P-216 プリロード付PICA パワーピエゾアクチュエーター

センサーオプション付プリロード式ピエゾアクチュエーター（HVPZT）

トラベルレンジ：180 µmまで
許容押力：4500 Nまで
許容引力：500 Nまで
サブミリセカンドの応答
サブナノメートル分解能
オプション：真空・高温環境に対応

見積 / 発注

P-216、寸法単位はmm。図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。

応用分野

アクティブ除振
適応構造
精密機構／マイクロメカニクス
光学機器
計測技術／干渉計測
適応システムテクノロジー
スイッチ
レーザーチューニング
力発生／材料試験
ナノテクノロジー

高荷重対応PICAパワーピエゾアクチュエーター

高荷重対応PICAパワーアクチュエーターは、高い信頼性を備え、重量負荷に対して長い移動量を実現します。アクチュエーターは、高温環境下での高荷重用途に適しています。

高度な真空用途に対応

ピエゾアクチュエーターは、潤滑剤を必要とせず、摩耗も生じません。 10^-6 hPaまでの真空環境、および特に高温・低温の動作環境に対応した仕様を用意しています。

データシートのダウンロード画面へ仕様へ見積 / 発注

データシート

日付 / バージョン

2026-07-14

pdf - 650 KB

日付 / バージョン

2026-07-14

pdf - 652 KB

日付 / バージョン

2026-07-14

pdf - 1 MB

ダウンロード

Motion	P-216.10	P-216.10V	P-216.1S	P-216.1SV	P-216.20	P-216.20V	P-216.2S	P-216.2SV	P-216.40	P-216.40V	P-216.4S	P-216.4SV	P-216.80	P-216.80V	P-216.8S	P-216.8SV	P-216.90	P-216.90V	P-216.9S	P-216.9SV	Tolerance
Active axes	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z
Travel range in Z	—	—	15 µm	15 µm	—	—	30 µm	30 µm	—	—	60 µm	60 µm	—	—	120 µm	120 µm	—	—	180 µm	180 µm
Travel range in Z, open loop	15 µm	15 µm	15 µm	15 µm	30 µm	30 µm	30 µm	30 µm	60 µm	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	120 µm	180 µm	180 µm	180 µm	180 µm	±20 %
Linearity error in Z	—	—	0.2 %	0.2 %	—	—	0.2 %	0.2 %	—	—	0.2 %	0.2 %	—	—	0.2 %	0.2 %	—	—	0.2 %	0.2 %	typ.
Positioning	P-216.10	P-216.10V	P-216.1S	P-216.1SV	P-216.20	P-216.20V	P-216.2S	P-216.2SV	P-216.40	P-216.40V	P-216.4S	P-216.4SV	P-216.80	P-216.80V	P-216.8S	P-216.8SV	P-216.90	P-216.90V	P-216.9S	P-216.9SV	Tolerance
Resolution in Z, open loop	0.15 nm	0.15 nm	0.15 nm	0.15 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.6 nm	0.6 nm	0.6 nm	0.6 nm	1.2 nm	1.2 nm	1.2 nm	1.2 nm	1.8 nm	1.8 nm	1.8 nm	1.8 nm	typ.
Integrated sensor	—	—	SGS, direct position measuring	SGS, direct position measuring	—	—	SGS, direct position measuring	SGS, direct position measuring	—	—	SGS, direct position measuring	SGS, direct position measuring	—	—	SGS, direct position measuring	SGS, direct position measuring	—	—	SGS, direct position measuring	SGS, direct position measuring
System resolution in Z	—	—	0.3 nm	0.3 nm	—	—	0.6 nm	0.6 nm	—	—	1.2 nm	1.2 nm	—	—	2.4 nm	2.4 nm	—	—	3.6 nm	3.6 nm
Drive properties	P-216.10	P-216.10V	P-216.1S	P-216.1SV	P-216.20	P-216.20V	P-216.2S	P-216.2SV	P-216.40	P-216.40V	P-216.4S	P-216.4SV	P-216.80	P-216.80V	P-216.8S	P-216.8SV	P-216.90	P-216.90V	P-216.9S	P-216.9SV	Tolerance
Actuator type	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator	Linear actuator
Drive type	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA	PICA
Operating voltage	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V	0 ～ 1000 V
Electrical capacitance in Z	130 nF	130 nF	130 nF	130 nF	250 nF	250 nF	250 nF	250 nF	500 nF	500 nF	500 nF	500 nF	1000 nF	1000 nF	1000 nF	1000 nF	1500 nF	1500 nF	1500 nF	1500 nF	±20 %
Mechanical properties	P-216.10	P-216.10V	P-216.1S	P-216.1SV	P-216.20	P-216.20V	P-216.2S	P-216.2SV	P-216.40	P-216.40V	P-216.4S	P-216.4SV	P-216.80	P-216.80V	P-216.8S	P-216.8SV	P-216.90	P-216.90V	P-216.9S	P-216.9SV	Tolerance
Stiffness in Z	210 N/µm	210 N/µm	210 N/µm	210 N/µm	140 N/µm	140 N/µm	140 N/µm	140 N/µm	80 N/µm	80 N/µm	80 N/µm	80 N/µm	50 N/µm	50 N/µm	50 N/µm	50 N/µm	32 N/µm	32 N/µm	32 N/µm	32 N/µm	±20 %
Resonant frequency in Z, unloaded	17 kHz	17 kHz	17 kHz	17 kHz	12 kHz	12 kHz	12 kHz	12 kHz	7 kHz	7 kHz	7 kHz	7 kHz	4.5 kHz	4.5 kHz	4.5 kHz	4.5 kHz	3 kHz	3 kHz	3 kHz	3 kHz	±20 %
Permissible push force in Y	60 N	60 N	60 N	60 N	36 N	36 N	36 N	36 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	23 N	max.
Permissible push force in Z	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	4500 N	max.
Permissible pull force in Z	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	500 N	max.
Permissible torque in θZ	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	1 N·m	max.
Overall mass	170 g	170 g	170 g	170 g	200 g	200 g	200 g	200 g	250 g	250 g	250 g	250 g	370 g	370 g	370 g	370 g	480 g	480 g	480 g	480 g	±5 %
Material	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール	ステンレススチール
Miscellaneous	P-216.10	P-216.10V	P-216.1S	P-216.1SV	P-216.20	P-216.20V	P-216.2S	P-216.2SV	P-216.40	P-216.40V	P-216.4S	P-216.4SV	P-216.80	P-216.80V	P-216.8S	P-216.8SV	P-216.90	P-216.90V	P-216.9S	P-216.9SV	Tolerance
Operating temperature range	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C	-40 ～ 80 °C	-40 ～ 150 °C
Vacuum class	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa	—	10⁻⁶ ǀ hPa
Connector	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT	LEMO HVPZT
Cable length	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m	1 m	1.5 m
Recommended controllers/drivers	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508	E-462, E-464, E-470 • E-472 • E-421, E-481, E-482, E-508
Sensor connector	—	—	LEMO for strain gauge sensors	LEMO for strain gauge sensors	—	—	LEMO for strain gauge sensors	LEMO for strain gauge sensors	—	—	LEMO for strain gauge sensors	LEMO for strain gauge sensors	—	—	LEMO for strain gauge sensors	LEMO for strain gauge sensors	—	—	LEMO for strain gauge sensors	LEMO for strain gauge sensors

