PD72Z2x • PD72Z4x PIFOC対物スキャニングシステム400 µm

サブナノメートル分解能のハイダイナミクスピエゾドライブ

デジタルコントローラー、ソフトウェア、オプションのQuickLockスレッドアダプターを備えた完全なシステム
USB、RS-232、アナログインターフェース
トラベルレンジ～400μm
サブナノメートル分解能での対象物の微細位置決め
ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
静電容量センサーによる直接測定
MetaMorph、µManager、MATLABに対応
操作中にすべてのサーボ制御パラメーターを変更可能

PD72Z2x • PD72Z4x PIFOC対物スキャニングシステム400 µm

PD72ZxCAQ / PD72ZxCA0、寸法(mm) P-721.xxQ：PIFOC QuickLockスレッドアダプターに適合

PD72ZxCAA、寸法(mm) P-721.xxA：PIFOC QuickLockスレッドアダプターに適合

150 gの対物に20 msの整定時間(PD72Z4CAQシステム、レーザー干渉計で測定)

顕微鏡検査
走査型顕微鏡
3Dイメージング
スクリーニング
オートフォーカスシステム
表面分析
ウエハ検査
多光子顕微鏡

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

MATLABやNI LabVIEW、およびすべての汎用オペレーティングシステム(Windows、Linux、macOS)のサポートにより、ほぼすべての環境で統合が迅速かつ効率的に完了します。高度なプログラミング例とPIMikroMoveなどのソフトウェアツールにより、本番運用までの時間が大幅に短縮されます。

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データシート

日付 / バージョン

2019-09-12

pdf - 742 KB

日付 / バージョン

2019-09-12

pdf - 749 KB

日付 / バージョン

2019-09-12

pdf - 842 KB

日付 / バージョン

2019-09-12

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ダウンロード

	PD72Z2CAA* PD72Z2CAQ PD72Z2CA0*	PD72Z4CAA* PD72Z4CAQ PD72Z4CA0*	単位	公差
駆動軸	Z	Z
動作および位置決め
内蔵センサー	静電容量	静電容量
トラベルレンジ（クローズドループ時）	250	400	µm
分解能（クローズドループ時）	1.5	2.5	nm	標準
リニアリティエラー(クローズドループ時）	0.06	0.06	%	標準
再現性	±5	±5	nm	標準
チルトθ_X	6	10	µrad	標準
チルトθ_Y	45	45	µrad	標準
クロストーク (X)	20	60	nm	標準
クロストーク (Y)	40	60	nm	標準
整定時間(0.5 µm ステップ、5 %精度、150 g)	15	20	ms	標準
機械特性
動作方向の剛性	0.17	0.12	N/µm	±20 %
無負荷時共振周波数	330	230	Hz	±20 %
共振周波数@150g	140	120	Hz	±20 %
動作方向でのプッシュ/プルフォース	100 / 20	100 / 20	N	最大
駆動特性
ピエゾセラミック	PICMA P-885	PICMA P-885
その他
動作温度範囲	10～50	10～50	°C
材料	アルミニウム	アルミニウム
質量	0.23	0.23	kg	±5 %
ケーブル長さ	1.5	1.5	m	+50 mm / -0 mm
ピエゾコントローラ	E-709サーボ(納入品目に含む)
インターフェース/通信	USB、RS-232
I/Oコネクター	HD Sub-D 26 1 x アナログ入力 (0～10 V) 1 x センサーモニター (0～10 V) 1 x デジタル入力 (LVTTL、プログラマブル) 1 x アナログ出力 5個のデジタル出力(LVTTL、事前定義3個、プログラム可能2個)
コマンドセット	PIジェネラルコマンドセット(GCS)
ユーザーソフトウェア	PIMikroMove
ソフトウェアドライバ	NI LabVIEWドライバー、Windows用共有ライブラリおよびLinux
サポートされる機能	ウェーブジェネレーター、データレコーダー、オートゼロ、トリガーI/O、MATLAB、MetaMorph、µManager
コントローラー寸法	160 mm × 96 mm × 33 mm