PD72Z2x • PD72Z4x PIFOC対物スキャニングシステム400 µm

駆動軸

Z

Z

動作および位置決め

内蔵センサー

静電容量

静電容量

トラベルレンジ（クローズドループ時）

250

400

µm

分解能（クローズドループ時）

1.5

2.5

nm

標準

リニアリティエラー(クローズドループ時）

0.06

0.06

%

標準

再現性

±5

±5

nm

標準

チルトθ_X

6

10

µrad

標準

チルトθ_Y

45

45

µrad

標準

クロストーク (X)

20

60

nm

標準

クロストーク (Y)

40

60

nm

標準

整定時間(0.5 µm ステップ、5 %精度、150 g)

15

20

ms

標準

機械特性

動作方向の剛性

0.17

0.12

N/µm

±20 %

無負荷時共振周波数

330

230

Hz

±20 %

共振周波数@150g

140

120

Hz

±20 %

動作方向でのプッシュ/プルフォース

100 / 20

100 / 20

N

最大

駆動特性

ピエゾセラミック

PICMA P-885

PICMA P-885

その他

動作温度範囲

10～50

10～50

°C

材料

アルミニウム

アルミニウム

質量

0.23

0.23

kg

±5 %

ケーブル長さ

1.5

1.5

m

+50 mm / -0 mm

ピエゾコントローラ

E-709サーボ(納入品目に含む)

インターフェース/通信

USB、RS-232

I/Oコネクター

HD Sub-D 26

1 x アナログ入力 (0～10 V)

1 x センサーモニター (0～10 V)

1 x デジタル入力 (LVTTL、プログラマブル)

1 x アナログ出力

5個のデジタル出力(LVTTL、事前定義3個、プログラム可能2個)

コマンドセット

PIジェネラルコマンドセット(GCS)

ユーザーソフトウェア

PIMikroMove

ソフトウェアドライバ

NI LabVIEWドライバー、Windows用共有ライブラリおよびLinux

サポートされる機能

ウェーブジェネレーター、データレコーダー、オートゼロ、トリガーI/O、MATLAB、MetaMorph、µManager

コントローラー寸法

160 mm × 96 mm × 33 mm