180 | 180 | 180 | 180 | Hz | ±20 % |
動作方向でのプッシュ/プルフォース | 100 / 20 | 100 / 20 | 100 / 20 | 100 / 20 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||||
セラミックタイプ | PICMAP‑885 | PICMAP‑885 | PICMAP‑885 | PICMAP‑885 | ||
静電容量 | 3.1 | 3.1 | 3.1 | 3.1 | µF | ±20 % |
その他 | ||||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | ||
質量 | 0.24 | 0.24 | 0.22 | 0.22 | kg | ±5 % |
対物レンズ直径 | 39 | 39 | 39 | 39 | mm | 最大 |
ケーブル長さ | 1 | 1 | 1 | 1 | m | ±10 mm |
センサー/ボルト接続 | LEMO | D-sub 7W2(m) | LEMO / Sub-D 9 (m) | LEMO (センサーなし) | ||
推奨コントローラ | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 |
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3D モデル
3-D-model P-721.Cxx
3-D-model P-721.0xx
3-D-model P-721.Sxx
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