P-725 PIFOCロングトラベルレンジの対物スキャナ
顕微鏡対物用高精度ポジショナーおよびスキャナー
- トラベルレンジ~460μm
- モータ駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命
- サブナノメートル分解能での対象物の微細位置決め
- 静電容量センサーで直接計測:高リニアリティ
- ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム優れた焦点の安定性
- MetaMorph画像ソフトウェア対応
- PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
- 取付が簡単なQuickLockスレッドアダプター
- 最大Ø 29 mmの開口部
応用分野
- 高分解能顕微鏡
- ライトディスク顕微鏡
- 走査型顕微鏡
- 3Dイメージング
- スクリーニング
- 干渉計
- 計測技術
- オートフォーカスシステム
- バイオテクノロジー
- 半導体検査
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
ダイレクト計測による最大精度
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。
これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
仕様
仕様
P-725.1CLP-725.1CDP-725.1CA | P-725.2CLP-725.2CDP-725.2CA | P-725.4CLP-725.4CDP-725.4CA | P-725.x0Lオープンループバージョン | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | Z | Z | Z | Z | ||
動作および位置決め | ||||||
内蔵センサー | 静電容量 | 静電容量 | 静電容量 | - | ||
トラベルレンジ(-20~+120 V)オープンループ時 | 150 | 330 | 460 | P-725.xCL | µm | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100 | 250 | 400 | - | µm | |
分解能(オープンループ時) | 0.3 | 0.4 | 0.5 | P-725.xCL | nm | 標準 |
分解能(クローズドループ時) | 0.65 | 0.75 | 1.25 | - | nm | 標準 |
リニアリティ(クローズドループ時) | 0.03 | 0.03 | 0.03 | - | % | 標準 |
再現性 | ±5 | ±5 | ±5 | - | nm | 標準 |
チルトθX | 1 | 6 | 10 | P-725.xCL | µrad | 標準 |
チルトθY | 20 | 45 | 45 | P-725.xCL | µrad | 標準 |
クロストーク (X) | 20 | 20 | 60 | P-725.xCL | nm | 標準 |
クロストーク (Y) | 20 | 40 | 60 | P-725.xCL | nm | 標準 |
機械特性 | ||||||
動作方向の剛性 | 0.23 | 0.17 | 0.12 | P-725.xCL | N/µm | ±20 % |
無負荷時共振周波数 | 470 | 330 | 230 | P-725.xCL | Hz | ±20 % |
共振周波数@150g時 | 185 | 140 | 120 | P-725.xCL | Hz | ±20 % |
動作方向でのプッシュ/プルフォース | 100 / 20 | 100 / 20 | 100 / 20 | P-725.xCL | N | 最大 |
駆動特性 | ||||||
セラミックタイプ | PICMAP–885 | PICMAP–885 | PICMAP–885 | P-725.xCL | ||
静電容量 | 4.2 | 6.2 | 6.2 | P-725.xCL | µF | ±20 % |
その他 | ||||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | ||
対物レンズ直径 | 39 | 39 | 39 | 39 | mm | 最大 |
質量 | 0.215 | 0.23 | 0.23 | P-725.xCL | kg | ±5 % |
センサー/ボルト接続 | CLバージョン: LEMO その他:Sub-D 7W2 (m) | CLバージョン: LEMO その他:Sub-D 7W2 (m) | CLバージョン: LEMO その他:Sub-D 7W2 (m) | LEMO (センサーなし) | ||
推奨コントローラ | E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754 | E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754 | E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754 | E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754 |
ダウンロード
製品についての注意事項
データシート
ドキュメント
User Manual P725T0010 (英語)
P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
Installation Instructions P721T0002
P-721 Thread Adapters for P-721 / P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
3D モデル
P-725 3-D model
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