P-725 PIFOCロングトラベルレンジの対物スキャナ

本製品は以下の新製品と置き換わりました。: P-725.xCDE2 PIFOC Focus Scanner for Microscope Objectives

顕微鏡対物用高精度ポジショナーおよびスキャナー

トラベルレンジ～460μm
モータ駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命
サブナノメートル分解能での対象物の微細位置決め
静電容量センサーで直接計測：高リニアリティ
ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム優れた焦点の安定性
MetaMorph画像ソフトウェア対応
PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
取付が簡単なQuickLockスレッドアダプター
最大Ø 29 mmの開口部

P-725 PIFOC® objective scanner with long travel range (objective not in the scope of delivery)

P-725.xCA, dimensions in mm (please order adapter set separately)

P-725.xCD/.xCL, dimensions in mm (please order adapter set separately)

高分解能顕微鏡
ライトディスク顕微鏡
走査型顕微鏡
3Dイメージング
スクリーニング
干渉計
計測技術
オートフォーカスシステム
バイオテクノロジー
半導体検査

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

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データシート

日付 / バージョン

2022-04-11

pdf - 460 KB

日付 / バージョン

2022-04-11

pdf - 465 KB

ダウンロード

	P-725.1CLP-725.1CDP-725.1CA	P-725.2CLP-725.2CDP-725.2CA	P-725.4CLP-725.4CDP-725.4CA	P-725.x0Lオープンループバージョン	単位	公差
駆動軸	Z	Z	Z	Z
動作および位置決め
内蔵センサー	静電容量	静電容量	静電容量	-
トラベルレンジ(-20~+120 V)オープンループ時	150	330	460	P-725.xCL	µm	+20 % / -0 %
トラベルレンジ（クローズドループ時）	100	250	400	-	µm
分解能（オープンループ時）	0.3	0.4	0.5	P-725.xCL	nm	標準
分解能（クローズドループ時）	0.65	0.75	1.25	-	nm	標準
リニアリティ(クローズドループ時)	0.03	0.03	0.03	-	%	標準
再現性	±5	±5	±5	-	nm	標準
チルトθ_X	1	6	10	P-725.xCL	µrad	標準
チルトθ_Y	20	45	45	P-725.xCL	µrad	標準
クロストーク (X)	20	20	60	P-725.xCL	nm	標準
クロストーク (Y)	20	40	60	P-725.xCL	nm	標準
機械特性
動作方向の剛性	0.23	0.17	0.12	P-725.xCL	N/µm	±20 %
無負荷時共振周波数	470	330	230	P-725.xCL	Hz	±20 %
共振周波数@150g時	185	140	120	P-725.xCL	Hz	±20 %
動作方向でのプッシュ/プルフォース	100 / 20	100 / 20	100 / 20	P-725.xCL	N	最大
駆動特性
セラミックタイプ	PICMAP–885	PICMAP–885	PICMAP–885	P-725.xCL
静電容量	4.2	6.2	6.2	P-725.xCL	µF	±20 %
その他
動作温度範囲	-20～80	-20～80	-20～80	-20～80	°C
材料	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム
対物レンズ直径	39	39	39	39	mm	最大
質量	0.215	0.23	0.23	P-725.xCL	kg	±5 %
センサー/ボルト接続	CLバージョン: LEMO その他：Sub-D 7W2 (m)	CLバージョン: LEMO その他：Sub-D 7W2 (m)	CLバージョン: LEMO その他：Sub-D 7W2 (m)	LEMO (センサーなし)
推奨コントローラ	E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754	E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754	E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754	E-505、E-610、E–621、E-625、E–665、E-709、E–754