PD72Z1x PIFOC対物スキャニングシステム100 µm
サブナノメートル分解能のハイダイナミクスピエゾドライブ
- デジタルコントローラー、ソフトウェア、QuickLockスレッドアダプター(オプション)を備えた完全なシステム
- USB、RS-232、アナログインターフェース
- 移動範囲 100μm
- サブナノメートル分解能での対象物の微細位置決め
- ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
- 静電容量センサーによる直接測定
- MetaMorph、µManager、MATLABに対応
- 操作中にすべてのサーボコントロールパラメーターを変更可能
応用分野
- 顕微鏡検査
- 走査型顕微鏡
- 3Dイメージング
- スクリーニング
- オートフォーカスシステム
- 表面分析
- ウエハ検査
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ダイレクト計測による最大精度
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。
これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
動作を迅速に開始するための拡張ソフトウェア
MATLABやNI LabVIEW、およびすべての汎用オペレーティングシステム(Windows、Linux、macOS)のサポートにより、ほぼすべての環境で統合が迅速かつ効率的に完了します。高度なプログラミング例とPIMikroMoveなどのソフトウェアツールにより、本番運用までの時間が大幅に短縮されます。
仕様
仕様
PD72Z1SAA* PD72Z1SAQ** PD72Z1SA0*** | PD72Z1CAA* PD72Z1CAQ** PD72Z1CA0*** | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | Z | Z | ||
動作および位置決め | ||||
内蔵センサー | SGS | 静電容量 | ||
トラベルレンジ(クローズドループ時) | 100 | 100 | µm | |
分解能(クローズドループ時) | 5 | 1 | nm | 標準 |
リニアリティエラー(クローズドループ時) | 0.2 | 0.06 | % | 標準 |
再現性 | ±10 | ±5 | nm | 標準 |
チルトθX,θY | 13 | 13 | µrad | 標準 |
クロストークX、Y | 100 | 100 | nm | 標準 |
整定時間(0.5 µmステップ、5 %精度、150 g) | 10 | 10 | ms | 標準 |
機械特性 | ||||
動作方向の剛性 | 0.3 | 0.3 | N/µm | ±20 % |
無負荷時共振周波数 | 580 | 580 | Hz | ±20 % |
共振周波数@120g時 | 235 | 235 | Hz | ±20 % |
共振周波数@200g時 | 180 | 180 | Hz | ±20 % |
動作方向でのプッシュ/プルフォース | 100 / 20 | 100 / 20 | N | 最大 |
駆動特性 | ||||
ピエゾセラミック | PICMA P-885 | PICMA P-885 | ||
その他 | ||||
動作温度範囲 | 10~50 | 10~50 | °C | |
材料 | アルミニウム | アルミニウム | ||
質量 | 0.22 | 0.24 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 1 | 1 | m | +50 mm / -0 mm |
ピエゾコントローラ | E-709 (納入品目に含む) | |||
通信インターフェイス | USB、RS-232、SPI | |||
I/Oコネクター | HD Sub-D 26 1 x アナログ入力 (0~10 V) 1 x センサーモニター (0~10 V) 1 x デジタル入力 (LVTTL、プログラマブル) 1 x アナログ出力 5個のデジタル出力(LVTTL、事前定義3個、プログラム可能2個) | |||
コマンドセット | PIジェネラルコマンドセット(GCS) | |||
ユーザーソフトウェア | PIMikroMove | |||
ソフトウェアドライバ | NI LabVIEWドライバー、Windows用共有ライブラリおよびLinux | |||
サポートされる機能 | ウェーブジェネレーター、データレコーダー、オートゼロ、トリガーI/O、MATLAB、MetaMorph、µManager | |||
コントローラー寸法 | 160 mm × 96 mm × 33 mm |
ダウンロード
製品についての注意事項
データシート
ドキュメント
User Manual P721T0007 (英語)
P-721 Fast PIFOC® Piezo Nanofocusing Z Drive
Installation Instructions P721T0002
P-721 Thread Adapters for P-721 / P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
見積 / 発注
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