Z方向の剛性：静的大信号の剛性、動的小信号では剛性50%向上。

動作温度範囲：真空フィードスルーの最大ベークアウトの温度は100 °Cです。

PIのピエゾアクチュエーターは摩擦がないため、システムの分解能を制限する要因はアンプのノイズと測定技術のみです。

動作電圧は、連続動作で750 V を超えないようにしてください。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

データシートのダウンロード画面へダウンロード画面へ見積 / 発注

製品についての注意事項

日付 / バージョン

2021-04-19

pdf - 377 KB

英語

ダウンロード

データシート

日付 / バージョン

2026-07-14

pdf - 650 KB

日付 / バージョン

2026-07-14

pdf - 652 KB

日付 / バージョン

2026-07-14

pdf - 1 MB

ダウンロード

ドキュメント

P-212、P-216 プリロード付ピエゾアクチュエーター、 1000 V

日付 / バージョン

1.1.3 2024-01-24

pdf - 2 MB

日付 / バージョン

1.1.3 2024-01-24

pdf - 2 MB

ドキュメント

Preloaded PICA Piezo Actuators 1000 V: P-21x, P-2x5

日付 / バージョン

2.3.0 11/2024

pdf - 248 KB

日付 / バージョン

2.3.0 11/2024

pdf - 251 KB

ダウンロード

３D モデル

zip - 1 MB

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

P-216.10

PICA パワーピエゾアクチュエーター；トラベルレンジ：15 µm（オープンループ）； LEMO HVPZT；ケーブル長1 m

仕様

P-216 データシート

仕様

ダウンロード

製品についての注意事項

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

データシート

P-216 データシート

ドキュメント

ユーザーマニュアル PZ249

Short Instructions PZ246EK

３D モデル

P-216 3Dモデル

見積 / 発注

見積取得方法

お問い合わせ

テクノロジー

真空